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- [发明专利]借助准非衍射激光射束激光加工部分透明的工件-CN202180093497.4在审
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D·弗拉姆;J·克莱纳
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通快激光与系统工程有限公司
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2021-10-25
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2023-10-20
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B23K26/064
- 公开一种用于借助准非衍射的激光射束(5)对工件(9)进行材料加工的方法，其中，该工件(3)具有对于准非衍射的激光射束(5)部分透明的材料，该材料具有线性吸收。该方法包括步骤：将脉冲原始激光束(5')射入(步骤103)光学射束成形系统(13)中，以构造准非衍射的激光射束(5)，该激光射束具有在所述纵向方向(z)上延伸的焦点区(7)，以用于该工件(3)的材料加工，其中，借助该光学射束成形系统(13)向该原始激光束(5')的射束横截面进行相位施加，以构造经相位施加的激光射束(5_PH)；将经相位施加的激光射束(5_PH)聚焦(步骤107)到该工件(3)的部分透明的材料中，从而构造准非衍射的激光射束(5)，并且该焦点区(7)具有可沿着所述纵向方向(z)设定的强度分布，其中，这样设定所述相位施加，使得在将经相位施加的激光射束聚焦到该工件(3)的部分透明的材料中时，该准非衍射的激光射束(5)的强度分布(BG_2h(+))在该焦点区(7)中在纵向方向(z)上至少近似地恒定。
- 借助衍射激光加工部分透明工件
- [发明专利]用于激光加工工件的设备和方法-CN202280013035.1在审
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M·凯泽;D·弗拉姆;J·克莱纳
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通快激光与系统工程有限公司
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2022-01-25
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2023-10-10
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B23K26/06
- 本发明涉及一种用于激光加工工件(104)的设备，所述工件具有对所述激光加工透明的材料(102)，所述设备包括第一光束整形装置(106)和聚焦光具(116)，所述第一光束整形装置具有分束元件(112)，用于将耦入到第一光束整形装置(106)中的第一输入光束(108)分成多个子光束(114)，所述聚焦光具被配属于第一光束整形装置(106)并用于将从第一光束整形装置(106)耦合输出的子光束(114)成像到至少一个聚焦区(122)中，其中，借助于分束元件(112)通过对第一输入光束(108)进行相位施加来对第一输入光束(108)进行分束，其中，这些子光束(114)被聚焦到至少一个聚焦区(122)的不同子区域(120)中，以形成所述至少一个聚焦区(122)，其中，所述至少一个聚焦区(122)借助于聚焦光具(116)以相对于工件(104)的外侧(144；146)的至少一个迎角(α)引入所述材料(102)中，以激光加工工件(104)，并且其中，通过将所述材料(102)暴露于至少一个聚焦区(122)来在所述材料(102)中产生与所述材料(102)中的裂纹形成相关联的材料改性部(156)。
- 用于激光加工工件设备方法
- [发明专利]用于对工件进行激光加工的设备和方法-CN202280013017.3在审
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M·凯泽;D·弗拉姆;F·齐默尔曼;J·克莱纳
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通快激光与系统工程有限公司
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2022-01-25
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2023-09-29
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B23K26/046
- 本发明涉及一种用于对工件进行激光加工(104)的设备，该工件具有对该激光加工透明的材料(102)，该设备包括第一射束整形装置(106)和聚焦光学器件(116)，该第一射束整形装置具有分束元件(112)，用于将输入耦合到第一射束整形装置(106)中的第一输入射束(108)分成多个子射束(114)，该聚焦光学器件被分配给第一射束整形装置(106)并用于将从第一射束整形装置(106)耦合输出的子射束(114)成像到至少一个聚焦区(122)中，其中，借助于分束元件(112)通过对第一输入射束(108)进行相位施加来对第一输入射束(108)进行分束，其中，所述子射束(114)被聚焦到至少一个聚焦区(122)的不同部分区域(120)中，以形成该至少一个聚焦区(122)，其中，该至少一个聚焦区(122)借助于聚焦光学器件(116)以相对于工件(104)的外侧(144；146)的至少一个调整角(α)引入该材料(102)中，以对工件进行激光加工(104)，并且其中，通过借助至少一个聚焦区(122)加载该材料(102)来在该材料(102)中产生与该材料(102)的折射率变化相关联的材料修改(156)。
- 用于工件进行激光加工设备方法
- [发明专利]用于借助超短激光脉冲加工材料的系统-CN202180091852.4在审
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D·弗拉姆;J·克莱纳
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通快激光与系统工程有限公司
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2021-10-25
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2023-09-12
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B23K26/0622
- 本发明涉及一种用于借助超短脉冲激光器(3)的超短激光脉冲加工材料(2)的系统(1)，所述系统包括超短脉冲激光器(3)、空芯光纤(4)和耦合输入光学器件(41)，所述超短脉冲激光器用于产生超短激光脉冲并且用于提供激光射束(32)，所述空芯光纤设立用于将所述激光射束(32)传输至所述空芯光纤(4)的输出端(42)，所述耦合输入光学器件设立用于将所述激光射束(32)耦合输入到所述空芯光纤(4)的输入端(40)中，其中，所述空芯光纤(4)的输出端(42)设立用于，将所述激光射束(32)以发散角(α)从所述空芯光纤(4)中耦合输出，其中，设置有透镜设备(8)、射束成形元件(6)和聚焦光学器件(7)，从所述空芯光纤(4)中耦合输出的激光射束(32)以所述发散角(α)入射到所述透镜设备上，从所述透镜设备(8)中出射的激光射束(32)入射到所述射束成形元件上，其中，所述透镜设备(8)设立用于，调整耦合输出的激光射束(32)的发散角(α)，用以调整在所述射束成形元件(6)上的激光射束(32)的射束直径(D)，其中，所述射束成形元件(6)设立用于，在所述聚焦光学器件(7)的前方或者后方给所述激光射束(32)施加准非衍射射束形状，所述准非衍射射束形状具有在射束传播方向上拉长的焦点区(322)，并且其中，所述聚焦光学器件(7)设立用于，调设所述焦点区(322)到所述材料(2)中或者上的引入深度。
- 用于借助超短激光脉冲加工材料系统
- [发明专利]用于加工材料的方法-CN202180073612.1在审
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D·格罗斯曼;M·赛勒;J·克莱纳
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通快激光与系统工程有限公司
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2021-08-11
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2023-07-28
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B23K26/0622
- 本发明涉及一种借助于脉冲激光器(1)加工材料(2)的方法，其中，为了加工将激光脉冲(10)的序列(S)引入材料(2)中，其中激光脉冲(10)的序列(S)由至少两个序列元素(SE)构成，其中一个序列元素(SE)包括单个激光脉冲(10)、单个激光脉冲(10)的特定系列或激光脉冲(10)群、优选GHz激光脉冲群，并且对每个序列元素(SE)赋予特定的序列元素特性，这些序列元素特性包括序列元素的激光焦点的位置，并且序列(S)的每个序列元素(SE)的激光焦点的位置在垂直于激光脉冲的传播方向的平面中以序列元素精确的方式调整，和/或序列(S)的每个序列元素(SE)的激光焦点的位置沿着激光脉冲的传播方向以序列元素精确的方式调整。
- 用于加工材料方法
- [发明专利]用于分离工件的方法-CN202180069547.5在审
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J·克莱纳;D·弗拉姆;H·拉韦
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通快激光与系统工程有限公司
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2021-08-18
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2023-07-04
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B23K26/067
- 一种用于借助激光束(2)的激光脉冲(20)沿着分离线(10)分离工件(1)、优选用于借助于超短脉冲激光器的超短脉冲切割硅、特别优选用于从硅晶圆分离出芯片的方法，激光束(2)借助分束器光学单元(62)分裂成多个子激光束(26)且子激光束(26)中的每个借助聚焦光学单元(64)聚焦到工件(1)的面(12)上和/或体积中，使得子激光束(26)并排地且彼此间隔开地沿着分离线(10)布置，通过将激光脉冲(20)沿着分离线(10)引入到工件(1)中实施工件(1)中的材料烧蚀，子激光束(26)沿着分离线(10)由其初始位置重复地运动开偏转值，随后沿着分离线(10)运动回到初始位置，该偏转值小于或等于两个相邻的子激光束(26)之间的距离(L)。
- 用于分离工件方法
- [发明专利]对具有弯曲的表面的工件进行激光加工-CN202180055442.4在审
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D·弗拉姆;J·克莱纳
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通快激光与系统工程有限公司
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2021-08-05
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2023-04-28
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B23K26/06
- 披露了一种用于借助激光束(3)对工件(9)进行材料加工的方法，其中工件(9)包括对激光束(3)在很大程度上透明的材料并且具有弯曲的表面(9A)。该方法包括以下步骤：对激光束(3)进行射束成形(步骤101)，以便在工件(9)的材料中形成细长的聚焦区域(7)，其中，射束成形是通过衍射光学器件和/或折射光学器件的布置执行的，并且包括：‑形成聚焦的射束成形(步骤101A)，该形成聚焦的射束成形使射束部分(3A)以相对于该激光束(3)的射束轴(5)的进入角(δ')进入，以通过干涉在该工件(9)中形成沿着该射束轴(5)的该细长的聚焦区域(7)，以及‑校正相位的射束成形(步骤101B)，该校正相位的射束成形抵消由该激光束(3)进入该工件(9)中产生的干涉的影响，以及如此调设(步骤105)该激光束(3)的射束参数，使得该工件(9)的材料在该细长的聚焦区域(7)中被修改。
- 具有弯曲表面工件进行激光加工
- [发明专利]加工光学器件、激光加工设备及激光加工方法-CN202180044682.4在审
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D·弗拉姆;J·黑尔斯特恩;J·克莱纳;M·库姆卡尔;M·舍费尔
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通快激光与系统工程有限公司
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2021-06-01
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2023-03-21
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B23K26/067
- 本发明涉及一种用于工件加工的加工光学器件(16)，该加工光学器件包括：偏振器装置(7)和聚焦光学器件(17)，该偏振器装置包括用于将尤其是脉冲式的至少一个输入激光束(3)分离为至少两个部分射束(5a，5b)的双折射偏振器元件(1a，1c)，这些部分射束分别具有两个不同偏振状态之一，该聚焦光学器件在射束路径中布置在该偏振器装置(7)后方，并且用于将部分射束(5a，5b)聚焦到至少两个聚焦区上，其中偏振器装置(7)具有至少一个另外的光学元件(8，13)，该至少一个另外的光学元件在射束路径中布置在该双折射偏振器元件(1a，1c)后方，并且用于改变部分射束(5a，5b)中的至少一个部分射束相对于加工光学器件(16)的光轴(6)的角度和/或间距。本发明还涉及一种包括这种加工光学器件(16)和用于产生激光束的激光源的激光加工设备，以及一种通过加工光学器件(16)对工件进行激光加工的方法。
- 加工光学器件激光设备方法
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