“D·J·埃尔德里奇”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网_中国专利网

首页在售求购查询申请展会资讯专利榜企服商城升级VIP

立即登录免费注册

在售专利
求购专利
查询专利
新闻资讯
技术展会
招商加盟
专利榜

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247 本网专利代理业务由天津创信方达专利代理事务所(普通合伙)承接机构代码：12247

专利名称

专利名称
专利号码
专利分类
申请人
公布日期

农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

专利下载VIP

公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

钻瓜专利网为您找到相关结果6个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]改进的安瓿汽化器和器皿-CN201880080478.6有效
发明人： D·J·埃尔德里奇;J·托马斯;J·M·克利里;S·L·巴特尔;J·格雷格;T·查特顿;B·C·亨德里克斯;T·H·鲍姆 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2018-12-13 - 公布日： 2023-01-13 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明是针对一种汽化器或安瓿组合件，所述组合件具有改进的汽化器器皿主体和位于其中的支撑托盘组合件配置，它们一起增加了可汽化材料利用率和均匀性。
改进安瓿汽化器器皿

[实用新型]汽化容器-CN202020666237.4有效
发明人： B·C·亨德里克斯;S·L·巴特尔;D·J·埃尔德里奇;J·N·格雷格;J·托马斯;M·F·冈萨雷斯;K·R·乔丹;B·H·奥尔森 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2021-05-07 - 主分类号： B65G53/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种汽化容器。一种用于所述汽化容器的托盘，其包括具有侧壁、底板、延伸穿过所述底板的一或多个孔和延伸穿过所述底板且从所述底板延伸的管道的托盘。所述托盘被配置成支撑待汽化的固体试剂。一种组装所述托盘的方法，其包括形成具有所述侧壁和所述底板的第一托盘。一种汽化容器，其包括所述托盘中的一或多个。
汽化容器

[发明专利]汽化容器和方法-CN202010345286.2在审
发明人： B·C·亨德里克斯;S·L·巴特尔;D·J·埃尔德里奇;J·N·格雷格;J·托马斯;M·F·冈萨雷斯;K·R·乔丹;B·H·奥尔森 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2020-04-27 - 公布日： 2020-10-30 - 主分类号： B65G53/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种汽化容器和方法。一种用于所述汽化容器的托盘，其包括具有侧壁、底板、延伸穿过所述底板的一或多个孔和延伸穿过所述底板且从所述底板延伸的管道的托盘。所述托盘被配置成支撑待汽化的固体试剂。一种组装所述托盘的方法，其包括形成具有所述侧壁和所述底板的第一托盘。一种汽化容器，其包括所述托盘中的一或多个。
汽化容器方法

[发明专利]固体前驱物的冷烧结-CN201680063196.6有效
发明人： T·H·鲍姆;Y·李;D·J·埃尔德里奇;R·L·赖茨 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2016-10-06 - 公布日： 2020-06-05 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本发明描述一种固体递送前驱物，其可用于挥发以产生用于气相沉积工艺的前驱物蒸汽。所述固体递送前驱物包括例如呈例如丸粒、薄片、小片、珠粒、圆盘或单块的形式的压实颗粒前驱物的固体本体。当利用于例如化学气相沉积、脉冲化学气相沉积或原子层沉积的气相沉积工艺中时，相对于颗粒前驱物，呈压实颗粒前驱物的固体本体形式的所述固体递送前驱物在经受挥发条件时提供基本上增加的前驱物蒸汽通量。因此，气相沉积工艺操作可在较短时间周期内实施，借此实现例如半导体产品、平板显示器、太阳能板、LED、光学涂层等产物的增大的制造速率。
固体前驱烧结

[实用新型]用于汽化和递送经汽化源材料的汽化器组合件-CN201822105599.1有效
发明人： D·J·埃尔德里奇;J·M·克利里;J·托马斯;S·L·巴特尔;T·查特顿;J·格雷格;B·C·亨德里克斯;T·鲍姆 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2018-12-14 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： C23C16/448 文献下载
摘要：本实用新型是针对一种用于汽化和递送经汽化源材料的汽化器组合件。所述汽化器组合件具有改进的汽化器器皿主体和位于其中的支撑托盘组合件配置，它们一起增加了可汽化材料利用率和均匀性。
汽化器组合件汽化本实用新型汽化源材料器皿主体汽化材料支撑托盘递送均匀性配置改进

[实用新型]化学品递送系统-CN201822048777.1有效
发明人： D·J·埃尔德里奇;D·彼得斯;R·赖特;B·亨德里克斯;S·L·巴特尔;J·格雷格 -专利权人：恩特格里斯公司
申请日： 2018-12-06 - 公布日： 2019-10-18 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种化学品递送系统。所述化学品递送系统包含散装容器、运行/再填充腔室、第一导管及第二导管。所述散装容器存储前体。所述运行/再填充腔室包含多个间隔开的管，所述多个间隔开的管具有多个表面，所述多个表面用于以蒸汽形式接收所述前体并以固体形式存储所述前体。所述第一导管将所述散装容器连接到所述运行/再填充腔室，用于以蒸汽形式将所述前体从所述散装容器输送到所述运行/再填充腔室。所述第二导管将所述运行/再填充腔室连接到沉积腔室，用于以蒸汽形式将所述前体从所述运行/再填充腔室输送到所述沉积腔室。
再填充腔室前体散装容器导管递送系统蒸汽形式化学品沉积腔室存储本实用新型

1
共 6 条

友情链接：交换友情链接需要网站权重大于4，网站收录10W以上，如符合条件，请联系QQ：76009968。

关于我们寻求报道投稿须知广告合作版权声明网站地图友情链接企业标识联系我们

在线咨询

400-8765-105周一至周五 9:00-18:00

版权所有钻瓜科技（天津）有限公司津ICP备15000985号津公网安备 12019202000206号http://www.vipzhuanli.com/公布日期

咨询在线客服

咨询在线客服

tel code back_top