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[发明专利]用于运行机动车的车载电网的方法和机动车-CN201680038578.3有效
发明人： J·温克勒;B·斯托克;T·哈克纳 -专利权人：奥迪股份公司
申请日： 2016-06-10 - 公布日： 2021-01-08 - 主分类号： B60L3/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于运行机动车(1)的车载电网(2)的方法，所述车载电网(2)为了给车载电网(2)的至少一个子车载电网(5、6)提供运行电压而具有第一能量源(8)和至少一个第二能量源(7、9)，其中，监控第一能量源(8)与车载电网(2)之间的导电连接是否有意中断，当识别出导电连接的有意中断时，将车载电网(2)的至少一个第二能量源(7、9)与该车载电网切断和/或去激活。
用于运行机动车车载电网方法

[其他]用于在基板上沉积材料的设备-CN201490001446.X有效
发明人： T·W·齐尔鲍尔;A·赫尔米希;R·欣特舒斯特;U·慕尔菲德;B·斯托克;H·G·沃尔夫;M·班德尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-05-20 - 公布日： 2018-01-09 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：提供一种用于在基板上沉积材料的沉积设备(300)。沉积设备(300)包括两个或更多的处理腔室，包括第一处理腔室(310)及第二处理腔室(320)；基板支撑件(330)，至少延伸通过第一处理腔室(310)及第二处理腔室(320)；及两个或更多的沉积源组件，包括第一处理腔室(310)中的第一沉积源组件(350)及第二处理腔室(320)中的第二沉积源组件(360)。该两个或更多的沉积源组件的每一个包括配置成支撑至少一个第一沉积源与至少一个工艺装置的至少一沉积源支撑件(351,361)。该至少一个沉积源支撑件(351,361)配置成至少在第一位置与第二位置之间是可移动的。在第一位置中，至少一个第一沉积源取向朝向基板支撑件(330)，在第二位置中，至少一个工艺装置取向朝向基板支撑件(330)。
用于基板上沉积材料设备

[其他]用于在基板上沉积材料的沉积装置-CN201490001442.1有效
发明人： T·W·齐尔鲍尔;A·赫尔米希;R·欣特舒斯特;U·慕尔菲德;B·斯托克;H·G·沃尔夫;M·班德尔 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2014-05-20 - 公布日： 2017-11-10 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一种用于在基板上沉积材料的沉积装置(300)。沉积装置(300)包括第一处理腔室(310)和第二处理腔室(320)；位于第一处理腔室(310)内的至少一个第一沉积源(311)和位于第二处理腔室(320)内的至少一个第二沉积源(321)；和至少一个第一遮蔽设备(350)。此至少一个第一遮蔽设备(350)配置为至少在第一位置和第二位置之间为可移动的，其中此至少一个第一遮蔽设备(350)配置为当至少一个第一遮蔽设备(350)在第一位置时遮蔽至少一个第一沉积源(311)，且其中至少一个第一遮蔽设备(350)配置为在第一处理腔室(310)和第二处理腔室(320)之间为可移动的。
用于基板上沉积材料装置