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[发明专利]具有集成CMOS电路的MEMS装置-CN202180053261.8在审
发明人： G·J·麦卡沃伊 -专利权人： 3C项目管理有限公司
申请日： 2021-09-01 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B41J2/16 文献下载
摘要：本发明涉及一种制造MEMS装置的方法，所述MEMS装置包含可移动的微机电压电组件和被配置成与所述微机电组件导电连通的CMOS电路。在衬底上形成多个CMOS电路层以形成所述CMOS电路，所述多个CMOS电路层包含多个CMOS钝化层和金属化层。去除所述装置的组件区域中的所述多个CMOS钝化层和金属化层中的至少一个的部分。形成一个或多个组件区域层来代替所述组件区域中被去除的部分以形成所述可移动的微机电压电组件。所述一个或多个组件区域层与所述多个CMOS钝化层和金属化层中的所述至少一个的所述部分不同。
具有集成 cmos 电路 mems 装置

[发明专利]液滴喷射器组件结构和方法-CN202180035106.3在审
发明人： G·J·麦卡沃伊 -专利权人： 3C项目技术有限公司
申请日： 2021-05-13 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：一种用于打印头的液滴喷射器组件，包括基板，基板包括CMOS控制电路；多个层，该多个层在所述基板的所述第一表面上；流体腔室，流体腔室具有液滴喷射出口；以及压电致动器元件，压电致动器元件由一个或多个所述层形成并且包括与压电体接触的第一电极和第二电极。压电致动器元件限定流体腔室的部分。至少一个所述电极电连接到所述CMOS控制电路。液滴喷射器包括流体腔室，流体腔室具有液滴喷射出口。压电致动器元件与液滴喷射出口间隔开，并且压电体由在低于450℃的温度下可加工的一种或多种压电材料形成。因此，CMOS控制电路与液滴喷射器组件集成。CMOS控制电路可以接收模拟致动器喷射脉冲和串行数字控制信号，并使用串行数字控制脉冲来确定哪些压电致动器元件连接到各个致动器喷射脉冲并由其驱动。
喷射器组件结构方法

[发明专利]液滴喷射器-CN201980015550.1有效
发明人： G·J·麦卡沃伊 -专利权人： 3C项目管理有限公司
申请日： 2019-02-26 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：一种用于打印头的液滴喷射器，包括：具有安装表面和相对的喷嘴表面的基材；在基材的喷嘴表面的至少一部分上形成的喷嘴形成层；至少部分地由基材并且至少部分地由喷嘴形成层限定的流体腔室，该流体腔室具有至少部分地由所述喷嘴形成层的喷嘴部分限定的流体腔室出口，所述喷嘴部分包括内部部分和外部部分，内部部分更靠近流体腔室出口定位，外部部分更靠近喷嘴部分的周边定位；以及形成在喷嘴形成层的喷嘴部分的内部部分上的内部致动器布置和形成在喷嘴形成层的喷嘴部分的外部部分上的外部致动器布置中的任一个或两者。
喷射器