专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具有液滴清除器的衬底座-CN201180007693.1无效
  • K·C·米勒;R·李古腾;H·特雷切;F·索恩 - 奇拉泰克斯科技有限公司
  • 2011-01-28 - 2012-10-17 - H01L21/673
  • 本发明提供一种支撑工件的设备。所述设备包括具有支撑所述工件的支撑槽的外部支撑轨,所述外部支撑轨被设置在所述设备的相对侧上并处于所述设备的相对末端构件之间。内部支撑轨在所述设备的相对末端构件之间延伸。每个所述内部支撑轨的内表面都具有从其中延伸出的垂直设置的延伸部。所述垂直设置的延伸部沿所述内部支撑轨的长度成对对齐。可移动装置被设置在所述垂直设置的延伸部对之间。所述可移动装置能浮起移动,以便随着所述工件被举起,所述可移动装置跟随。本发明还包括一种清洁工件的方法。
  • 具有清除衬底
  • [发明专利]可变压力刷/垫-CN201080062196.7无效
  • K·C·米勒 - 奇拉泰克斯科技有限公司
  • 2010-12-20 - 2012-10-03 - H01L21/302
  • 提供一种用于清理工件的刷。该刷包括具有安装至彼此的第一部分和第二部分的硬质芯体。硬质芯体具有围绕硬质芯体的旋转轴线形成的孔隙。在第一部分和第二部分的对置表面之间形成流体通道。流体通道从形成孔隙的表面径向延伸。第一膜和第二膜安装到第一部分和第二部分的外表面,其中通过引入流体通过流体通道控制第一膜和第二膜的运动。在一个实施例中,膜是带孔的,并且流体是接触工件的清洗液,工件例如要清理的磁盘或半导体基片。
  • 可变压力
  • [发明专利]用于均匀流体流的叠层壁-CN200980117561.7无效
  • K·C·米勒;M·沃利斯 - 奇拉泰克斯科技有限公司
  • 2009-05-13 - 2011-04-20 - H01L21/302
  • 提供一种具有流体分配网络的腔室,该流体分配网络用于使腔室内的流体流均匀化。该腔室包含第一腔壁,该腔壁具有第一表面以及相对的内部表面。该第一表面形成有第一组通道,而该内部表面被暴露于腔室的内部并且包含连接至多个第一组通道的多个内部端口。该腔室还包含第二腔壁,该腔壁具有第二表面以及相对的外部表面。第二表面具有第二组通道,当第一表面与第二表面配合时,第二组通道与第一组通道部分相交。该外部表面还包含至少一个提供通往第二组通道的外部端口。
  • 用于均匀流体叠层壁

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