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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]MEMS感测器-CN201480030841.5有效
发明人： F-X·布瓦洛特;R·拉奥毕 -专利权人：特罗尼克斯微系统有限公司
申请日： 2014-05-21 - 公布日： 2017-10-10 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：一种用于测量诸如加速度、旋转、磁场的物理参数的感测器包括限定衬底平面的衬底(13)以及悬挂在衬底(13)上方用于进行至少具有沿感测方向的第一分量的运动的至少一个感测板(11、12)。感测方向垂直于衬底平面。存在至少一个检测臂(14.1、14.2)，悬挂在衬底(13)的上方，用于进行绕平行于衬底平面的旋转轴线的旋转运动。面外耦合结构(17.1、17.4)用于将所述感测板(11、12)的运动的第一分量耦合到所述检测臂(14.1、14.2)，用于产生检测臂(14.1、14.2)的旋转运动。旋转检测结构与检测臂(14.1、14.2)配合，用于检测检测臂(14.1、14.2)相对于衬底平面的旋转运动。枢转元件(17.2、17.3)布置在距离面外耦合结构(17.1、17.4)的一段距离处，该枢转元件(17.2、17.3)将感测板耦合到衬底平面上方固定距离处的基准面(19)，使得感测板(11、12)进行面外倾斜运动。
mems 感测器

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