专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]具有特定膜片结构的激光封闭-CN201611107858.3在审
  • A·伊林;M·阿梅特沃布拉;P·卡佩 - 罗伯特·博世有限公司
  • 2016-12-06 - 2017-07-14 - B81B7/02
  • 本发明提出一种用于制造微机械构件的方法,具有衬底和与衬底连接并且与衬底包围第一空穴的罩,其中,在第一空穴中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物,其中,‑在第一方法步骤中,在衬底或在罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口,其中,‑在第二方法步骤中,调节在第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分,其中,‑在第三方法步骤中,通过借助于激光将能量或热量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口,其中,在基本上平行于衬底的主延伸平面走向并且布置在进入开口的基本上垂直于主延伸平面构造的区域的背离第一空穴的一侧上的第一平面和基本上平行于衬底的主延伸平面走向并且布置在进入开口的基本上垂直于主延伸平面构造的区域的面向第一空穴的一侧上的第二平面之间,进入开口通过衬底或罩的在第三方法步骤中过渡到液态聚集态的材料区域基本上完全被填充。
  • 具有特定膜片结构激光封闭

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