专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]沉积有机材料的方法-CN200880108812.0有效
  • D·C·弗里曼;D·H·莱维;P·J·考德里-科尔文 - 伊斯曼柯达公司
  • 2008-09-17 - 2011-04-20 - H01L31/18
  • 一种通过原子层沉积在基板上制备有机薄膜的方法,所述方法包括同时引导一系列气流沿着基本上平行的伸长的通道通过,其中该系列气流包括依次的至少第一反应性气态材料、惰性吹扫气体和第二反应性气态材料,任选重复多次,其中所述第一反应性气态材料能够与用第二反应性气态材料处理过的基质反应,其中所述第一反应性气态材料、第二反应性气态材料或者二者为挥发性有机化合物。在有机薄膜的沉积过程中,所述方法基本上在大气压下或高于大气压下进行,其中沉积过程的基质温度低于250℃。
  • 沉积有机材料方法
  • [发明专利]用于沉积的输送装置-CN200880109091.5有效
  • R·S·克尔;D·H·莱维;J·T·默里 - 伊斯曼柯达公司
  • 2008-09-24 - 2010-08-18 - C23C16/455
  • 用于薄膜材料沉积的输送装置至少具有分别接收第一、第二和第三气态材料的公共供给源的第一、第二和第三进入口。该第一、第二和第三伸长输出通道中的每一个允许与相应的第一、第二和第三入口之一气体连通。该输送装置可以由孔板形成,所述孔板叠置而界定将供应室和导向通道互连的网络,以便将气态材料中的每一种从其相应的入口传递到相应的多个伸长输出通道。该输送装置包括由护面板之间的浮雕图案形成的扩散通道。还公开了薄膜沉积的方法。最后,一般地说,公开了流动扩散器和相应的流动扩散方法。
  • 用于沉积输送装置
  • [发明专利]沉积系统及方法-CN200780049535.6有效
  • D·H·莱维 - 伊斯曼柯达公司
  • 2007-12-26 - 2009-11-11 - C23C16/455
  • 本发明公开一种在基片上沉积薄膜物质的方法,所述方法包括从薄膜沉积系统的输送头的输出面朝向基片的表面同时引导一系列气流,其中所述系列的气流包括至少第一气态反应物质、惰性吹扫气体和第二气态反应物质,其中第一气态反应物质能够与用第二气态反应物质处理的基片表面反应,其中一个或多个气流提供至少有助于使基片表面从输送头的面分离的压力。本发明还公开一种能够实施此方法的系统。
  • 沉积系统方法

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