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[发明专利]感光化合物-CN200580017386.6无效
发明人： M·D·拉曼;金羽圭;M·派德马纳班;李相昊 -专利权人： AZ电子材料美国公司
申请日： 2005-06-08 - 公布日： 2007-05-09 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明涉及具有式(I)的新型光酸产生剂，其中这些残基具有在说明书中示出的含义。
感光化合物

[发明专利]用于深紫外的光刻胶组合物及其工艺-CN200480034953.4无效
发明人： M·D·拉曼 -专利权人： AZ电子材料美国公司
申请日： 2004-11-23 - 公布日： 2007-01-10 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明涉及一种新的对深紫外辐射敏感的光刻胶组合物以及一种使该组合物成像的工艺。该光刻胶组合物包括：a)不溶于碱性水溶液且包括至少一种酸不稳定基团的新的聚合物，以及b)在辐射下能产生酸的化合物。本发明的新的聚合物包括至少一种具有双酯基团(－C(O)OWC(O)O－)的单元，该双酯基团一端连接到包括脂族基团的聚合物骨架单元(A)上，且另一端连接到金刚烷基上。本发明也涉及该新的聚合物以及获得该新的聚合物的新的单体。
用于深紫光刻组合及其工艺

[发明专利]光活性化合物-CN200480013376.0无效
发明人： M·D·拉曼;F·M·霍利亨 -专利权人： AZ电子材料美国公司
申请日： 2004-05-07 - 公布日： 2006-06-21 - 主分类号： C07C381/12 文献下载
摘要：本发明涉及可用于配制光刻胶组合物的新型光活性化合物。
活性化合物

[发明专利]生产光致抗蚀剂组合物用成膜树脂的方法-CN02808085.8无效
发明人： M·D·拉曼;D·麦肯齐;T·工藤;M·帕德马纳本 -专利权人：科莱恩金融(BVI)有限公司
申请日： 2002-03-19 - 公布日： 2005-06-22 - 主分类号： B01J20/28 文献下载
摘要：本发明提供了生产适合用于光致抗蚀剂组合物的成膜树脂的方法，包括下列步骤：(a)提供成膜树脂在溶剂中的溶液，所述成膜树脂通过将含有环烯烃或酸不稳定丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯单体的至少一种单体聚合来制备；(b)提供以下两种滤片的至少一种：(i)包括其中固定有颗粒助滤剂(优选用酸洗涤过)和颗粒离子交换树脂的自承纤维基质的滤片，所述离子交换树脂具有大约2到大约10微米的平均粒度，其中所述颗粒助滤剂和离子交换树脂颗粒基本上均匀分布在所述基质的整个截面部分；和/或(ii)包括其中固定有颗粒助滤剂和粘结剂树脂的自承纤维(优选纤维素)基质的滤片，该滤片优选不含有任何离子交换树脂，和具有0.05到0.5μm的平均孔径；(c)用步骤a)的溶剂冲洗步骤b)的滤片；和(d)让该成膜树脂的溶液通过步骤(c)的冲洗过的滤片。本发明还提供了生产光致抗蚀剂组合物的方法，包括提供：1)用上述方法制备的成膜树脂；2)其量足以使光致抗蚀剂组合物光敏化的光敏组分；和任选3)其它适合的光致抗蚀剂溶剂的混合物。本发明还提供了通过在基材上形成影像来生产微电子器件的方法，所述方法包括以下步骤：a)提供通过前述方法制备的光致抗蚀剂组合物；b)此后，用步骤a)的光致抗蚀剂组合物涂布适合的基材；c)此后，热处理涂布的基材，直到基本上全部的光致抗蚀剂溶剂被去除为止；和d)将该光致抗蚀剂组合物成像曝光和用适合的显影剂除去光致抗蚀剂组合物的成像曝光区域。
生产光致抗蚀剂组合物用成膜树脂方法

[发明专利]半导体装置的生产方法-CN01116342.9无效
发明人： M·D·拉曼;D·P·奥宾 -专利权人：科莱恩金融(BVI)有限公司
申请日： 1995-12-21 - 公布日： 2004-09-15 - 主分类号： C08G8/08 文献下载
摘要：水不溶性、含水碱溶性可溶可熔酚醛树脂，该树脂的制备方法，合有该树脂的光刻胶以及制备半导体装置的方法，其中该树脂通过液面下强制水蒸汽蒸馏法得到分离。
半导体装置生产方法

[发明专利]经分馏的线型酚醛清漆树脂和由其得到的光刻胶组合物-CN98812233.2无效
发明人： M·D·拉曼;M·M·库克;卢炳宏 -专利权人：克拉里安特国际有限公司
申请日： 1998-12-01 - 公布日： 2004-04-21 - 主分类号： C08G8/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种方法，通过分离出一种具有一致的分子量并在光刻胶组合物中具有优异性能的线型酚醛清漆树脂馏分，以生产一种经分馏的成膜线型酚醛清漆树脂。还提供了一种由该经分馏的线型酚醛清漆树脂生产光刻胶组合物的方法，以及使用该光刻胶组合物生产半导体元件的方法。
分馏线型酚醛清漆树脂得到光刻组合

[发明专利]分级酚醛清漆树脂共聚物的生产方法-CN98810741.4无效
发明人： M·D·拉曼;S·F·瓦纳特;M·M·库克;D·S·麦克肯兹;S·S·狄克斯特 -专利权人：克拉里安特国际有限公司
申请日： 1998-09-16 - 公布日： 2004-03-17 - 主分类号： G03F7/023 文献下载
摘要：本发明提供了一种成膜分级酚醛清漆树脂共聚物的生产方法，其中所述的酚醛清漆树脂共聚物在光刻胶组合物中显示出快速的感光速度和优异的性能。另外，本发明还提供根据所述分级酚醛清漆树脂共聚物生产光刻胶组合物的方法，以及使用所述光刻胶组合物生产半导体装置的方法。
分级酚醛清漆树脂共聚物生产方法

[发明专利]用于深紫外线的光刻胶组合物及其方法-CN01812974.9无效
发明人： M·D·拉曼;M·帕德马纳本;R·R·戴米尔 -专利权人：科莱恩金融(BVI)有限公司
申请日： 2001-07-11 - 公布日： 2003-09-17 - 主分类号： G03F7/039 文献下载
摘要：本发明涉及一种化学放大体系，它对300nm和100nm之间的波长敏感，并包含a)一种不溶于碱性水溶液且包含至少一个酸不稳定基团的聚合物，b)一种能够在辐射时生产酸的化合物。本发明包含一种由脂环族烃烯烃，具有侧环状部分的丙烯酸酯，和环状酸酐制成的聚合物。本发明还涉及一种用于成像这种光刻胶的方法。
用于深紫外线光刻组合及其方法

[发明专利]用离子交换设备减少微量金属离子的方法-CN99808837.4无效
发明人： M·D·拉曼;C·R·斯皮勒蒂;M·M·库克 -专利权人：克拉里安特国际有限公司
申请日： 1999-06-25 - 公布日： 2003-08-06 - 主分类号： B01J47/02 文献下载
摘要：本发明提供利用特殊设计的离子交换设备来生产有很低金属离子含量的溶液的方法。还提供一种在使用这种离子交换设备的方法中由酚醛清漆树脂经净化来生产有很低金属离子含量的光致抗蚀剂组合物的方法。
离子交换设备减少微量金属离子方法

[发明专利]生产光敏抗蚀剂组合物的方法及用该组合物生产半导体元件的方法-CN02142837.9无效
发明人： M·D·拉曼;D·P·奥宾;D·N·克哈纳;S·S·迪克希特 -专利权人：克拉里安特国际有限公司
申请日： 1996-09-18 - 公布日： 2003-07-30 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：公开了一种生产正性光敏抗蚀剂组合物的方法及用这种光敏抗蚀剂组合物涂覆适合的基片在基片上产生光敏抗蚀剂图象生产半导体元件的方法。
生产光敏抗蚀剂组合方法半导体元件

[发明专利]用于从含水或非水体系中除去金属离子的螯合的聚羟基苯乙烯-CN98812234.0无效
发明人： M·D·拉曼;J·索凯提斯;R·E·波特温;M·A·卡迪姆 -专利权人：克拉里安特国际有限公司
申请日： 1998-12-01 - 公布日： 2003-06-18 - 主分类号： C08F8/30 文献下载
摘要：一种制备去离子树脂的方法，它包括：最少具有一个活性羟基和一个活性螯合部位的有机化合物与最少有一个活生羟基或氨基的有机高分子基体反应；产生螯合的聚合物配合物；用水洗涤此聚合物配合物，再用无机酸溶液洗；再用水洗，以此减小钠、铁和铬离子在聚合物配合物中的含量，使之均低于100ppb。
用于含水水体除去金属离子羟基苯乙烯

[发明专利]由甲酚－甲醛反应混合物分馏的酚醛清漆树脂和由它得到的抗光蚀剂组合物-CN97181409.0无效
发明人： M·D·拉曼;卢炳宏;M·库克 -专利权人：克拉里安特国际有限公司
申请日： 1997-12-16 - 公布日： 2003-05-14 - 主分类号： C08G8/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种通过在非高温蒸馏条件下分离出酚醛清漆树脂级分，制备具有一致分子量和在抗光蚀剂组合物中优异性能的可成膜的、分级酚醛清漆树脂的方法。还提供了一种由该分级酚醛清漆树脂制备抗光蚀剂组合物的方法、以及一种使用该抗光蚀剂组合物制造半导体设备的方法。
甲酚甲醛反应混合物分馏酚醛清漆树脂得到抗光蚀剂组合

[发明专利]分馏酚醛清漆树脂和由其得到的抗光蚀剂组合物-CN97181411.2无效
发明人： M·D·拉曼;卢炳宏 -专利权人：克拉里安特国际有限公司
申请日： 1997-12-16 - 公布日： 2003-05-14 - 主分类号： C08G8/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种通过在非高温蒸馏条件下分离出酚醛清漆树脂级分，制备具有一致分子量和在抗光蚀剂组合物中优异性能的可成膜的、分级酚醛清漆树脂的方法。还提供了一种由该分级酚醛清漆树脂制备抗光蚀剂组合物的方法、以及一种使用该抗光蚀剂组合物制造半导体设备的方法。
分馏酚醛清漆树脂得到抗光蚀剂组合

[发明专利]酚甲醛缩合物的分馏和由其生产的光敏抗蚀剂组合物-CN96197087.1无效
发明人： M·D·拉曼;D·P·奥宾;D·N·克哈纳;S·S·迪克希特 -专利权人：克拉里安特国际有限公司
申请日： 1996-09-18 - 公布日： 2003-04-09 - 主分类号： C08G8/08 文献下载
摘要：一种通过分馏酚甲醛缩合产物生产金属离子含量低、不溶于水、溶于碱水的成膜酚醛清漆树脂的方法，生产含有这种酚醛清漆树脂的光敏抗蚀剂组合物的方法，及用这种光敏抗蚀剂组合物生产半导体元件的方法。
甲醛缩合分馏生产光敏抗蚀剂组合

[发明专利]酚甲醛缩合物的分馏和由其生产的光敏抗蚀剂组合物-CN96197086.3无效
发明人： M·D·拉曼;D·P·奥宾;D·N·克哈纳;S·S·迪克希特 -专利权人：克拉里安特国际有限公司
申请日： 1996-09-18 - 公布日： 2003-01-22 - 主分类号： C08G8/08 文献下载
摘要：一种通过分馏酚甲醛缩合产物生产金属离子含量低、不溶于水、溶于碱水的成膜酚醛清漆树脂的方法，生产树脂的方法，含有这种酚醛清漆树脂的高质量的光敏抗蚀剂组合物，及用这种光敏抗蚀剂组合物生产半导体元件的方法。
甲醛缩合分馏生产光敏抗蚀剂组合