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- [发明专利]在玻璃中形成高密度孔阵列的方法-CN201180057698.5有效
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H·D·博克;R·C·伯克特;D·R·哈维;A·M·斯特列利佐夫
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康宁股份有限公司
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2011-11-30
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2016-10-19
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C03C15/00
- 提供了一种在玻璃中制造高密度孔阵列的方法,该方法包括以下步骤:提供具有前表面的玻璃片,然后用UV激光束照射玻璃片的前表面,照射的焦点在玻璃片前表面的+/‑100μm内,最优选在玻璃片前表面的+/‑50μm内。对于厚度在0.3‑0.63mm之间的玻璃,聚焦激光的透镜的数值孔径优选在0.1‑0.4的范围内,更优选在0.1‑0.15的范围内,甚至更优选在0.12‑0.13的范围内,从而产生从玻璃片的前表面102延伸进入玻璃片100的开孔,所述开孔的直径在5‑15μm的范围内,长宽比至少为20:1。对于在0.1‑0.3mm范围内的更薄的玻璃,数值孔径优选为0.25‑0.4,更优选为0.25‑0.3,并且激光束优选聚焦在玻璃前表面+/‑30μm内。优选以小于或等于约15kHz的重复频率运行激光。然后可以通过蚀刻来扩大所产生的孔阵列。如果需要的话,可以在蚀刻之前对前表面进行抛光。
- 玻璃形成高密度阵列方法
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