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[发明专利]用于MEMS结构中的精确空隙控制和热隔离的纳米尖端间隔物-CN201310238257.6有效
发明人： D·科科斯;M·德蓬;D·埃拉德;B·高茨曼;L·库尔;T·E·莫尔夫 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2013-06-17 - 公布日： 2014-01-15 - 主分类号： G01J5/02 文献下载
摘要：本发明涉及用于MEMS结构中的精确空隙控制和热隔离的纳米尖端间隔物。一种包括垂直天线的THz辐射检测器，该垂直天线被热隔离气隙从悬空平台分离，用于将THz辐射能集中到热传感器元件所位于的悬空MEMS平台。THz光子能经耦合电容器的极板之间的热隔离气隙转换为电能，该极板由确定空隙距离的多个纳米尖端间隔物分离。所述电容器将能量从天线耦合到热传感器。
用于 mems 结构中的精确空隙控制隔离纳米尖端间隔

[发明专利]机电开关装置及其操作方法-CN201180025382.8有效
发明人： M·德蓬;C·哈格雷特纳;C·波兹蒂斯;A·塞巴斯蒂安 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2011-06-08 - 公布日： 2013-01-30 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种机电开关装置（100、200），其包括第一开关部分（111、112、211、212）、第二开关部分（121、122、220）和致动器装置（130、230）。所述致动器装置（130、230）被配置为提供致动力，由此使所述第一和第二开关部分（111、112、121、122、211、212、220）相对于彼此被致动，以从断开状态改变为连接状态。所述致动器装置（130、230）还被配置为至少当所述第一和第二开关部分（111、112、121、122、211、212、220）处于连接状态时，提供具有调制的致动力。本发明还涉及一种操作机电开关装置（100、200）的方法。
机电开关装置及其操作方法

[发明专利]集成式机电致动器-CN201180016557.9有效
发明人： M·德蓬 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2011-03-29 - 公布日： 2012-12-12 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种集成式机电致动器和一种用于制造此类集成式机电致动器的方法。所述集成式机电致动器包括致动器电极之间的静电致动器间隙和接触电极之间的电接触间隙。在所述致动器电极与所述接触电极之间提供具有倾斜角的倾斜。此电接触间隙的厚度等于在制造过程中通过蚀刻被除去的牺牲层的厚度。
集成机电致动器

[发明专利]微系统和在微系统中相对于第一元件来定位第二元件的方法-CN200580034207.X有效
发明人： M·德蓬;U·T·迪里希;B·W·格茨曼 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2005-09-29 - 公布日： 2007-09-12 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：一种微系统，包括第一静态元件(1)，第二可移动并且独立的元件(2)，用于在所述第一和第二元件(1、2)之间产生力的致动器(3)，所述致动器(3)被设计为控制所述第一元件(1)和所述第二元件(2)之一的温度(T1、T2)。介绍了在微系统中用于相对于第一元件(1)来定位第二元件(2)的相应方法。
系统相对于第一元件定位第二方法

[发明专利]光电板及其制造方法-CN200610168937.5有效
发明人： L·A·德尔曼;M·德蓬;B·J·奥弗雷因;D·J·韦布 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2006-11-14 - 公布日： 2007-07-04 - 主分类号： G02B6/42 文献下载
摘要：根据本发明的光电板包括具有光波导(9，10，11)、金属区(8；12)和孔(19)的印刷布线板(1)，其中光波导(9，10，11)的接合面(10.1)和金属区(8；12)的接合面形成孔(19)的侧面的部分。光电板还包括具有焊盘(21；22)的光电电路(20；26，27)，其中光电电路(20；26，27)布置在孔(19)中，并用它的焊盘(21；22)焊接到金属区(8；12)的接合面。
电板及其制造方法

[发明专利]用于自对准微机电系统中的部件的方法和系统-CN200480037174.X无效
发明人： T·阿尔布雷克特;M·卡斯特里奥塔;M·德蓬;M·兰茨;S·奥焦尼 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2004-11-08 - 公布日： 2007-01-10 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种方法和系统，用于在制造期间有效地自动对准MEMS的部件，和控制这些部件之间的距离。根据本发明，每个MEMS部件包括至少一个衬垫，所述衬垫对准以形成衬垫对。在优选实施例中，每个部件包括三个衬垫。两对衬垫的衬垫形状是矩形，一对相对于另一对旋转约等于90°的角，并且第三对的衬垫形状是环形。因此，衬垫对的一个允许根据第一方向对准，第二衬垫对允许根据第二方向对准，并且第三衬垫对允许旋转对准。
用于对准微机系统中的部件方法

[发明专利]存储设备及操作存储设备的方法-CN200610001262.5无效
发明人： P·贝希托尔德;J·G·贝德诺尔兹;G·K·宾尼格;G·凯鲁比尼;E·S·埃莱夫特里乌;M·德蓬 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2006-01-12 - 公布日： 2006-09-06 - 主分类号： G11B9/00 文献下载
摘要：一种存储设备，包括存储介质，其用于以地形标记或磁性标记的形式存储数据。至少一个探针被安装在共用框架上，共用框架和存储介质被设计成相对于彼此移动，以产生或检测所述标记。每个探针包括面对存储介质的头(34)、读传感元件(42)、写元件(38)以及电容性平台(46)，所述平台形成第一电极、并被设计为，施加到其上的电压电势独立于用于所述读传感元件(42)的控制信号，以及施加到所述电容性平台(46)上的所述电压电势独立于用于所述写加热元件(38)的控制信号。所述设备还包括第二电极，其被设置在相对于存储介质的固定位置，并与所述第一电极、第一和第二电极之间的介质一起形成第一电容器。通过这样操作所述存储设备：根据头(34)和所述介质之间的希望距离，改变施加给电容性平台(46)电压电势，并将第二电极接地。
存储设备操作方法

[发明专利]硅微机械结构的制造-CN02803671.9有效
发明人： M·德蓬;U·德雷克斯勒;R·H·马格努森 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2002-01-11 - 公布日： 2004-05-12 - 主分类号： B81B3/00 文献下载
摘要：一种在制造期间保护微结构材料不受不希望的电腐蚀的方法，所述结构包括所述材料和贵金属层(8)，该方法包括在结构上形成具有的氧化还原电位比所述材料低的牺牲金属层(12)，该牺牲金属层电连接到所述贵金属层(8)。
微机结构制造