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[发明专利]微机械转速传感器组件、转速传感器阵列和相应的制造方法-CN202180015611.1在审
发明人： R·诺伊;A·拉斯尔;B·库尔曼;P·德根费尔德-舍恩堡;N·F·库尔曼;M·屈内尔;O-A·普吕茨;J-T·利韦德;N·博德 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2021-01-29 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明实现一种微机械转速传感器组件、一种转速传感器阵列和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括：能够通过驱动装置(AT1、AT2)经由驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)围绕第一轴(z)旋转振荡地驱动的第一转速传感器装置(100)，用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，所述第一、第二和第三轴(z、y、x)相对彼此垂直地布置；和能够通过所述驱动装置(AT1、AT2)经由所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)沿着所述第二轴(y)线性振荡地驱动的第二转速传感器装置(200)，用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速。所述第一转速传感器装置(100)通过所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)与所述第二转速传感器装置(200)连接。所述驱动框架装置(RA1a、RA1b、RA2a、RA2b)具有第一驱动框架(RA1a、RA1b)和第二驱动框架(RA2a、RA2b)，所述第一驱动框架和所述第二驱动框架能够通过所述驱动装置(AT1、AT2)沿着所述第三轴(x)反相振荡地驱动。摆杆使第一和第二转子装置和第一和第二驱动框架连接。
微机转速传感器组件阵列相应制造方法

[发明专利]具有干扰模式的抑制的MEMS设备以及相应的运行方法-CN201880062686.3在审
发明人： R·诺伊;A·拉斯尔;P·德根费尔德-舍恩堡;N·F·库尔曼;F·沙茨;N·博德;M·屈内尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-09-20 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种MEMS设备以及一种相应的运行方法。所述MEMS设备配备有能振动的微机械系统(100)，该能振动的微机械系统能够以多个使用模式激励，其中，所述能振动的微机械系统(100)具有至少一个系统部件(1)，该系统部件由于所述使用模式的叠加能够以至少一个寄生干扰模式激励。设置有补偿装置(50)，所述补偿装置构型成，使得所述补偿装置通过将电磁相互作用(W)施加到所述系统部件(1)上来抵抗所述寄生干扰模式。
具有干扰模式抑制 mems 设备以及相应运行方法

[发明专利]具有能直线和旋转地被驱动的传感器装置的三轴微机械转速传感器组件-CN201880057522.1在审
发明人： R·诺伊;A·拉斯尔;B·库尔曼;P·德根费尔德-舍恩堡;O-A·普吕茨;N·F·库尔曼;J-T·利韦德;N·博德;M·屈内尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-08-08 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： G01C19/5712 文献下载
摘要：本发明涉及一种微机械转速传感器组件和一种相应的制造方法。所述微机械转速传感器组件包括能够围绕第一轴(z)旋转振荡地被驱动的第一转速传感器装置(100)，以用于感测围绕第二轴(y)的第一外部转速和围绕第三轴(x)的第二外部转速，其中，第一、第二和第三轴(z、y、x)彼此垂直地布置，并且包括能够通过驱动装置(AT；AT’；AT”)沿着所述第二轴(y)直线振荡地驱动的第二转速传感器装置(200；201；202)，以用于感测围绕所述第一轴(z)的第三外部转速。为了通过所述驱动装置(200；201；202)驱动所述第一转速传感器装置(100)，所述第二转速传感器装置(200；201；202)与所述第一转速传感器装置(100)通过第一耦合装置(S1、F5；S2、F6；SA、SB、F12)连接。
具有直线旋转驱动传感器装置微机转速组件

[发明专利]单轴和双轴的转速传感器-CN201880051117.9在审
发明人： R·诺伊;A·拉斯尔;N·博德;B·库尔曼;N·F·库尔曼;P·德根费尔德-舍恩堡 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-07-30 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G01C19/574 文献下载
摘要：本发明要求保护一种转速传感器(1)，具有带着主延伸平面的衬底和第一质量振动器(2)和第二质量振动器(3)，其中，所述第一和第二质量振动器(2、3)与所述衬底能振动地连接，并且此外，所述第一质量振动器(2)和所述第二质量振动器(3)能振动地相互连接，其中，所述第一质量振动器(2)包括第一电极组件(7)，其中，所述第二质量振动器(3)包括第二电极组件(8)，其中，所述衬底包括第三电极组件(9)，其中，所述转速传感器(1)配置为用于探测围绕第一旋转轴线的第一转速和/或所述转速传感器(1)配置为用于探测围绕第二旋转轴线的第二转速，其中，所述第一旋转轴线沿着基本上平行于所述主延伸平面布置的X方向(101)延伸，其中，所述第二旋转轴线沿着基本上垂直于所述主延伸平面布置的Z方向(103)延伸，其中，所述第一质量振动器(2)和所述第二质量振动器(3)在驱动运动方向上能沿着垂直于所述X方向(101)并且垂直于所述Z方向(103)布置的Y方向(102)反相地偏移，其中，所述第一和第二质量振动器(2、3)在围绕所述第一旋转轴线旋转时受到沿Z方向(103)的第一力，其中，所述第一和第二质量振动器(2、3)在围绕所述第二旋转轴线旋转时受到沿X方向(101)的第二力。
转速传感器

[发明专利]转速传感器、用于制造转速传感器的方法-CN201880051392.0在审
发明人： R·诺伊;A·拉斯尔;J-T·利韦德;N·博德;M·屈内尔;B·库尔曼;O-A·普吕茨;N·F·库尔曼;P·德根费尔德-舍恩堡 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-07-30 - 公布日： 2020-04-10 - 主分类号： G01C19/5783 文献下载
摘要：本发明要求保护一种转速传感器，该转速传感器具有衬底，其中，所述衬底具有主延伸平面(110、120)，其中，所述转速传感器具有能置于振动中的至少一个第一质量元件和第二质量元件(10、20)，其中，所述衬底的第一主延伸方向(110)从所述第一质量元件(10)指向所述第二质量元件(20)，其中，沿第一主延伸方向(110)在所述第一质量元件和第二质量元件(10、20)之间布置有耦合结构(30)，其特征在于，所述耦合结构(30)的第一耦合区域(31)布置在第一功能层(1)中，其中，所述第一质量元件(10)的第一质量区域(11)布置在所述第一功能层(1)中，其中，所述第一质量元件(10)的第二质量区域(12)布置在第二功能层(2)中，其中，所述第一功能层(1)沿垂直于所述主延伸平面(110、120)的延伸方向(200)布置在所述衬底和所述第二功能层(2)之间，其中，第二主延伸方向(120)垂直于所述第一主延伸方向(110)，其中，所述第一耦合区域(31)沿所述第一主延伸方向(110)具有大于沿所述第二主延伸方向(120)的延展尺度。
转速传感器用于制造方法

[发明专利]用于在元器件载体上装配垂直混合集成的元器件的内插器-CN201580029574.4在审
发明人： R·诺伊;J·克拉森;T·克拉默;J·赖因穆特;M·哈塔斯;L·特伯杰;D·C·迈泽尔;R·赖兴巴赫;F·霍伊克;A·皮格勒尼耶 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2015-05-29 - 公布日： 2017-02-22 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明提出一种用于在垂直混合集成元器件的结构中减小由装配引起的机械应力的内插器方案，该内插器方案能够实现元器件在元器件载体上的可靠的机械固定并且节省空间地电接通元器件。该内插器(301)包括面状的载体衬底(310)，该载体衬底具有至少一个正面布线平面(320)，在该正面布线平面中构造由用于在内插器(301)上装配元器件(100)的正面连接垫(321)，该载体衬底还具有至少一个背面布线平面(330)，在该背面布线平面中构造有用于在元器件载体(110)上的装配的背面连接垫(331)，其中，正面连接垫(321)和背面连接垫(331)相互错开地布置，该载体衬底还具有用于电连接至少一个正面布线平面(320)和至少一个背面布线平面(330)的电镀通孔(340)。根据本发明的载体衬底(310)包括至少一个边缘区段(360)和至少一个中间区段(350)，它们通过应力去耦结构(371)至少很大程度地机械去耦。用于装配元器件(100)的正面连接垫(321)仅布置在中间区段(350)上，而用于装配在元器件载体(110)上的背面连接垫(331)仅布置在边缘区段(360)上。
用于元器件载体装配垂直混合集成内插

[发明专利]偏航率传感器-CN200880116117.9有效
发明人： R·诺伊;J·克拉森;T·欧姆斯;B·库尔曼;A·弗兰克;O·科恩;D·C·迈泽尔;J·豪尔;U-M·戈梅;K·克尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2008-10-02 - 公布日： 2010-10-20 - 主分类号： G01C19/56 文献下载
摘要：本发明涉及一种偏航率传感器，具有衬底和多个可运动的部分结构，所述可运动的部分结构设置在所述衬底的表面上方，其中，所述可运动的部分结构与一个共同的、尤其是中央弹簧元件耦合，设有用于激励所述可运动的部分结构在与所述衬底的表面平行的平面中作耦合的振动的器件，所述可运动的部分结构具有科氏元件，设有用于验证所述科氏元件的由科氏力引起的偏移的器件，设有用于检测绕第一轴的偏航率的第一科氏元件，设有用于检测绕第二轴的偏航率的第二科氏元件，所述第二轴与所述第一轴垂直地定向。
偏航传感器

[发明专利]偏振模式分散补偿的方法和偏振模式分散补偿器-CN99808488.3无效
发明人： R·诺伊 -专利权人：西门子公司
申请日： 1999-06-24 - 公布日： 2004-07-14 - 主分类号： H04B10/135 文献下载
摘要：在双折射的基质材料(SUB)上的偏振变换器(TRF1)有比较多数目的各自具有两个模式转换器电极(Eij，i＝1，2；j＝1，2，…n)的单元(Pj)，将模式转换器电极可以个别地或者在多于两个组中可以个别地进行控制，这样就可以补偿偏振模式分散。
偏振模式分散补偿方法

[发明专利]偏振模式分散的仿真器和补偿器-CN99807366.0无效
发明人： R·诺伊 -专利权人：西门子公司
申请日： 1999-04-07 - 公布日： 2001-07-25 - 主分类号： G02B6/34 文献下载
摘要：一个光波(L)偏振模式分散的仿真器或补偿器(EK)具有输入端(EE)、一个贯穿的光波电缆(LWL),这个光波电缆是具有有差别的分组运行时间(DGD)的保持偏振的光波电缆(PMF),具有偏振转换器(PT)和输出端(AA)。偏振转换器同样构成为保持偏振的光波电缆(PMF)和允许无限的偏振转换。仿真器或补偿器(EK)可以由多个单个仿真器或—补偿器(1,2,…N)组成,这些各自具有输入端(E)和输出端(A)。
偏振模式分散仿真器补偿

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