专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
专利下载VIP
公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
更多 »
专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
更多 »
钻瓜专利网为您找到相关结果1个,建议您升级VIP下载更多相关专利
  • [发明专利]微机电系统(MEMS)装置-CN201210182189.1无效
  • S·勒纳尔;A·菲利佩;J·科莱;F-X·布瓦洛 - 特罗尼克斯微系统有限公司
  • 2012-04-20 - 2012-10-31 - B81B7/00
  • 一种微机电系统(MEMS)装置,包括至少两个基板(5,6)和在MEMS层中的至少一个可移动结构(3.1,3.2)。所述可移动结构布置在腔体(8.1,8.2)中,所述腔体被封装在该至少两个基板(5,6,7)之间。导电框架(1)围绕所述可移动结构(3.1,3.2)且被布置在两个基板(5,6)的界面处。框架(1)与所述可移动结构(3.1,3.2)电分离,且通过至少第一和第二导电连接(13.1,13.2,13.3;14)分别电连接到所述第一(5)和第二基板(6)。框架(1)可以具有不大于150μm、优选不大于50μm的宽度(w)。第一导电连接位于框架(1)和第一基板(5)之间的界面平面处。第二导电连接是被施加在框架(1)的外周边和第二基板(6)的外周面(15)的层(14)。
  • 微机系统mems装置

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top