专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]用于分离工件的方法-CN202180069547.5在审
  • J·克莱纳;D·弗拉姆;H·拉韦 - 通快激光与系统工程有限公司
  • 2021-08-18 - 2023-07-04 - B23K26/067
  • 一种用于借助激光束(2)的激光脉冲(20)沿着分离线(10)分离工件(1)、优选用于借助于超短脉冲激光器的超短脉冲切割硅、特别优选用于从硅晶圆分离出芯片的方法,激光束(2)借助分束器光学单元(62)分裂成多个子激光束(26)且子激光束(26)中的每个借助聚焦光学单元(64)聚焦到工件(1)的面(12)上和/或体积中,使得子激光束(26)并排地且彼此间隔开地沿着分离线(10)布置,通过将激光脉冲(20)沿着分离线(10)引入到工件(1)中实施工件(1)中的材料烧蚀,子激光束(26)沿着分离线(10)由其初始位置重复地运动开偏转值,随后沿着分离线(10)运动回到初始位置,该偏转值小于或等于两个相邻的子激光束(26)之间的距离(L)。
  • 用于分离工件方法
  • [发明专利]用于分离工件的方法-CN202180069490.9在审
  • J·克莱纳;D·弗拉姆;H·拉韦;M·赛勒 - 通快激光与系统工程有限公司
  • 2021-08-18 - 2023-06-30 - B23K26/067
  • 本发明涉及一种用于借助激光束(2)的激光脉冲(20)沿着分离线(10)分离工件(1)的方法,其中,激光束(2)借助分束器光学单元(62)被分裂成多个子激光束(26),并且子激光束(26)借助聚焦光学单元(64)聚焦到工件(1)的表面(12)上和/或体积中,使得子激光束(26)并排地并且彼此间隔开地沿着分离线(10)布置,其中,通过所述子激光束(26)的激光脉冲(20)沿着分离线(10)引入到工件中而发生材料烧蚀,并且每个子激光束(26)的激光功率根据在工件(1)中达到的烧蚀深度(AT)进行调整。
  • 用于分离工件方法

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