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本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于翘曲校正的方法和设备-CN202180050900.5在审
发明人： S·斯如纳乌卡拉苏;陈培翰;K·帕拉西塔森;苏俊良;F·J·林;陈正玮;W·J·D·张 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2021-08-31 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： H10N10/01 文献下载
摘要：本文提供了用于处理基板的方法和设备。例如，一种用于处理基板的系统包括：处理腔室，所述处理腔室包括第一处理空间与第二处理空间；载体，所述载体设置在第一处理空间中，所述载体包括第一热电模块(TEM)，并且所述载体被配置成在基板被加热或冷却时支撑基板；以及吸盘，所述吸盘设置在第二处理空间中，所述吸盘包括第二TEM，并且所述吸盘被配置成从载体接收基板并在基板被加热或冷却时支撑基板；以及系统控制器，所述系统控制器被配置成在操作期间监测基板、载体或吸盘中的至少一者的温度，并基于基板、载体或吸盘中的至少一者的温度来供应电流至第一TEM或第二TEM中的至少一者。
用于校正方法设备

[发明专利]用于处理缩小尺寸的基板的处理套件-CN201980013848.9在审
发明人： K·帕拉西塔森;F·J·林;A·马哈德夫;S·瓦亚布朗;S·斯如纳乌卡拉苏;E·S·白 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-02-14 - 公布日： 2020-10-02 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：本文提供了用于处理缩小尺寸的基板的处理套件的实施例。在一些实施例中，处理套件包括具有袋部的基板载具，袋部被配置用于保持基板，其中袋部部分地延伸穿过基板载具的厚度；且其中袋部包含环形沟槽，环形沟槽设置在袋部的底板的周边处。
用于处理缩小尺寸套件

[发明专利]用于处理减小尺寸基板的沉积环-CN201980012380.1在审
发明人： S·斯如纳乌卡拉苏;E·S·白;F·J·林;K·帕拉西塔森;A·马哈德夫;S·瓦亚布朗;C·B·冼 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-02-14 - 公布日： 2020-09-18 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：在本文中提供了用于处理减小尺寸的基板的工艺配件的实施例。在一些实施例中，工艺配件包括：沉积环，具有环形主体；和多个突起，从环形主体向上延伸并围绕环形主体的中心轴线设置且离环形主体的中心轴线的距离相等，其中第一突起与第二突起之间的角度在约140和约180之间。
用于处理减小尺寸沉积

[发明专利]用于处理各种尺寸基板的设备-CN201980010700.X在审
发明人： S·斯如纳乌卡拉苏;E·S·白;K·帕拉西塔森;F·J·林 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-02-14 - 公布日： 2020-09-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本公开提供了处理不同尺寸的基板的方法和设备的实施例。在一些实施例中，用于处理不同尺寸的基板的设备包括：具有配置成支持具有第一尺寸的基板的第一组接触垫和配置成支持具有小于第一尺寸的第二尺寸的基板的第二组接触垫的一对终端受动器。
用于处理各种尺寸设备

[发明专利]桥接前开式标准舱(FOUP)-CN201980006816.6在审
发明人： K·帕拉西塔森;F·J·林;S·斯如纳乌卡拉苏;E·S·白 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-02-04 - 公布日： 2020-08-18 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本文中提供了一种桥接前开式标准舱(FOUP)。在一些实施例中，所述桥接FOUP包括：底部底板、侧壁、顶壁、及背壁，形成具有前开口的包壳容积；多个支撑件，被耦接到所述侧壁且延伸到所述包壳容积中，其中所述多个支撑件被配置为支撑基板载具；基部板组件，包括：基部板，被耦接到所述底部底板；一对L形托座，被耦接到所述基部板，其中每个L形托座包括短升降杆；长升降杆，被耦接到所述基部板，其中所述短升降杆及所述长升降杆的高度被选定为使得所述基板在被设置在所述短升降杆及所述长升降杆上时保持水平；以及对接支撑件，被设置在基部板组件附近且被配置为支撑基板载具。
桥接前开式标准 foup

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