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[发明专利]致动机构、光学设备、光刻设备以及制造器件的方法-CN201380063824.7有效
发明人： J·范肖特;S·霍尔;E·比伊斯;E·雷克斯;G·德弗里斯;H·博特玛;M·范达姆;R·范戈科姆 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2013-09-17 - 公布日： 2017-10-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种用于使例如反射镜位移的致动器(300)，通过改变两个电磁体(370、372、376、378)中的电流提供了具有至少两个自由度的运动。移动部分包括具有被约束为在工作区域之上移动的磁面的永磁体(362)，该工作区域基本上位于垂直于磁体的磁化的方向的第一平面中。电磁体具有基本上位于与第一平面接近平行的第二平面中的极面(380、382)，每个极面基本上填充由移动磁体的面横切的区域的四分之一。光学位置传感器(390)可以通过在电磁体之间的中心空间将辐射束(398)引导在移动磁体处。可以使光瞳反射镜装置中的琢面的尺寸在外围区域中较小，而在中心区域中较大，由此放松聚焦要求。
机构光学设备光刻以及制造器件方法

[发明专利]照射系统、光刻设备和调节照射模式的方法-CN201080037493.6有效
发明人： G·德维里斯;埃德温·比伊斯;M·范达姆;J·范斯库特;F·布恩;H·科瑞沃 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2010-03-18 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：公开了一种照射系统，该照射系统具有可以配置成形成照射模式的多个可移动反射元件(22a、22b、22c)和相关的致动器。所述致动器中的一个或更多个布置成在第一位置、第二位置和第三位置之间移动，并因此在第一方向、第二方向和第三方向之间移动相关的可移动反射元件(22a、22b、22c)，所述第一方向和第二方向使得从所述可移动反射元件(22a、22b、22c)反射的辐射形成所述照射模式的一部分，所述第三方向使得从所述可移动反射元件反射的辐射不形成照射模式的一部分。
照射系统光刻设备调节模式方法

[发明专利]平版印刷版的制备方法-CN200980110612.3有效
发明人： P·亨德里克斯;A·威廉森;M·范达姆 -专利权人：爱克发印艺公司
申请日： 2009-03-23 - 公布日： 2011-02-23 - 主分类号： G03F7/32 文献下载
摘要：制备平版印刷版的方法，该方法包括以下步骤：-提供了平版印刷版前体，该前体包括在亲水性载体上提供的光聚合涂层；-成图像曝光该前体；-预热该曝光的前体；-在胶液中显影该曝光的前体；其特征在于，在预热该前体后和在显影该前体前，进行该前体的加速冷却，并且该冷却基本上不除去该前体的涂层的部分。
平版印刷制备方法

[发明专利]制备平版印版前体的方法-CN200880121371.8有效
发明人： V·弗舒伦;P·亨德里克斯;W-K·格里斯;M·范达姆 -专利权人：爱克发印艺公司
申请日： 2008-12-17 - 公布日： 2010-12-01 - 主分类号： G03F7/09 文献下载
摘要：本发明的制备平版印版前体的方法，其包含步骤：提供铝载体；磨砂化和阳极化该铝载体；将一种组合物涂覆到该磨砂化的和阳极化的铝载体上来形成可光聚合层，而不向该阳极化的铝载体上施加亲水层，该组合物是通过吸收波长为350nm-450nm的光而可光聚合的，并且包含可聚合单体或者低聚物、粘合剂和光引发剂；在该可光聚合层上涂覆罩面层；特征在于可聚合单体和低聚物的总固体量与粘合剂的总固体量的比值是1.0-2.0。
制备平版印版前体方法

[发明专利]用于感光聚合物印版显影和涂胶的胶溶液-CN200880016232.9有效
发明人： W·-K·格里斯;P·亨德里克斯;M·范达姆 -专利权人：爱克发印艺公司
申请日： 2008-05-14 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： G03F7/32 文献下载
摘要：本发明提供一种胶溶液，所述胶溶液包含成膜亲水聚合物或表面活性剂和由选自磷酸和亚磷酸的酸与二链烷醇胺或三链烷醇胺反应生成的盐。胶溶液适用于感光聚合物平版印版前驱体显影和涂胶。本发明还提供一种制备平版印版的方法，其中使用此胶溶液，并由此得到显示改善清除性能的印版。
用于感光聚合物显影涂胶胶溶

[发明专利]制作平版印刷印版前体的方法-CN200880015841.2无效
发明人： P·亨德里克斯;W·-K·格里斯;M·范达姆 -专利权人：爱克发印艺公司
申请日： 2008-05-15 - 公布日： 2010-03-24 - 主分类号： G03F7/09 文献下载
摘要：本发明公开了一种制作平版印刷印版前体的方法，所述方法包括以下步骤：a.提供包括具有亲水性表面或提供有亲水性层的载体、包含光致聚合组合物的光致聚合涂层和包含水溶性低分子量酸的外涂层的平版印刷印版前体，其中所述外涂层的表面pH值为1-6；b.按图像暴露所述前体；c.任选加热所述暴露的前体；d.通过施用胶溶液且任选擦刷所述前体和/或通过将所述前体安装在平版印刷机的印版滚筒上并旋转所述印版滚筒，同时向所述涂层供应润版液体和/或油墨使得到的前体显影。在成像并于离机构造中用胶溶液或于在机构造中用润版溶液或油墨显影之后得到的印版在印刷机上的印刷工艺启动中显示出改善的滚墨性能。
制作平版印刷印版前体方法

[发明专利]制造光聚合物印版的方法-CN200680042911.4有效
发明人： W·-K·格里斯;M·范达姆 -专利权人：爱克发印艺公司
申请日： 2006-11-17 - 公布日： 2009-06-10 - 主分类号： G03F7/09 文献下载
摘要：制备平印版的方法，包括下列步骤：a)提供包含下列组分的平印版前体：(i)具有亲水表面或被赋予亲水层的载体，(ii)在所述载体上的涂层，包含光可聚合层和任选地在该光可聚合层和载体之间的中间层，其中所述光可聚合层包含可聚合化合物和聚合引发剂，b)使所述涂层在制版机内按图像曝光，c)任选地，在预热单元中加热该前体，d)在上胶单元中通过用胶溶液处理该前体的涂层来在印刷机外显影前体，从而从载体上除去光可聚合层的未曝光区，其中所述光可聚合层还包括含有酸基团的聚合物和能够中和所述酸基团的碱性含氮化合物，或者其中所述光可聚合层还包括含有被碱性含氮化合物中和的酸。
制造聚合物方法

[发明专利]制造平版印刷版的方法-CN200780009442.0有效
发明人： J·洛库菲尔;S·林吉尔;M·范达姆 -专利权人：爱克发印艺公司
申请日： 2007-03-15 - 公布日： 2009-04-08 - 主分类号： B41N3/08 文献下载
摘要：公开了制造平版印刷版的方法，其包括下列步骤：(1)提供热敏平版印刷版前体，其在具有亲水表面或带有亲水层的载体上包含热敏涂层，(2)用红外辐射或热依图像曝光所述前体，和(3)用包含具有至少两个鎓基团的化合物的碱性显影溶液将所述依图像曝光的前体显影。根据上述方法，形成具有改进的显影时限或改进的曝光时限的印刷版。
制造平版印刷方法

[发明专利]热敏阳图型平版印刷版原版-CN200780007090.5有效
发明人： J·洛库菲尔;S·林吉尔;H·范阿尔特;J·文尼曼;M·范达姆 -专利权人：爱克发印艺公司
申请日： 2007-02-20 - 公布日： 2009-03-25 - 主分类号： B41C1/10 文献下载
摘要：一种热敏阳图型平版印刷版原版，其包括：(1)载体，具有亲水性表面或提供有亲水性层，(2)热敏涂层，包含IR吸收剂、酚醛树脂和第一聚合物，特征在于所述第一聚合物是包含具有式I或II所示结构的单体单元的碱溶性的聚合物，其中芳基Ar¹和Ar²中的至少一个为任选取代的杂芳基。
热敏阳图型平版印刷原版

[发明专利]阳图制版平版印刷印版-CN200780006964.5无效
发明人： P·坎佩斯特里尼;M·范达姆;S·林吉尔 -专利权人：爱克发印艺公司
申请日： 2007-02-09 - 公布日： 2009-03-18 - 主分类号： B41N3/03 文献下载
摘要：本发明公开一种阳图制版平版印刷印版前体，所述印版前体包含在具有亲水性表面或具备亲水层的糙化且阳极化的铝载体上的涂层，所述涂层包含：(i)红外吸收剂和至少一种着色剂；(ii)包含热敏性亲油性树脂的第一层；(iii)和在所述第一层与所述亲水性载体之间的第二层，其中所述第二层包含包括至少一种包含至少一个磺酰胺基团的单体单元的聚合物；所述印版前体的特征在于所述糙化且阳极化的铝载体表面的平均凹坑深度等于或小于2.2μm。
制版平版印刷

[发明专利]平版印版的制作方法-CN200780006645.4无效
发明人： J·洛库菲尔;S·林吉尔;F·范加弗;M·伦斯;M·范达姆 -专利权人：爱克发印艺公司
申请日： 2007-02-21 - 公布日： 2009-03-18 - 主分类号： B41C1/10 文献下载
摘要：公开了制作平版印版的方法，其包括如下步骤：(1)提供热敏平版印版前体，其包含在载体上的热敏涂层，所述载体具有亲水表面或具备亲水层，(2)用红外辐射或热量使所述前体成像曝光，以及(3)用碱性显影液使所述成像曝光的前体显影，在所述前体或所述显影液中，或者在所述前体连同所述显影液中含有抗淤渣剂，其中所述抗淤渣剂是包含-NH-基团的5-元芳香杂环化合物，该-NH-基团中的所述H在所述碱性显影液中能被去质子化，所述芳香杂环化合物选自任选取代的苯并三唑，1，2，3-三唑，四唑或吲唑化合物。根据上述方法，抑制或减少了淤渣的形成。
平版制作方法

[发明专利]制作平版印刷印版的方法-CN200680042374.3有效
发明人： A·威廉森;M·范达姆;W·－K·格里斯;H·范阿尔特 -专利权人：爱克发印艺公司
申请日： 2006-11-09 - 公布日： 2009-02-25 - 主分类号： G03F7/033 文献下载
摘要：一种制作平版印刷印版的方法，所述方法包括以下步骤：a)提供平版印刷印版前体，所述前体包括(i)具有亲水表面或具备亲水层的载体，(ii)在所述载体上包括可光聚合层和任选在可光聚合层与载体之间的中间层的涂层，其中所述可光聚合层包含可聚合化合物、聚合引发剂和反应性连接料，b)在印版记录机中按图像曝光所述涂层，c)任选在预热单元中加热所述前体，d)在上胶单元中通过用胶溶液处理前体涂层使前体离机显影，从而从所述载体上除去可光聚合层的非曝光区，其中所述反应性连接料为含有包含具有烯属不饱和键的基团的单体单元的聚合物。
制作平版印刷方法

[发明专利]制造平版印版的方法-CN200680044001.X有效
发明人： H·安德里森;H·范阿尔特;A·威廉森;M·范达姆 -专利权人：爱克发印艺公司
申请日： 2006-11-23 - 公布日： 2009-01-07 - 主分类号： B41C1/10 文献下载
摘要：制造平版印版的方法，包括下列步骤：a)提供平版印版前体，其包含(i)具有亲水表面或带有亲水层的载体，(ii)在所述载体上的涂层，包含成像层，和任选在成像层与载体之间的中间层，其中所述成像层包含可变换聚合物，b)以成像方式曝光所述涂层，由此所述聚合物经受由所述曝光引起的化学反应，从而产生由印刷区域和非印刷区域构成的平版图像，其中非印刷区域可用胶液从载体上除去，c)通过用所述胶液处理前体的涂层来使前体显影，由此除去非印刷区域。
制造平版方法

[发明专利]制作平版印刷印版的方法-CN200680042261.3有效
发明人： M·范达姆 -专利权人：爱克发印艺公司
申请日： 2006-11-09 - 公布日： 2008-12-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种制作平板印刷印版的方法，所述方法包括以下步骤：a)提供一种平版印刷印版前体，所述前体包括：(i)具有亲水表面或提供有亲水层的载体，(ii)在所述载体上包括可光聚合层和任选的在可光聚合层和载体之间的中间层的涂层，其中所述可光聚合层包含可聚合化合物、聚合引发剂和连接料，b)在印版记录机中按图像暴露所述涂层，c)在步骤(b)后少于10分钟的时间期间内将所述前体在预热单元中加热，d)在上胶站中处理所述前体，所述上胶站包括至少一个上胶单元，其中将胶溶液施用到所述前体，其中在单个步骤中从载体上除去可光聚合层的非暴露区并对所述印版上胶。
制作平版印刷方法

[发明专利]制作平板印刷印版的方法-CN200680042241.6无效
发明人： M·范达姆 -专利权人：爱克发印艺公司
申请日： 2006-11-09 - 公布日： 2008-12-24 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种制作平版印刷印版的方法，所述方法包括以下步骤：a)提供平版印刷印版前体，所述前体包括(i)具有亲水表面或提供有亲水层的载体，(ii)在所述载体上包括可光聚合层、顶层和任选的在可光聚合层与载体之间的中间层的涂层，其中所述可光聚合层包含可聚合化合物、聚合引发剂和连接料，b)在印版记录机中按图像暴露所述涂层，c)任选在预热单元中加热所述前体，d)在上胶站中处理所述前体，所述上胶站包括第一上胶单元和至少一个第二上胶单元，其中在第一上胶单元中通过向涂层施用胶溶液洗涤前体，从而除去至少一部分顶层，且其中随后在第二上胶单元中用胶溶液将所述前体显影，从而在单个步骤中从所述载体上除去可光聚合层的非暴露区并将所述印版上胶。
制作平板印刷方法

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