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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]衬底运输设备-CN201910424298.1有效
发明人： R.T.卡夫尼;U.吉尔克里斯特;A.克鲁皮舍夫 -专利权人：博鲁可斯自动化美国有限责任公司
申请日： 2014-12-15 - 公布日： 2023-08-01 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种使用传送设备传送工件的方法，所述方法包括：提供传送设备的框架；提供连接到所述框架的多个臂，用于围绕公共枢转轴线枢转，每个臂具有末端执行器和独立驱动轴线，用于相对于所述多个臂中的其它臂延伸和收缩相应的臂；提供线性轨，所述线性轨限定所述独立驱动轴线的自由度，用于延伸和收缩至少一个臂；以及使用每个臂共用的公共马达的公共驱动轴线来输出公共扭矩，使得每个臂共用地依赖于公共马达，所述公共扭矩限定每个臂共用的公共驱动轴线，使得公共马达使用公共扭矩将所述多个臂作为一个单元围绕公共枢转轴线枢转；其中，所述多个臂中的至少一个具有相对于所述多个臂中的其它臂限定独立的自由度的另一驱动轴线。
衬底运输设备

[发明专利]衬底运输设备-CN201480075737.8有效
发明人： R.T.卡夫尼;U.吉尔克里斯特;A.克鲁皮舍夫 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2014-12-15 - 公布日： 2019-06-14 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：一种传送设备包括：框架；连接到所述框架的多个臂，每个臂具有末端执行器和用于相对于所述多个臂中的其他臂的相应的臂的延伸和收缩的独立驱动轴线；线性轨，其限定所述独立驱动轴线的自由度用于延伸和收缩至少一个臂；以及公共驱动轴线，其被每个臂分享并被配置成围绕公共枢转轴线枢转所述多个臂，其中，所述多个臂中的至少一个具有相对于所述多个臂中的其他臂限定独立的自由度的另一驱动轴线。
衬底运输设备

[发明专利]基板处理设备-CN201710826869.5在审
发明人： A.克鲁皮舍夫;U.吉尔克里斯特;R.T.卡夫尼;D.巴布斯 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2013-02-11 - 公布日： 2018-01-19 - 主分类号： B25J9/04 文献下载
摘要：一种用于在搬运室内运输基板的搬运设备，所述搬运室具有第一端和第二端以及在这些端部之间延伸的两侧。所述搬运设备包括驱动部段；以及至少一个基部臂，所述基部臂在一端处相对于所述搬运室被固定并且包括可旋转地联接到驱动部段的至少一个臂连杆以及可旋转地联接到基部臂的公共端上的至少一个搬运臂，所述至少一个搬运臂具有两个末端执行器。所述驱动部段具有马达，所述马达具有限定三个自由度的三个独立旋转轴线。一个自由度使得所述至少一个基部臂水平地移动以用于运输所述至少一个搬运臂。两个自由度驱动所述至少一个搬运臂，以使得所述至少一个搬运臂延伸、所述至少一个搬运臂缩回以及交换所述两个末端执行器。
处理设备

[发明专利]基板处理设备-CN201380019263.0有效
发明人： A.克鲁皮舍夫;U.吉尔克里斯特;R.T.卡夫尼;D.巴布斯 -专利权人：布鲁克斯自动化公司
申请日： 2013-02-11 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： B25J9/06 文献下载
摘要：一种用于在搬运室内运输基板的搬运设备，所述搬运室具有第一端和第二端以及在这些端部之间延伸的两侧。所述搬运设备包括驱动部段；以及至少一个基部臂，所述基部臂在一端处相对于所述搬运室被固定并且包括可旋转地联接到驱动部段的至少一个臂连杆以及可旋转地联接到基部臂的公共端上的至少一个搬运臂，所述至少一个搬运臂具有两个末端执行器。所述驱动部段具有马达，所述马达具有限定三个自由度的三个独立旋转轴线。一个自由度使得所述至少一个基部臂水平地移动以用于运输所述至少一个搬运臂。两个自由度驱动所述至少一个搬运臂，以使得所述至少一个搬运臂延伸、所述至少一个搬运臂缩回以及交换所述两个末端执行器。
处理设备

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