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- [发明专利]用于射束加工板状或管状工件的方法-CN202080054807.7有效
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F·泽普;C·魏斯
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WS光学技术有限责任公司
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2020-05-08
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2023-08-11
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B23K26/38
- 本发明涉及用于射束加工板状或管状工件的方法，所述方法包括以下步骤：‑通过所述加工射束(16)沿着切割线(14)产生完全分离所述工件(9)的切割缝隙(15)的至少一个区段(15‑1、15‑2、15‑3、15‑4、15‑5)，所述切割线相应于由所述工件(9)要制造的工件部分(11)的轮廓的至少一部分，‑至少在至少一个沿着所述切割线(14)延伸的再加工区(22)的区段(22‑1、22‑2、22‑3、22‑4、22‑4’)中通过加工射束(16)对具有部分切出的工件部分(11)的所述工件(9)进行一次或多次再加工，其中，所述工件(9)在所述再加工区(22)中非接合且非分离地被再加工。
- 用于加工管状工件方法
- [发明专利]消色差光学中继装置-CN202180067834.2在审
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F·泽普;A·B·昆布尔
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ASML荷兰有限公司
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2021-09-15
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2023-06-09
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G01N21/47
- 披露了一种透镜系统，包括：第一非球面轴锥透镜元件，所述第一非球面轴锥透镜元件包括第一折射表面和第二折射表面；第二非球面轴锥透镜元件，所述第二非球面轴锥透镜元件包括类似于所述第二折射表面的第三折射表面和类似于所述第一折射表面的第四折射表面；以及孔径光阑，所述孔径光阑位于所述第一非球面轴锥透镜元件与所述第二非球面轴锥透镜元件之间。所述第一非球面轴锥透镜元件和第二非球面轴锥透镜被相互定向成使得所述第二折射表面和所述第三折射表面相互面对。所述第一非球面轴锥透镜元件和所述第二非球面轴锥透镜元件被配置成最小化由所述透镜系统中继的辐射的至少光谱范围的色差。
- 色差光学中继装置
- [发明专利]用于射束加工板状或管状工件的方法-CN202080025618.7有效
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F·泽普;C·魏斯
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WS光学技术有限责任公司
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2020-02-25
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2022-09-27
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B23K26/38
- 本发明涉及一种用于射束加工板状或管状工件(9)的方法，包括：a)至少一个用于沿切割线(14)产生切割缝隙(15)的分离工序，该切割线至少部分沿由工件(9)要制造的工件部分(11)的轮廓延伸，其中，分离工序包括：在工件(9)上方移动用于引导加工射束(16)的射束头(3)，其中，将加工射束(16)沿着切割线(14)从第一切割位置引导至第二切割位置，并且加工射束(16)具有第一功率密度，该第一功率密度如此测定，使得该工件完全分开；b)至少一个用于沿切割缝隙(15)的至少一部分再加工工件(9)的再加工工序，其中，工件部分(11)未被完全切出，其中，再加工工序包括：在工件(9)上方移动射束头(3)，其中，将加工射束(16)沿着再加工线(18)从第一再加工位置引导至第二再加工位置，其中，加工射束(16)具有第二功率密度，该第二功率密度如此测定，使得所述工件(9)不完全分开；并且其中，工件(9)沿着切割缝隙(15)的至少一部分在包含切割缝隙(15)的工件部分侧的切割棱边(19)的区域中和/或在包含切割缝隙(15)的剩余格栅侧的切割棱边(19)的区域中被加工射束(16)照射。
- 用于加工管状工件方法
- [发明专利]用于从工件中制造至少一个工件部件和剩余工件的方法-CN202080053976.9在审
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F·泽普;D·莫克;P·马赫;C·魏斯
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通快机床两合公司;WS光学技术有限责任公司
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2020-08-21
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2022-04-22
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B23K26/06
- 本发明涉及一种用于从工件(9)中制造至少一个工件部件(11)和剩余工件(10)的方法，借助于共同由激光加工头(2)的喷嘴(13)射出的激光束(16)和用于排出熔化的工件材料的过程气体，所述方法具有下述步骤：步骤a)：沿着切割线(14)切割切开工件(9)的切割间隙(15)的区段(15‑1，15‑2，15‑3，15‑4，15‑5)，或者沿着切割线(14)切割闭合的切割间隙(15)，形成在工件部件(11)和剩余工件(10)上的切割棱边(19，19’)，步骤b)：在工件部件(11)与剩余工件(10)连接期间沿着修改线(18)在工件上侧(35)产生工件(9)的选自斜边(21)、倒圆(34)和凹腔(29)的修改，在步骤a)和b)中的激光束(16)垂直于工件上侧(35)的工件表面(17)定向，并且在步骤b)中从喷嘴(13)射出之前，过程气体的气压小于7bar，尤其在3至6bar之间，在步骤b)之前实施步骤a)，在步骤a)中沿着切割线(14)产生切割间隙(15)的区段(15‑1，15‑2，15‑3，15‑4，15‑5)，接着在步骤b)中，工件部件(11)上或者剩余工件(10)上的切割棱边(19，19’)的至少一个的至少一部分设有斜边(21)或者倒圆(34)，或者在步骤a)之前实施步骤b)，在步骤b)中产生工件上侧(35)上的凹腔(29)，接着在步骤a)中沿着切割线(14)产生闭合切割间隙(15)或者沿着切割线(14)产生切割间隙(15)的区段(15‑1，15‑2，15‑3，15‑4，15‑5)，切割线(14)布置在凹腔(29)内部。
- 用于工件制造至少一个部件剩余方法
- [发明专利]用于射束加工板状或管状工件的方法-CN202210097351.3在审
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F·泽普;C·魏斯
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WS光学技术有限责任公司
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2020-02-25
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2022-04-19
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B23K26/38
- 本发明涉及一种用于射束加工板状或管状工件的方法，包括：a)至少一个用于沿切割线产生切割缝隙的分离工序，该切割线至少部分沿由工件要制造的工件部分的轮廓延伸，分离工序包括：将加工射束沿着切割线从第一切割位置引导至第二切割位置，加工射束具有第一功率密度，使得工件完全分开，并且留下工件的剩余格栅；b)在完全切出工件部分之后的、至少一个用于沿切割缝隙的至少一部分再加工工件的再加工工序，再加工工序包括：将加工射束沿着再加工线从第一再加工位置引导至第二再加工位置，加工射束具有第二功率密度，使得工件不完全分开；工件沿着切割缝隙的至少一部分在包含切割缝隙的剩余格栅侧的切割棱边的区域中被加工射束照射。
- 用于加工管状工件方法
- [发明专利]用于工件的射束加工的方法-CN202080034242.6在审
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F·泽普;C·魏斯
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WS光学技术有限责任公司
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2020-05-08
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2021-12-31
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B23K26/70
- 本发明涉及一种用于借助聚焦的加工射束(14)射束加工工件(9)的方法，其中，能够由工件分离至少一个工件部分(26)，该方法包括以下步骤：‑在工件(9)中通过聚焦的加工射束(14)产生凹部(17)，其中沿着能够由工件分离的至少一个工件部分(26)的轮廓(27)的至少一个区段产生凹部(17)；‑改变加工射束(14)的焦点位置，使得加工射束(14)在工件(9)上具有较小的射束直径；‑在工件(9)中通过具有改变的焦点位置的加工射束(14)沿着能够由工件(9)分离的至少一个工件部分(26)的轮廓(27)的至少一个区段产生缝隙(18)，其中，缝隙(18)至少部分地在凹部(17)内产生。
- 用于工件加工方法
- [发明专利]反射器和制造反射器的方法-CN201980038780.X在审
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F·泽普
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ASML荷兰有限公司
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2019-05-23
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2021-01-29
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G03F7/20
- 一种反射器，包括具有内表面的中空主体，所述内表面限定穿过所述中空主体的通道，所述内表面具有被配置成反射辐射的至少一个光学表面部分和支撑件表面部分，其中所述光学表面部分具有预先确定的光焦度，并且所述支撑件表面部分没有所述预先确定的光焦度。所述反射器通过以下步骤制成：提供轴向对称的心轴；使所述心轴的圆周表面的一部分成形以形成至少一个逆光学表面部分，所述逆光学表面部分关于所述心轴的轴线不是旋转对称的；在所述心轴周围形成反射器主体；和从所述心轴释放所述反射器主体，由此所述反射器主体具有由所述逆光学表面部分限定的光学表面和由所述心轴的外表面的其余部分限定的支撑件表面部分。
- 反射制造方法
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