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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]用于针对移动的工艺套件测量侵蚀并校准位置的方法和装置-CN201980048811.X在审
发明人： C·G·波特;E·莫;S·洛佩兹卡巴加尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-08-23 - 公布日： 2021-03-16 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本文中所公开的实施例包括一种校准处理腔室的方法。在实施例中，该方法包括以下步骤：将传感器晶片放置到处理腔室中的支撑表面上，其中在Z方向上能移位的工艺套件定位在支撑表面周围。在实施例中，该方法进一步包括以下步骤：用该传感器晶片的边缘表面上的传感器测量传感器晶片与工艺套件之间的第一间隙距离。在实施例中，该方法进一步包括以下步骤：使工艺套件在Z方向上移位。在实施例中，该方法进一步包括以下步骤：测量传感器晶片与工艺套件之间的额外间隙距离。
用于针对移动工艺套件测量侵蚀校准位置方法装置

[发明专利]用于测量加热器基座上的基板的放置的方法和设备-CN201980048663.1在审
发明人： C·G·波特;A·D·沃恩 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-08-22 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：此处公开的实施例包含一种确定传感器晶片相对于基座的位置的方法。在实施例中，该方法包括以下步骤：将传感器晶片放置于该基座上，其中该传感器晶片包括由该基座支撑的第一表面、与该第一表面相对的第二表面、及将该第一表面连接至该第二表面的边缘表面，其中在该边缘表面上形成多个传感器区域，且其中该基座包括主要表面及环绕该传感器晶片的环状壁。在实施例中，该方法进一步包括以下步骤：确定该多个传感器区域的每一者与该环状壁之间的间隙距离。在实施例中，该方法可进一步包括以下步骤：从间隙距离确定该传感器晶片的中心点相对于该环状壁的中心点的中心点偏移。
用于测量加热器基座放置方法设备

[发明专利]用于测量工艺配件中心的方法和设备-CN201980048903.8在审
发明人： C·G·波特;E·莫 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-07-31 - 公布日： 2021-03-09 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本文公开的实施例包含一种传感器晶片。在实施例中，传感器晶片包括基板，其中所述基板包括第一表面、与第一表面相对的第二表面、以及第一表面和第二表面之间的边缘表面。在实施例中，传感器晶片进一步包括沿着边缘表面形成的多个传感器区域，其中每个传感器区域包括自参照电容式传感器。
用于测量工艺配件中心方法设备

[发明专利]使用振动数据测量晶片移动和放置的方法及设备-CN201980048311.6在审
发明人： C·G·波特;T·A·尼尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-08-21 - 公布日： 2021-03-05 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本文中公开的实施例包括一种传感器晶片。在一实施例中，传感器晶片包括基板，其中基板包括：第一表面；第二表面，所述第二表面与第一表面相对；以及边缘表面，所述边缘表面位于第一表面和第二表面之间。在一实施例中，传感器晶片进一步包括多个传感器区域，所述多个传感器区域沿第一表面形成，其中传感器区域包括自参考电容传感器。在一实施例中，传感器晶片进一步包括振动传感器，所述振动传感器嵌入基板内。
使用振动数据测量晶片移动放置方法设备

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