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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]外壳系统结构-CN202280019608.1在审
发明人： J·C·孟克;R·S·斯托兹曼;D·R·麦考利斯特 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2022-03-07 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：一种外壳系统包括壁，所述壁包括侧壁和底壁。外壳系统进一步包括被配置成可移除地附接到侧壁中的一个或多个侧壁的外壳盖。壁和外壳盖至少部分包封外壳系统的内部体积。外壳系统进一步包括设置在外壳盖中的上窗。上窗被配置成用于设置在内部体积中的对象的定向验证。外壳系统进一步包括耦接到后壁的射频识别(RFID)固持器。RFID固持器被配置成固定RFID部件。外壳系统进一步包括设置在内部体积中的架。架中的每一者被配置成支撑对象中的对应对象。
外壳系统结构

[发明专利]处理配件环适配器和更换处理配件环的方法-CN202080036999.9有效
发明人： L·沃尔福夫斯基;A·施密特;D·M·库萨;N·M·科佩奇;S·巴巴扬;D·R·麦考利斯特;H·李;J·胡金斯;D·K·考克斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-05-20 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01L21/683 文献下载
摘要：一种处理配件环适配器，包括刚性载体。刚性载体包括上表面和下表面。上表面包括第一远侧部分和第二远侧部分以支撑处理配件环。下表面包括第一区域和实心平面中央区域，第一区域与被配置为支撑晶片的终端受动器对接，实心平面中央区域与真空吸盘对接。
处理配件适配器更换方法

[发明专利]处理套组外壳系统-CN202080036984.2在审
发明人： H·李;N·M·科佩奇;L·沃尔福夫斯基;D·R·麦考利斯特;A·施密特;J·胡金斯;Y·S·维什瓦纳坦;S·巴巴扬 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-05-20 - 公布日： 2022-01-07 - 主分类号： H01L21/687 文献下载
摘要：一种处理套组外壳系统，包括：用以封围内部容积的表面、包括第一鳍片的第一支撑结构、包括第二鳍片的第二支撑结构、以及用于将处理套组外壳系统与晶圆处理系统的装载端口接合的前接口。第一鳍片和第二鳍片被设置大小和间隔以在内部容积中保持处理套组环载具和处理套组环。每一个处理套组环经固定至处理套组环载具中的一者。处理套组外壳系统实现固定第一处理套组环的第一处理套组环载具从处理套组外壳系统到晶圆处理系统中的第一自动传送、以及固定第二处理套组环的第二处理套组环载具从晶圆处理系统到处理套组外壳系统中的第二自动传送。
处理外壳系统

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