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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]直接在非晶硅硬掩模上的构图-CN201880072073.8在审
发明人： E.A.德席尔瓦;A.阿塞奥德拉佩纳;N.费力克斯 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2018-11-15 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L21/265 文献下载
摘要：本文中的本发明包括通过注入非极性疏水性元素来增强非晶硅硬掩模的表面，从而导致非晶硅表面的疏水性增加和抗蚀剂粘附性增加。根据本发明，注入疏水性元素可以包括通过低能量注入和等离子体处理将疏水性元素引入到非晶硅的表面中。注入的疏水性元素可以是硼、氙、氟、磷、其组合或其他疏水性元素。根据本发明，用10‑15％的疏水元素增强了非晶硅的表面，但是在其他实施方案中，可以根据需要调节该组成。然而，在任何情况下，本文的发明包括保持非晶硅硬掩模的整体蚀刻选择性。
直接非晶硅硬掩模上构图

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