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[发明专利]使用神经网络来监测的抛光装置-CN201880026059.4有效
发明人：许昆;H·G·伊拉瓦尼;D·伊万诺夫;B·A·斯韦德克;S-H·沈;H·Q·李;B·切里安 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2018-04-13 - 公布日： 2023-10-20 - 主分类号： H01L21/304 文献下载
摘要：一种在抛光站抛光基板上的层的方法，包含以下动作：于在抛光站抛光期间利用原位监测系统监测所述层，以针对所述层上的多个不同位置产生多个所测得信号；针对多个不同位置中的每一位置，产生所述位置的对厚度的估算测量结果，产生步骤包含通过神经网络处理多个所测得信号；以及以下步骤中的至少一者：基于每一个对厚度的估算测量结果检测抛光终点或修改抛光参数。
使用神经网络监测抛光装置

[发明专利]用于利用两层式微波空腔来动态控制径向均匀性的方法和装置-CN202080062451.1在审
发明人：小林悟;菅井英夫;D·伊万诺夫;L·斯卡德尔;D·卢博米尔斯基 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：方法和装置提供了用于半导体工艺腔室的等离子体产生。在一些实施例中，由系统产生等离子体，所述系统可以包括：工艺腔室，所述工艺腔室具有至少两个上部微波空腔，所述至少两个上部微波空腔通过具有多个辐射狭槽的金属板与下部微波空腔分离；至少一个微波输入端口，所述至少一个微波输入端口连接到所述至少两个上部微波空腔中的第一上部微波空腔；至少两个微波输入端口，所述至少两个微波输入端口连接到所述至少两个上部微波空腔中的第二上部微波空腔；以及下部微波空腔从所述至少两个上部微波空腔中的两者接收通过金属板中的多个辐射狭槽的辐射，下部微波空腔被配置为形成电场，所述电场在工艺腔室的工艺容积中提供均匀的等离子体分布。
用于利用式微空腔动态控制径向均匀方法装置

[发明专利]安全仪表系统接口-CN202111118681.8在审
发明人： A·米什拉;D·伊万诺夫;E·班奇;K·乔卡林加姆 -专利权人：施耐德电子系统美国股份有限公司
申请日： 2021-09-24 - 公布日： 2022-03-29 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本公开涉及安全仪表系统接口。与工业工厂中的安全仪表系统(SIS)的双层接口。具有与SIS的已建立连接的诊断状态聚合器从SIS收集并存储健康和诊断状态数据。通信地耦合到诊断状态聚合器和用户设备的接口处理引擎从用户设备接收对与SIS相关的信息的新请求。存储器存储处理器可执行指令，指令在被执行时将接口处理引擎配置用于解析新请求以识别其中与所请求的与SIS相关的信息相关联的一个或多个特定关键字，基于识别出的关键字生成查询，从诊断状态聚合器检索响应于查询而从SIS收集的状态数据，并将从诊断状态聚合器检索到的状态数据提供给用户设备。
安全仪表系统接口

[发明专利]用于原位电磁感应监测系统的芯配置-CN202110534178.4在审
发明人： H·G·伊拉瓦尼;K·徐;D·伊万诺夫;S-H·沈;B·A·斯韦德克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-10-05 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B24B49/04 文献下载
摘要：一种用于化学机械抛光的装置包括支撑件和电磁感应监测系统，所述支撑件用于具有抛光表面的抛光垫，所述电磁感应监测系统产生磁场以监测抛光垫正在抛光的基板。电磁感应监测系统包括芯和绕所述芯的一部分卷绕的线圈。芯包括后部、中心柱和环形边缘，所述中心柱在与所述抛光表面正交的第一方向上从所述后部延伸，所述环形边缘平行于所述中心柱地从所述后部延伸并且所述环形边缘围绕所述中心柱且与所述中心柱以一间隙间隔开。所述间隙的宽度小于所述中心柱的宽度，且所述环形边缘的顶表面的表面积比所述中心柱的顶表面的表面积大至少两倍。
用于原位电磁感应监测系统配置

[发明专利]用于原位电磁感应监测系统的芯配置-CN201780068642.7有效
发明人： H·G·伊拉瓦尼;K·徐;D·伊万诺夫;S-H·沈;B·A·斯韦德克 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2017-10-05 - 公布日： 2021-05-11 - 主分类号： B24B49/10 文献下载
摘要：一种用于化学机械抛光的装置包括支撑件和电磁感应监测系统，所述支撑件用于具有抛光表面的抛光垫，所述电磁感应监测系统产生磁场以监测抛光垫正在抛光的基板。电磁感应监测系统包括芯和绕所述芯的一部分卷绕的线圈。芯包括后部、中心柱和环形边缘，所述中心柱在与所述抛光表面正交的第一方向上从所述后部延伸，所述环形边缘平行于所述中心柱地从所述后部延伸并且所述环形边缘围绕所述中心柱且与所述中心柱以一间隙间隔开。所述间隙的宽度小于所述中心柱的宽度，且所述环形边缘的顶表面的表面积比所述中心柱的顶表面的表面积大至少两倍。
用于原位电磁感应监测系统配置

[发明专利]制造执行系统中的线管理-CN201410719800.9有效
发明人： T·A·特罗伊;J·B·努斯;K·R·弗兰兹;N·普耶兹;D·伊万诺夫;J·E·欧赫恩;A·R·哈斯克尔;R·戈巴拉克里斯南;M·P·诺尔贝克;R·W·伯伊勒;D·范克拉维恩 -专利权人：施耐德电子软件有限责任公司
申请日： 2014-10-14 - 公布日： 2019-04-02 - 主分类号： G05B19/418 文献下载
摘要：本发明涉及制造执行系统中的线管理。在计算机系统的显示器上呈现关于具有物理加工线的过程控制系统的信息包括在显示器上呈现显示对象。该显示对象与过程控制系统的物理线相关联。
制造执行系统中的线管

[发明专利]虚拟和物理企业系统映像-CN201110288934.6有效
发明人： D·阿勒-阿齐兹;M·卡拉图特鲁;D·伊万诺夫;M·佩里;K·麦吉尼斯 -专利权人：微软公司
申请日： 2011-09-13 - 公布日： 2012-04-11 - 主分类号： H04L29/08 文献下载
摘要：本发明公开了虚拟和物理企业系统映像。在呈现的网页上提供的网页行为增强(WPBE)控制元件，允许用户在网页内容的至少一部分上执行操作，诸如定制、编辑、分析、转发，和/或注释内容。所处理的内容可被呈现在原始网页上、在网页的本地存储版本上，或从后续使用中获得，其中对原始网页内容的任何改变可被跟踪，并且将改变通知用户。基于诸如web应用程序能力、浏览器能力、用户偏好、使用模式等，可在源web应用程序或在本地浏览器将WPBE控制元件嵌入网页。
虚拟物理企业系统映像