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[发明专利]金属镀覆的玻璃通孔的钝化材料和方法-CN202180041650.9在审
发明人： J·全;C·F·凯梅尔;C·纳萨尔;A·明尼克 -专利权人：门罗微系统公司
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： C03C17/36 文献下载
摘要：在玻璃基板中形成的玻璃通孔(TGV)可以包括在TGV中形成的金属镀层。TGV可以具有通过玻璃基板的三维(3D)拓扑结构和保形地覆盖3D拓扑结构的金属镀层。TGV还可以包括设置在金属镀层上的阻挡层和设置在阻挡层上的金属化层。金属化层可以通过阻挡层电联接到金属镀层。阻挡层可以包括设置在金属镀层上的金属氮化物膜，该膜电联接到金属化层。阻挡层可以包括设置在金属镀层上和TGV周围的部分玻璃上的金属膜、以及设置在金属膜上的电绝缘膜，电绝缘膜与金属镀层完全重叠并且与金属膜部分重叠。
金属镀覆玻璃钝化材料方法

[发明专利]构建于基板上的具有钌基接触表面材料的MEMS器件-CN202180024343.X在审
发明人： A·明尼克;C·F·凯梅尔;朱旭 -专利权人：门罗微系统公司
申请日： 2021-03-26 - 公布日： 2022-11-11 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：制造和封装欧姆微机电系统(MEMS)开关器件的方法可以包括：在绝缘基板上构造开关器件。该开关器件可以具有由铂族金属构成的触点。所述方法还可以包括：在所述一个或更多个触点中的各个触点的外表面上形成铂族金属的氧化层。所述方法还可以包括：将绝缘帽键合至绝缘基板，以气密地密封开关器件。该键合可以发生在具有处于0.5％至30％的范围内的氧气比例的气氛中，使得在开关器件已经被气密地密封在密封腔内之后，该密封腔内的气氛具有处于0.5％至30％的范围内的氧气比例。该铂族金属可以是钌，并且该铂族金属的氧化层可以是二氧化钌。
构建基板上具有接触表面材料 mems 器件

[发明专利]用于提高MEMS装置可靠性的系统和方法-CN201210107782.X有效
发明人： M·F·艾米;J·A·约诺蒂;C·F·凯梅尔;髙宇轩 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2012-04-05 - 公布日： 2012-10-17 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及用于提高MEMS装置可靠性的系统和方法。一种微机电系统(MEMS)装置，其在一个实施例中包括采用背对背配置互相耦合的至少两个MEMS开关。对应于第一和第二MEMS开关的第一和第二悬置元件电耦合。此外，配置对应于第一和第二MEMS开关的第一和第二触点使得第二悬置元件和第二触点之间的差分电压近似等于第一悬置元件和第一触点之间的差分电压。该MEMS装置包括至少一个致动器，其耦合于第一和第二悬置元件中的一个或多个来致动第一和第二悬置元件中的一个或多个。在一个示例中，该MEMS装置包括一个或多个无源元件，其耦合于第一和第二MEMS开关中的一个或多个。
用于提高 mems 装置可靠性系统方法

[发明专利]开关阵列和其制造与操作方法-CN201110192467.7无效
发明人： C·F·凯梅尔;K·苏布拉马尼安;J·N·帕克;W·J·普雷默拉尼;O·J·S·谢伦斯 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2011-06-29 - 公布日： 2012-03-07 - 主分类号： H03K17/60 文献下载
摘要：本发明涉及一种开关阵列和其制造与操作方法。开关阵列(14)包括多个彼此电联接的开关元件(12)，每个开关元件(12)构造成在导电状态与非导电状态之间切换。该开关阵列(14)还包括至少一个寄生效应最小化电路(20)，其电联接到多个开关元件(12)且构造成在多个开关元件(12)在导电状态与非导电状态之间切换期间提供跨过和通过多个开关元件(12)中的每一个的接近零的电压和电流。
开关阵列制造操作方法

[发明专利]开关结构-CN201010258366.0有效
发明人：王雪峰;M·F·艾米;S·班萨尔;C·F·凯梅尔;K·V·S·R·基肖尔;K·苏尔布拉马尼安;D·帕特罗;V·K·辛哈;O·普拉卡什 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2010-08-13 - 公布日： 2011-09-07 - 主分类号： H01H1/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种开关结构，具体而言，提供了一种诸如开关结构(100)的装置，该装置包括触头(102)和导电元件(104)。该导电元件可构造成可选择性地在非接触位置和接触位置之间运动，在非接触位置上，导电元件与触头分开(在一些情况下，分开小于或等于约4μm的距离，而在其它情况下，分开小于或等于约1μm的距离)，在接触位置上，导电元件与触头接触，且与该触头建立电连通。当导电元件设置在非接触位置上时，触头和导电元件可构造成支持在其之间的、带有大于320Vμm-1的量值的电场和/或约330V或更大的电势差。
开关结构

[发明专利]开关结构-CN201010586673.1有效
发明人： M·F·艾米;S·班萨尔;C·F·凯梅尔;K·V·S·R·基肖尔;S·孙达拉姆;P·塔克雷 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2010-11-30 - 公布日： 2011-06-01 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种开关结构。提供了一种装置，例如开关结构(100)。该开关结构可包括各自分别设置在衬底(108)上的触头(102)和导电元件(104)。导电元件可基本由金属材料组成，并且可构造成可在第一位置和第二位置之间变形，在第一位置上，导电元件与触头分开一段间距，而在第二位置上，导电元件接触触头且存储机械能。导电元件可进一步构造成使得在介于约室温和金属材料的熔化温度的约一半之间的温度处变形到第二位置上达至少107秒的累计时间之后，间距在没有外力的情况下经过该累计时间改变小于20％。还提供了相关联的方法。
开关结构

[发明专利]开关结构和方法-CN201010500702.8有效
发明人： C·F·凯梅尔;M·F·艾米;S·班萨尔;R·R·科尔德曼;K·V·S·R·基肖尔;E·S·雷迪;A·萨哈;K·苏布拉马尼安;P·萨克尔;A·D·科温 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2010-09-21 - 公布日： 2011-04-27 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明涉及开关结构和方法，具体而言，提供了一种装置，例如开关结构(100)，其包括触头(102)和构造成可在第一位置和第二位置之间变形的导电元件(104)，在第一位置上，导电元件与触头分开，而在第二位置上，导电元件接触触头。导电元件基本可由构造成抑制取决于时间的变形的金属材料形成。例如，金属材料可构造成在经受金属材料的屈服强度的至少约25％的应力和低于或等于金属材料的熔化温度的约一半的温度时展现小于10-13s-1的最大的稳态塑性应变率。触头和导电元件可为微机电装置或纳机电装置的一部分。还提供了相关联的方法。
开关结构方法

[发明专利]微机电系统开关-CN200910215146.7无效
发明人：王雪峰;K·V·S·R·基肖尔;C·F·凯梅尔;G·S·克莱顿;K·苏布拉马尼安 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2009-12-22 - 公布日： 2010-06-30 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明提出一种微机电系统开关。该开关包括具有支承表面的基底。提供具有凹口的促动表面以及具有延长部分的电接触表面。所述延长部分设置在凹口内。梁附接在基底上。梁包括构造成随着促动而弯曲并且与延长部分的至少一部分接触并且运送电流通过的可促动自由端。
微机系统开关

[发明专利]基于微机电系统的开关-CN200780053364.4有效
发明人： W·J·普雷默拉尼;K·苏布拉马尼安;C·F·凯梅尔;K·A·奥布赖恩;J·N·帕克 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2007-06-20 - 公布日： 2010-06-16 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：公开了一种电流控制装置。该电流控制装置包括与电流路径整体地布置的控制电路，以及设置在电流路径中的至少一个微机电系统(MEMS)开关(20)。该电流控制装置还包括与所述至少一个MEMS开关并联的混合式无电弧限制技术(HALT)电路，帮助所述至少一个MEMS开关的无电弧断开，以及与所述至少一个MEMS开关并联的脉冲辅助接通(PATO)电路(52)，帮助所述至少一个MEMS开关的无电弧闭合。
基于微机系统开关

[发明专利]具有导电机械停止器的MEMS微开关-CN200810188424.X有效
发明人： X·王;K·苏布拉马尼安;C·F·凯梅尔;M·F·艾米;K·V·S·R·基肖尔;G·S·克莱顿;O·C·布姆豪尔;P·萨克尔 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2008-12-22 - 公布日： 2009-09-16 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种具有导电机械停止器的MEMS微开关。MEMS开关30、50、60、70、80包含衬底32、耦接到该衬底32的活动致动器53、63、83，衬底接触35、85，衬底电极36、56、86，和电耦接到该活动致动器33、63、83并被构造为防止该活动致动器33、63、83与衬底电极36、56、86接触，但允许该活动致动器33、63、83与衬底接触35、85形成接触的导电停止器39、59、69、79。
具有导电机械停止 mems 开关

[发明专利]具有改进的关态电压控制的MEMS开关-CN200810185380.5有效
发明人： W·J·普雷默拉尼;C·F·凯梅尔;K·苏布拉马尼安;王雪峰;M·F·艾米 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2008-12-22 - 公布日： 2009-06-24 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明涉及具有改进的关态电压控制的MEMS开关。提供了一种MEMS开关(20，30，40)，其包括衬底(28)、耦合到该衬底(28)并且具有第一侧部和第二侧部的可动执行器(22，32，132)、第一固定电极(24)和第二固定电极(27，37，47)，该第一固定电极(24)耦合到该衬底(28)并且定位在该可动执行器(22，32，132)的第一侧部上以产生第一驱动力来将该可动执行器(22，32，132)拉向导电状态，该第二固定电极(27，37，47)耦合到该衬底(28)并且定位在该可动执行器(22，32，132)的第二侧部上以产生第二驱动力来将该可动执行器(22，32，132)拉向非导通状态。
具有改进电压控制 mems 开关

[发明专利]具有双致动器和共栅极的MEMS微型开关-CN200810188423.5有效
发明人： C·F·凯梅尔;X·王;M·F·艾米;K·苏布拉马尼安 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2008-12-22 - 公布日： 2009-06-24 - 主分类号： H01H59/00 文献下载
摘要：本发明涉及具有双致动器和共栅极的MEMS微型开关。根据本发明的一个方面，提供了一种MEMS开关(10，30，40)。MEMS开关(10，30，40)包括：衬底(12)，电耦接在一起的第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)，与衬底(12)机械耦接并且支撑第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)中的至少一个的固定器(18)，以及被配置来使得第一致动元件(21，41)和第二致动元件(22，42)致动的栅极驱动器(6)。
具有双致动器栅极 mems 微型开关

[发明专利]功率覆盖结构及其制作方法-CN200810074207.8无效
发明人： S·D·阿瑟;A·埃拉塞尔;J·I·赖特;K·苏布拉马尼安;C·F·凯梅尔;A·V·高达 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2008-02-13 - 公布日： 2008-08-20 - 主分类号： B81B7/00 文献下载
摘要：本发明涉及功率覆盖结构及其制作方法。本发明的一个实施例包括一种MEMS结构，该MEMS结构进一步包括：MEMS器件(240)，其具有其上带有一个或多个连接到MEMS器件(240)的MEMS元件的接触结构(244、245和246)的第一表面；覆盖第一表面在其中限定了开口的介电层(100)，接触结构(244、245和246)通过该开口被暴露；包含从接触结构(244、245和246)延伸通过介电层(100)中的开口并且到达介电层(100)的表面之上的导电材料(174－179)的图案化的金属化层(254、255和256)；以及与金属化层(254、255和256)热连通的第一热沉(190)。
功率覆盖结构及其制作方法

[发明专利]触点材料、包含触点材料的器件及制造方法-CN200710152719.7无效
发明人： D·斯里尼瓦桑;R·R·科尔德曼;C·F·凯梅尔;S·古纳塞卡兰;S·E·雷迪;A·V·高达;K·苏布拉马尼安 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2007-07-05 - 公布日： 2008-04-02 - 主分类号： H01H1/02 文献下载
摘要：提供一种用于控制电流流动的器件。该器件包括第一导体(12)；与第一导体(12)可切换联接从而在与第一导体(12)形成的电连接状态和电断开状态之间进行切换的第二导体(14)。至少一个导体还包括电触点(40)，所述电触点(40)包括具有多个孔(44)的固体基体(42)；以及设置在所述多个孔(44)中的至少一部分孔内的填充材料(46)。填充材料(46)的熔点低于约575K。提供一种制造电触点(40)的方法(50)。该方法(50)包括以下步骤：提供衬底；在衬底上提供多个孔(44)；以及在所述多个孔(44)中的至少一部分孔内设置填充材料。所述填充材料(46)的熔点低于约575K。
触点材料包含器件制造方法

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