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[发明专利]闭合形状工件的热加工-CN201880052896.4有效
发明人：罗尔夫·布雷芒斯多费尔;J·凯普勒;杨晓晅 -专利权人：玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技股份有限公司
申请日： 2018-08-09 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： C21D9/08 文献下载
摘要：提供了用于对闭合形状工件进行热处理的系统和方法。在一个示例实施方式中，方法可以包括施加闭合形状工件的相对运动，以使得闭合形状工件的外周表面相对于灯热源从第一位置移动到第二位置，在第一位置处，闭合形状工件的第一部分呈现给灯热源，在第二位置处，闭合形状工件的第二部分呈现给灯热源。该方法可以包括在施加闭合形状工件的相对运动期间，将灯热从灯热源发射到闭合形状工件的外周表面上。该方法可以包括在将灯热发射到闭合形状工件的外周表面上期间，实施通量控制程序。
闭合形状工件热加工

[发明专利]热处理系统中用于局部加热的支撑板-CN201980028096.3在审
发明人：罗尔夫·布雷芒斯多费尔;J·凯普勒;杨晓晅;T·胡斯曼 -专利权人：玛特森技术公司;北京屹唐半导体科技有限公司
申请日： 2019-03-18 - 公布日： 2021-01-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开提供了用于在热处理系统中进行局部加热以均匀加热工件的支撑板。在一个示例性实施方式中，通过修改支撑板的透热率来实现局部加热，使得支撑板靠近引起冷点的区域的一个或多个部分比支撑板的其余部分透射更多的热。例如，支撑板的一个或多个部分(例如，靠近一个或多个支撑销的区域)具有比支撑板的其余部分更高的透热率(例如，更高的光透射率)。在另一示例性实施方式中，除了通过来自热源的光整体加热工件之外，还通过穿过透射支撑结构(例如，一个或多个支撑销，或环形支撑体)的相干光源加热工件来实现局部加热。
热处理系统用于局部加热支撑

[发明专利]包含加热步骤、处理步骤和冷却步骤的热处理方法-CN201180029125.1有效
发明人： J·凯普勒 -专利权人：艾克斯特朗欧洲公司
申请日： 2011-04-08 - 公布日： 2013-02-27 - 主分类号： C23C16/458 文献下载
摘要：本发明涉及一种处理方法，尤其是在反应器壳体(1，2，3)的处理室(4)内对工件，尤其是半导体基板(19)进行镀覆的方法，所述处理室(4)构成可被加热装置(15)加热且具有用于安置所述工件的基座(5)的处理室底部(9)和可被冷却装置(23)冷却的处理室顶部(10)，其中，由处理室顶部(10)与处理室底部(9)的间距所界定的处理室高度(H)是可变的，其中，在加热步骤中，将基座(5)从所述处理室装卸所述工件时的装料/卸料温度加热至处理温度，在之后的处理步骤中，在处理温度下对所述工件进行热处理，随后在冷却步骤中，将基座冷却至装料/卸料温度。为了缩短循环时间推荐，在冷却步骤时使处理室高度(H)取其最小值。
包含加热步骤处理冷却热处理方法

[发明专利]喷管单元以及具有该喷管单元的主轴-CN201080010460.2有效
发明人： R·哈斯;J·凯普勒 -专利权人：必诺·罗伊泽有限及两合公司
申请日： 2010-03-05 - 公布日： 2012-02-01 - 主分类号： B23Q11/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种主轴(12)，所述主轴可用于与双通道微量润滑装置一起使用。通过中央的油管(50)实现润滑油的供给，所述油管与空间位置固定的基部(60)以不能够转动的方式连接，并且在径向方向上通过至少一个枢轴承(52)径向支承在旋转的主轴(12)上。
喷管单元以及具有主轴