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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]三维存储器阵列中变化的沟道宽度-CN202080092405.6在审
  • 王琛;D·巴苏;R·法斯托;D·基奥西斯;Y·李;E·L·梅斯;D·帕夫洛普洛斯;J·图格 - 英特尔公司
  • 2020-02-07 - 2022-08-19 - H01L27/11556
  • 公开了一种包括变化宽度沟道(110a)的存储器阵列(100)。阵列(100)包括多条WL(106)，多条WL(106)在层上方，其中，层可以是存储器阵列(100)的选择栅极源极SGS(116)或用于将阵列(100)的第一层面(102a)与阵列(100)的第二层面(102b)隔离的隔离层(130a)。沟道(110a)延伸穿过多条字线(106)并且至少部分地穿过该层。沟道(110a)包括第一区域(113na、113nb)和第二区域(111wa、111wb)。沟道(110a)的第一区域(113na、113nb)具有与沟道(110a)的第二区域(111wa、111wb)的第二宽度(D1)相差至少1nm的第一宽度(D2)。第一区域(113na、113nb)延伸穿过多条字线(106)，并且第二区域(111wa、111wb)延伸穿过多条字线(106)下面的层的至少一部分。第一宽度(D2)比沟道(110a)的第二区域(111wa、111wb)的第二宽度(D1)小至少1nm。
  • 三维存储器阵列变化沟道宽度
  •  1 
  • 共 1 条
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