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专利名称

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公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]电容检测区域传感器及其装置、以及导电图案检查装置-CN201980043486.8有效
发明人：须川成利;黑田理人;后藤哲也;羽森宽;村上真一;安田俊朗 -专利权人：国立大学法人东北大学;OHT株式会社
申请日： 2019-08-08 - 公布日： 2023-08-18 - 主分类号： G01R29/24 文献下载
摘要：电容检测区域传感器将多个电容传感器元件配置成二维阵列状，呈任意的形状，并与外部电极电容耦合。向外部电极供电具有电位差的检查信号。针对所选择的与外部电极电容耦合的电容传感器元件，在上述检查信号的第一信号时和第二信号时的定时从上述电容传感器元件获取第一传感器输出信号、第二传感器输出信号。生成将所获取到的第一传感器输出信号、第二传感器输出信号取差分而得的差分信号，并基于差分信号的电平来生成以不同的颜色或者不同的灰度表示外部电极的形状的图像。
电容检测区域传感器及其装置以及导电图案检查

[发明专利]容量传感器和容量传感器的制造方法-CN202110766043.0在审
发明人：安田俊朗;上林和利;须川成利;黑田理人;后藤哲也 -专利权人： OHT株式会社;国立大学法人东北大学
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： G01D5/24 文献下载
摘要：容量传感器具有传感器电极、第一电极极板、基板、第二电极极板。传感器电极输出与检测对象物之间的静电容量对应的信号。第一电极极板与传感器电极连接。基板具有基板表面部和阶部。在基板表面部安装有传感器电极和第一电极极板。阶部在相对于基板的基板表面部低的位置形成。第二电极极板安装于阶部，与外部配线连接。
容量传感器制造方法

[发明专利]非接触型电路图案检查修复装置-CN201710521158.7有效
发明人：羽森宽;上田淳 -专利权人： OHT株式会社;株式会社V技术
申请日： 2017-06-30 - 公布日： 2020-01-07 - 主分类号： H05K3/22 文献下载
摘要：本发明提供非接触型电路图案检查修复装置，向形成于检查对象的基板上的导电体图案以非接触方式通过电容耦合供给交流的检查信号，将通过的检查信号作为检测信号接收，进行缺陷判定，将缺陷部位的信息和基板上的位置信息进行关联并作为坐标信息存储于存储器部，在修复缺陷部位时，维持将基板固定于检查位置的状态，读出坐标信息，确定基板上的缺陷部位的位置，通过切除修复部或沉积修复部进行修复。
接触电路图案检查修复装置

[发明专利]导电体图案检查装置-CN201611060604.0有效
发明人：安田俊朗;村上真一 -专利权人： OHT株式会社
申请日： 2016-11-25 - 公布日： 2019-07-30 - 主分类号： G01R31/02 文献下载
摘要：导电体图案检查装置中，第一传感器电极与供电了检查信号的第一导电体图案电容耦合而检测第一检测信号，第二传感器电极与没有供电检查信号的第二导电体图案电容耦合而在第二导电体图案中流过了检查信号时检测其作为第二检测信号，检测信号处理部算出将第一检测信号和第二检测信号相加后的和信号、和从第一检测信号减去了第二检测信号的差信号，将差信号除以和信号，生成判定用信号。将该判定用信号与阈值进行比较，判定有无短路的缺陷。
导电体图案第二检测检测信号检查信号判定电容耦合检查装置电极检测信号处理第二传感器第一传感器供电信号相加短路检测减去

[发明专利]非接触型基板检查装置及其检查方法-CN201710403144.5在审
发明人：村上真一;横道弥生 -专利权人： OHT株式会社
申请日： 2017-06-01 - 公布日： 2017-12-08 - 主分类号： G01R31/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种非接触型基板检查装置及其检查方法，具备将在具有分支部位的配线图案上以非接触方式一同配置的基准传感器及信号传感器的检测信号放大的增益调整单元，生成利用差分放大器将调整了增益的各检测信号的差放大的判定用信号，将判定用信号除以预定的基准值，求变化率，将所述变化率与预先设定的阈值进行比较，进行不良判定。
接触型基板检查装置及其方法

[发明专利]接触型电路图案检查装置及其检查方法-CN201510161578.X有效
发明人：目崎正胜;片桐英树 -专利权人： OHT株式会社
申请日： 2015-03-03 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： G01R31/02 文献下载
摘要：提供一种能够有效地进行多个印刷电路板单片的拍摄和检查的接触型电路图案检查装置和方法。用于检查包括多个印刷电路板单片的印刷电路板的接触型电路图案检查装置，其包括设置有照相机单元和检查部的探针单元。每个单片上具有位置对准特征点，照相机单元拍摄位置对准特征点，检查部与单片接触以检查单片的导电图案。该装置进一步地包括使探针单元移动的移动机构、和计算拍摄以及检查时探针单元的最小移动路径的运算部。最小移动路径是通过对多个单片内的1个单片，采用在拍摄该单片上的所有位置对准特征点之后进行该单片的检查的条件，且对所有的多个单片采用该条件而计算得到的。
接触电路图案检查装置及其方法

[发明专利]电路图案检查装置-CN201410030517.5有效
发明人：羽森宽 -专利权人： OHT株式会社
申请日： 2014-01-22 - 公布日： 2014-10-01 - 主分类号： G01R31/02 文献下载
摘要：电路图案检查装置将多个单一画面大小、或混杂多个画面大小的电路板作为检查对象，对于基板上的各画面大小的图案群的各导体图案，通过交错配置的检查电极，根据导体图案来选择，通过电容耦合来施加及检测由交流信号构成的检查信号，从而通过非接触方式实施合格与否判定。
电路图案检查装置

[发明专利]电路布图检查装置-CN201410056938.5有效
发明人：羽森宽 -专利权人： OHT株式会社
申请日： 2014-01-08 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： G01R31/02 文献下载
摘要：在电路布图检查装置中，按照邻接或接近于检查部的供电电极的两侧的方式，排列有多个消弧电极，将相对于施加于检查对象的导电体布图的检查信号而发生相移的交流的消弧信号施加于各消弧电极，形成与检查信号的电场方向相反方向的电场分布，切削检查信号的电场分布的底侧部分，形成进行了尖锐化的合成电场分布，有选择地对检查对象的导电体布图供电，根据已获得的检测信号，实施导电体布图的良好缺陷的适当的判断。
电路检查装置

[发明专利]电极基板及具有该电极基板的电路图案检查装置-CN201210590237.0无效
发明人：羽森宽;鬼塚好弘;中村智宣 -专利权人： OHT株式会社;株式会社鬼塚硝子
申请日： 2012-12-28 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： G01R31/02 文献下载
摘要：本发明提供一种电极基板、以及具有该电极基板的电路图案检查装置。在电路图案检查装置的检查中所使用的传感器电极基板或供电电极基板为，将形成配线构图之后的玻璃板贴合，从玻璃板切下玻璃片，在厚度方向上贴合其他玻璃片，制作电极基板，由此成为形成了贯穿基板正反面的贯通配线的电极基板。
电极具有电路图案检查装置

[发明专利]电路图案检查装置-CN201210019495.3有效
发明人：羽森宽 -专利权人： OHT株式会社
申请日： 2012-01-20 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： G01R31/28 文献下载
摘要：本发明提供一种电路图案检查装置，其设有对于检查电极对的电极所对向的导电图案部分检测缺陷的补充电极。
电路图案检查装置

[发明专利]电路图案检查装置-CN201010243928.4有效
发明人：羽森宽;坂和正敏;加藤浩介 -专利权人： OHT株式会社
申请日： 2010-08-02 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： G01R31/302 文献下载
摘要：本发明涉及一种电路图案检查装置，能够解决在采用非接触方式与导体图案进行电容耦合的电极的电路图案检查装置中，随着检查对象的导电图案的微细化的进展，得到的检查信号值变小，判断缺陷变难的问题。本发明的电路图案检查装置将具备空开间隔配置的两组的传感器对的检查部移动的同时，通过电容耦合对各导电图案施加由交流信号构成的检查信号，并且通过电容耦合检测传输于导电图案的检查信号，通过利用一次移动的检查分别检测来自各导电图案的检查信号，将这些检测信号与判断基准值进行比较，从而选出缺陷候补，使在各检查信号中的导电图案的位置一致，将缺陷候补彼此进行比较，将在相同图案位置上共通存在缺陷候补的导电图案判断为不良。
电路图案检查装置

[发明专利]电路图案检查装置-CN200810211471.1无效
发明人：羽森宽;石冈圣悟 -专利权人： OHT株式会社
申请日： 2008-09-26 - 公布日： 2009-04-01 - 主分类号： G01R31/02 文献下载
摘要：本发明提供一种通过非接触式传感器进行导电图案检查的电路图案检查装置，解决由于大型化的衬底产生检查台表面高度差或者衬底弯曲，检查时传感器部移动机构的移动精度和技术难度提高，影响制造成本的问题。本发明的电路图案检查装置中，在检查时非接触式传感器部和检查台固定，传送的衬底距离检查台一定距离处上浮状态下通过，使作为检查对象的衬底上的导电图案与传感器部之间保持一定距离，能够抑制检测出的检测信号的电位发生波动等上下变动，能够使用简单的传送机构。
电路图案检查装置

[发明专利]基板搬运机构-CN200710180984.6无效
发明人：前山行成;山冈秀嗣;石冈圣悟 -专利权人： OHT株式会社
申请日： 2007-10-10 - 公布日： 2008-04-16 - 主分类号： H05K13/02 文献下载
摘要：在现有的搬运带载体的搬运机构中，无论是采用穿孔的搬运机构、采用滚轮对进行夹持搬运的手柄式滚轮搬运机构、还是夹住带的里外面进行搬运的夹板机构，都会对带表面产生损伤。本发明提供一种基板检测器的搬运机构，滑动搬运部6A、6B中的吸附垫25、30交互地吸附保持在带状基板5的里面，并从搬运方向的上游向下游移动；通过进行该连续的交互往复移动，使带状基板5在搬运方向上从上游侧向下游侧移动。
搬运机构

[发明专利]检查装置和检查方法及检查装置用传感器-CN200680002741.7有效
发明人：羽森宽;山冈秀嗣;石冈圣悟 -专利权人： OHT株式会社
申请日： 2006-01-19 - 公布日： 2008-01-16 - 主分类号： G01R31/02 文献下载
摘要：本发明提供一种检查装置，在检查对象为导体的情况时，可以以非接触和良好的精度检测该检查对象的状态。设置有传感器板组其包含有：纵向较长形状的供电传感器板20，定位在离开被施加有交流检查信号的作为检查对象导体的导体图案15指定距离的位置，用来提供检查信号；纵向较短形状的检测传感器板30，可以被定位在接近导体图案15的检查信号检测部位，用来检测导体图案15的检查信号；将多组的传感器板组定位，使传感器板位置成为交替(交错)的位置，对于该导体图案15，可以用各组的传感器板组进行检查。
检查装置方法传感器

[发明专利]电路图案检查装置及其方法-CN200680002731.3无效
发明人：羽森宽;山冈秀嗣;石冈圣悟 -专利权人： OHT株式会社
申请日： 2006-01-18 - 公布日： 2008-01-16 - 主分类号： G01R31/02 文献下载
摘要：本发明提供可以检测衬底上的导电图案的断路状态的电路图案检查装置及其方法。在导电图案的一方端部配置供电部12，以非接触的方式提供检查信号，在该导电图案的另外一方端部配置断路传感器13，用来以非接触的方式检测检查信号。另外，在离开该导电图案多个图案的距离的导电图案，在配置有断路传感器13的同一侧的端，以非接触状态配置噪声传感器19。将断路传感器13检测到的检查信号和噪声混合的信号，和噪声传感器检测到的未与检查信号混合的噪声的信号输入到差动放大器20，用来除去同相成分的信号的噪声，藉以排除噪声的影响，可以以非接触的方式准确检查被配置在衬底上行状的导电图案是否良好。
电路图案检查装置及其方法

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