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[发明专利]使用电子显微镜对样品成像的方法-CN201911165127.8在审
发明人： E.M.弗兰肯;R.肖恩马克思;B.J.詹森;M.弗海延;H.科尔;Y.邓;A.福格特 -专利权人： FEI公司
申请日： 2019-11-25 - 公布日： 2020-06-02 - 主分类号： H01J37/28 文献下载
摘要：本发明涉及一种对样品成像的方法，所述样品安装在电子显微镜中的样品固持器上，所述电子显微镜包括用于沿着光轴产生高能电子束的电子源和用于聚焦和偏转光束以便用所述电子束照射所述样品的光学元件。所述样品固持器能够相对于所述电子束定位和倾斜所述样品。所述方法包括以下步骤：通过用所述电子束照射所述样品来获取一系列倾斜的图像，且在获取所述图像期间同时改变所述样品的位置，使得以相关联的独特倾斜角和相关联的独特位置获取每个图像。
使用电子显微镜样品成像方法

[发明专利]使用图像分割的对象跟踪-CN201910923211.5在审
发明人： P.坡图泽克;E.柯尔克玛兹;R.肖恩马克思 -专利权人： FEI公司
申请日： 2019-09-27 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G06T7/215 文献下载
摘要：公开了使用图像分割的对象跟踪。获得试样的捕获的图像。基于所述捕获的图像而生成分割图像。所述分割图像指示对应于感兴趣对象的片段。从所述分割图像中的所述感兴趣对象中识别一个或多个目标对象。可识别位置和/或形状最相似于前一图像中所示的目标对象的感兴趣对象。替代地，可识别与最相似于连接前一图像中的所述目标对象的连接向量的连接向量相关联的感兴趣对象。从所述前一图像中的目标对象位置到所述分割图像中的目标对象位置绘制移动向量。根据所述移动向量相对于所述试样移动显微镜的视野以捕获所述试样的另一图像。
使用图像分割对象跟踪