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[发明专利]传感器以及操作传感器的方法-CN201780068846.0有效
发明人： T.罗茨尼克;S.Y.余;G.亚马 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-09-04 - 公布日： 2022-06-21 - 主分类号： G01J5/00 文献下载
摘要：本发明公开了传感器以及操作传感器的方法。传感器包括具有第一表面的衬底；连接到衬底的盖结构，盖结构配置成限定盖结构的内表面与衬底的第一表面之间的腔体，盖结构配置成阻挡红外辐射从盖结构的外部进入腔体；多个吸收器，所述多个吸收器中的每一个吸收器连接到衬底的第一表面，并且布置在腔体内的相应位置处且配置成吸收腔体内的相应位置处的红外辐射；以及多个读出电路，所述多个读出电路中的每一个读出电路连接到所述多个吸收器中的相应吸收器，并且配置成提供指示由相应吸收器吸收的红外辐射量的测量信号。
传感器以及操作方法

[发明专利]辐射热计流体流动和温度传感器-CN201780068801.3有效
发明人： T.罗茨尼克;S.Y.余;G.亚马 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-09-04 - 公布日： 2022-02-01 - 主分类号： G01D21/02 文献下载
摘要：传感器包括参考辐射热计和多个感测辐射热计。每一个感测辐射热计邻近于参考辐射热计布置。每一个辐射热计包括（i）衬底，（ii）连接到衬底的盖结构，盖结构配置成限定盖结构的内表面与衬底的第一表面之间的腔体，（iii）连接衬底并且布置在腔体内的吸收器，吸收器配置成吸收腔体内的红外辐射，以及（iv）连接到吸收器并且配置成提供指示由吸收器吸收的红外辐射量的信号的读出电路。参考辐射热计的盖结构阻挡红外辐射从盖结构的外部进入腔体。每一个感测辐射热计的盖结构允许红外辐射从盖结构的外部进入腔体。
辐射热流体流动温度传感器

[发明专利]具有悬浮结构的半导体传感器及其制造方法-CN201480075003.X有效
发明人： A.萨马劳;A.法伊;G.奥布赖恩;G.亚马;F.普尔克尔 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2014-12-02 - 公布日： 2020-06-23 - 主分类号： G01N27/12 文献下载
摘要：一种半导体气体传感器器件包括衬底、由所述衬底支撑的导电层、非适合种晶层、以及多孔气体感测层部分。所述非适合种晶层由第一材料形成，并包括由所述导电层支撑的第一支撑部分、由所述导电层支撑的第二支撑部分、以及从所述第一支撑部分延伸到所述第二支撑部分且悬浮在所述导电层之上的悬浮种晶部分。所述多孔气体感测层部分由第二材料形成，并直接由所述非适合种晶层与所述导电层电连通地支撑。所述第一材料和所述第二材料形成非适合的材料对。
具有悬浮结构半导体传感器及其制造方法

[发明专利]具有石墨烯组件的MEMS结构-CN201780066619.4在审
发明人： A.萨马劳;S.Y.余;F.莱尔默;G.亚马 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2017-08-10 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： B81C1/00 文献下载
摘要：微机电系统（MEMS）结构包括：衬底；位于衬底上方的外延多晶硅盖；限定在衬底和外延多晶硅盖之间的第一腔体部分；以及第一石墨烯组件，其具有紧邻第一腔体部分的至少一个石墨烯表面。
石墨烯衬底外延多晶硅第一腔体微机电系统

[发明专利]聚合物涂层在露天环境中的激光碳化-CN201811042865.9在审
发明人： P.斯塔利;N.王;S.Y.余;H.艾哈迈德;G.亚马 -专利权人：罗伯特·博世有限公司
申请日： 2018-09-07 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： H01S3/067 文献下载
摘要：本发明涉及聚合物涂层在露天环境中的激光碳化。用于使基底上的聚合物涂层选择性碳化的系统包括激光器、存储器和控制器。该存储器存储与具有包含聚合物材料的涂层的基底的至少一个特征相关的数据。该控制器可操作地连接到激光器，并被配置为基于所述数据控制激光器，以使得在露天环境中，激光和聚合物材料之间的相互作用使该涂层的一部分碳化，但是不维持该聚合物材料的燃烧。通过选择性碳化的涂层而产生制品的方法包括控制激光系统以使得激光和在基底上形成涂层的聚合物材料之间的相互作用使该涂层的一部分碳化，但是不维持该聚合物材料在露天环境中的燃烧。
聚合物材料露天环境聚合物涂层激光器基底选择性碳化激光碳化控制器碳化激光控制激光系统燃烧存储器存储存储器可操作地数据控制配置