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[发明专利]酰基膦及其衍生物的制备方法-CN200480020599.X有效
发明人： R·H·索默拉德;S·布尔马斯;J·－P·沃尔夫;J·盖尔;H·格吕茨马赫;M·谢勒尔;H·舍恩伯格;D·施泰因;P·穆雷尔;S·伯克哈德特 -专利权人：西巴特殊化学品控股有限公司
申请日： 2004-07-09 - 公布日： 2006-08-23 - 主分类号： C07F9/50 文献下载
摘要：本发明涉及一种选择性地制备式I的一酰基膦和二酰基膦的新方法，其中n和m彼此相互独立地是1或2；如果n＝1，则R₁是例如苯基；如果n＝2，则R₁是例如C₁－C₁₈亚烷基或亚苯基；R₂是例如C₁－C₁₈烷基、苯基或取代的苯基；R₃是例如C₁－C₁₈烷基，该方法通过下列步骤进行：(1)将式IIa的亚磷卤化物或式IIb的亚磷卤化物的氧化物或式IIc的亚磷卤化物的硫化物与碱金属在溶剂中在质子源存在下反应； (2)随后与m个式III的酰基卤反应，然后进行氧化步骤，可以得到一和二酰基膦氧化物或一和二酰基膦硫化物。
酰基膦及其衍生物制备方法

[发明专利]卤代肟衍生物和其作为潜在的酸的用途-CN200480004559.6有效
发明人： H·亚马托;T·阿萨库拉;A·马特苏莫托;P·穆雷尔;T·欣特尔曼 -专利权人：西巴特殊化学品控股有限公司
申请日： 2004-02-09 - 公布日： 2006-03-22 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：式(I)或(II)的化合物，其中R₁是C₁－C₁₀卤代烷基磺酰基，卤代苯磺酰基，C₂－C₁₀卤代烷酰基，卤代苯甲酰基；R₂是卤素或C₁－C₁₀卤代烷基；Ar₁是苯基，联苯基，芴基，萘基，蒽基，菲基，或杂芳基，所有的这些都是任选被取代的；Ar′₁是例如亚苯基，亚萘基，二亚苯基，亚杂芳基，氧基二亚苯基，亚苯基D－D₁－D－亚苯基或－Ar″A₁－Y₁－A₁－Ar″代的；Ar″₁是亚苯基，亚萘基，亚蒽基，亚菲基，或亚杂芳基，所有的这些都是任选被取代的；A₁是例如直接的键，－O－，－S－或－NR₆－；Y₁特别是C₁－C₁₈亚烷基；X是卤素；D是例如－O－，－S－或－NR₆－；D₁特别是C₁－C₁₈亚烷基；在ArF抗蚀剂技术中特别适合作为光致潜在的(photolatent)酸。
卤代肟衍生物作为潜在用途

[发明专利]磺酸衍生物及其作为潜酸的用途-CN03803305.4有效
发明人： A·马特舒莫托;H·亚马托;T·阿萨库拉;P·穆雷尔 -专利权人：西巴特殊化学品控股有限公司
申请日： 2003-01-28 - 公布日： 2005-06-15 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：化学放大的光致抗蚀剂组合物，包含(a)在一种酸或一种其溶解度在酸的作用时增大的化合物的作用时固化的一种化合物；和(b)式Ia、Ib、IIa、IIb、IIIa、IIIb、IVa、IVb、Va、Vb、或VIa的化合物，式中n是1或2；m是0或1；X₀是－[CH₂]_h－X或－CH＝CH₂；h是2、3、4、5或6；R₁当n是1时是诸如任选地有取代的苯基、萘基、蒽基、菲基、或杂芳基；R₁当n是2时是诸如任选地有取代的亚苯基或亚萘基；R₂诸如有R₁的含义之一；X是诸如－OR₂₀、－NR₂R₂₂、－SR₂₃；X’是－X₁－A₃－X₂－；X₁和X₂是诸如－O－、－S－或一个直接键；A₃是诸如亚苯基；R₃有诸如对R₁给出的含义之一；R₄有诸如对R₂给出的含义之一；R₅和R₆是诸如氢；Gi.a.是－S－或－O－；R₇当n是1时是诸如任选地有取代的苯基，当n是2时是诸如亚苯基；R₈和R₉是诸如C₁－C₁₈烷基；R₁₀有对R₇给出的含义之一；R₁₁i.a.是C₁－C₁₈烷基；R₁₂、R₁₃、R₁₄、R₁₅、R₁₆、R₁₇和R₁₈是诸如氢或C₁－C₁₈烷基；R₂₀、R₂₁、R₂₂和R₂₃i.a.是苯基或C₁－C₁₈烷基；给出高分辨率和良好抗蚀剂形象。
衍生物及其作为用途

[发明专利]取代的肟衍生物及其作为潜在酸的用途-CN02810931.7有效
发明人： A·马特苏莫托;H·亚马托;T·阿萨库拉;M·奥瓦;P·穆雷尔 -专利权人：西巴特殊化学品控股有限公司
申请日： 2002-05-23 - 公布日： 2004-07-14 - 主分类号： C07D333/20 文献下载
摘要：通式(I)和(II)的新的肟磺酸酯化合物，(其中R₁是C_1－12烷基、C_1－4卤代烷基、氢、OR₉、NR₁₁R₁₂、SR₁₂或是未取代或被OH、C_1－18烷基、卤素和/或C_1－12烷氧基取代的苯基；R₂、R₃、R₄和R₅例如是氢或C_1－12烷基；R₆例如是C_1－18烷基磺酰基、苯基－C_1－3烷基磺酰基或苯磺酰基；R’₆是例如亚苯基二磺酰基或二亚苯基二磺酰基；R₇、R₈和R₉例如是氢或C_1－6烷基；R₁₀和R₁₁例如是氢或C_1－18烷基；R₁₂是例如氢、苯基或C_1－18烷基；A是S、O、NR₁₃、或A1、A2或A3的基团；R₂₁和R₂₂各自独立地具有R₇的定义；R₂₃、R₂₄、R₂₅和R₂₆各自独立地是例如氢、C_1－4烷基、卤素或苯基；Z是CR₂₂或N；和Z₁是CR₂₂或N；和Z₁是CR₂₂或N；和Z₁是－CH₂－、S、O或NR₁₃)特别适用于在光致抗蚀剂应用中作为光致潜在酸。
取代衍生物及其作为潜在用途

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