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- [发明专利]薄层沉积方法-CN201080044800.3有效
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A.卡申科;A.迪朗多;N.纳多
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法国圣戈班玻璃厂
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2010-09-30
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2012-07-11
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C03C17/00
- 本发明涉及用于获得一种基材的方法,这种基材在它的至少一部分表面上涂覆有至少一个金属M的氧化物层,该氧化物层的物理厚度小于或等于30nm,所述氧化物层不被包括在含至少一个银层的层堆叠体中。所述方法包括以下步骤:通过阴极溅射沉积至少一个由选自以下的材料制成的中间层:金属M、金属M氮化物、金属M碳化物和金属M的亚化学计量氧的氧化物,所述中间层不沉积在基于二氧化钛的层的上面或者下面,所述中间层的物理厚度小于或等于30nm;使用热处理氧化所述中间层的至少一部分表面,在该热处理期间使所述中间层与氧化性气氛,特别地与空气直接接触,在所述热处理期间所述基材的温度不超过150℃。
- 薄层沉积方法
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