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[发明专利]一种镍钒合金锭的熔炼方法-CN202210914828.2有效
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;周友平;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2023-04-28 - 主分类号： C22C19/03 文献下载
摘要：本发明提供了一种镍钒合金锭的熔炼方法，所述熔炼方法针对钒的质量百分比为6.3‑7.7％的镍钒混合料，先通过真空熔炼实现镍钒合金化，再通过电子束熔炼去除铸锭表面与内部的孔洞，得到内部无缺陷的镍钒合金锭；其中，尤其需要重点控制电子束熔炼的滴熔速度为1‑2滴/s，拉锭速度为3‑5mm/min。本发明所述熔炼方法既能保证镍钒合金锭的铸锭合格率，又能去除镍钒合金锭的内部缺陷，而且具有简单易行的优点。
一种镍钒合金锭熔炼方法

[发明专利]一种钴钽合金粉的制备方法、钴钽合金粉及用途-CN202010899783.7有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： B22F9/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种钴钽合金粉的制备方法、钴钽合金粉及用途，所述钴钽合金粉的制备方法包括：先按照目标原子比例准备钴料和钽料并混合；然后在1380‑1600℃下熔化完全；随后在惰性气体作用下进行雾化，得到所述钴钽合金粉。所述制备方法控制钴钽混合料的熔融温度为1380‑1600℃，并优化雾化条件，使得制备得到的钴钽合金粉纯度≥99.95％，含氧量≤600ppm，利用筛分得到的粒度＜150目的所述钴钽合金粉，有利于制备得到高纯度、高致密、高弯曲强度和磁通量合格的铁钴钽合金溅射靶材；其中，将钽靶材的钽边料作为钽料进行制备，实现了变废为宝。
一种合金粉制备方法用途

[发明专利]一种铁钴钽合金粉的制备方法、铁钴钽合金粉及用途-CN202010901342.6有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2023-02-03 - 主分类号： B22F9/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种铁钴钽合金粉的制备方法、铁钴钽合金粉及用途，所述铁钴钽合金粉的制备方法包括：先按照目标原子比例准备铁料、钴料和钽料并混合；然后在1650‑1750℃下熔化完全；随后在惰性气体作用下进行雾化，得到所述铁钴钽合金粉。所述制备方法控制铁钴钽混合料的熔融温度为1650‑1750℃，并优化雾化条件，使得制备得到的铁钴钽合金粉纯度≥99.95％，含氧量≤600ppm，利用筛分得到的粒度＜150目的所述铁钴钽合金粉，有利于制备得到高纯度、高致密、高弯曲强度和磁通量合格的铁钴钽合金溅射靶材；其中，将钽靶材的钽边料作为钽料进行制备，实现了变废为宝。
一种铁钴钽合金粉制备方法用途

[发明专利]可减少旋转靶偏心的夹具以及装粉包套的加工方法-CN202111181948.8有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-10-11 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： B23K31/02 文献下载
摘要：本申请公开了可减少旋转靶偏心的夹具以及装粉包套的加工方法，其中，夹具，包括金属本体，所述金属本体的一端具有环状的内包套槽和环状的外包套槽，所述内包套槽和所述外包套槽同心设置且外包套槽位于内包套槽的外侧，所述金属本体还具有贯穿金属本体的投粉口，所述投粉口位于内包套槽和外包套槽之间。本申请通过内包套槽能够定位内包套，通过外包套槽能够定位外包套，通过控制夹具加工公差，一方面可以控制内外包套的相对位置，保证在焊接时内外包套的同心度，另一方面又可以通过夹具的夹持限位作用，控制由于热胀冷缩内外包套相对位置发生变化，能够较好地将装粉后的旋转靶同心度控制在≤0.3mm，将热等静压后的成品率提高至70％以上。
减少旋转偏心夹具以及装粉包套加工方法

[发明专利]一种针对电解镍板的物理清洗方法-CN202210969541.X在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;边逸军;黄东长;姚明月 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-08-12 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B24C1/08 文献下载
摘要：本发明提供了一种针对电解镍板的物理清洗方法，将待清洗电解镍板依次进行喷砂、水冲洗与干燥，得到清洗后电解镍板，所述物理清洗方法不仅可以有效去除待清洗电解镍板上的氧化皮与油污，还可以避免酸洗方式产生的废酸与废气，具有方便快捷、操作简单、环保安全等优点，便于推广使用。
一种针对电解物理清洗方法

[发明专利]一种镍铝合金溅射靶材及其热压制备方法-CN202210914841.8在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-11-01 - 主分类号： B22F3/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种镍铝合金溅射靶材及其热压制备方法，所述热压制备方法包括混粉、装模、热压烧结和机加工，并控制热压烧结的目标温度为1100～1250℃，可以降低能耗和成本，具有流程较短、操作简单的优点，适合大规模推广，而且制备得到的镍铝合金溅射靶材具有致密度在99％以上、内部组织均匀、成分均匀、机加工性能优异等优点，可以用于第三代半导体用真空磁控溅射镀膜或真空多弧离子镀膜。
一种铝合金溅射及其热压制备方法

[发明专利]一种镍钒残靶回收镍钒合金铸锭的熔炼方法-CN202210916770.5在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;周友平;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-08-01 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： C22B9/22 文献下载
摘要：本发明提供了一种镍钒残靶回收镍钒合金铸锭的熔炼方法，所述熔炼方法先将镍钒残靶通过脱焊去除背板以及焊料得到镍钒回收靶坯，再依次进行剪切、酸洗与干燥，得到镍钒回收料，最后进行电子束熔炼，控制滴熔速度为1‑2滴/s，拉锭速度为3‑5mm/min，依次进行冷却与扒皮，得到镍钒合金铸锭。本发明所述熔炼方法可以得到内部无缺陷的镍钒合金铸锭，将得到的镍钒合金铸锭作为原料再用来制作镍钒合金靶坯，有效解决金属材料回收问题，使得金属资源重新再利用。
一种镍钒残靶回收合金铸锭熔炼方法

[发明专利]一种去除电解镍表面氧化物的方法-CN202210803657.6在审
发明人：姚力军;潘杰;黄东长;王学泽 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-07-07 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： C23G1/10 文献下载
摘要：本发明提供了一种去除电解镍表面氧化物的方法，所述去除电解镍表面氧化物的方法包括如下步骤：将待处理的电解镍依次经过酸洗、水洗以及干燥后得到去除表面氧化物的电解镍；所述酸洗中使用的酸洗剂包括硝酸和/或盐酸。本发明提供的去除电解镍表面氧化物的方法采用浓度较低的酸液就可以完全去除电解镍表面的氧化物，安全系数更高；没有使用浓硝酸和/或氢氟酸，相对来说对环境更加友好。
一种去除电解表面氧化物方法

[发明专利]一种三元金属氧化物陶瓷靶材及其制备方法-CN202210877198.6在审
发明人：姚力军;潘杰;黄东长;王学泽 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-07-25 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： C04B35/453 文献下载
摘要：本发明提供了一种三元金属陶瓷靶材及其制备方法，所述三元金属陶瓷靶材以质量百分比计包括：氧化锌为80‑85wt％，氧化镁为13‑15wt％，氧化镓为2‑5wt％；所述氧化锌、氧化镁和氧化镓的总质量百分数为100wt％。所述制备方法包括：(1)混合氧化锌、氧化镁以及氧化镓后得到混合粉末；(2)将步骤(1)所得混合粉末依次进行装模、真空热压烧结以及冷却后得到靶材坯件；(3)将步骤(2)所得靶材坯件依次经过焊接以及后处理后得到所述三元金属氧化物陶瓷靶材。本发明提供的三元金属氧化物陶瓷靶材通过调控金属氧化物的含量及比例满足了新一代太阳能光伏薄膜电池的要求。
一种三元金属氧化物陶瓷及其制备方法

[发明专利]一种WTi合金溅射靶材的制备方法-CN202010953981.7有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种WTi合金溅射靶材的制备方法，所述制备方法包括：将W粉、高纯Ti粉和低纯Ti粉放入不锈钢内衬混粉机中进行混合，然后装入模具并封口；依次经过热压烧结处理、机加工得到WTi合金溅射靶材。所述制备方法采用现有技术易得的原材料粉末，一方面，经过高低两种纯度Ti粉的配比，在保证一定Fe含量的同时，有效保证了Ti粉总纯度处于较高水平，另一方面，创造性地采用不锈钢内衬混粉机进一步补充Fe元素，不仅可以精准控制WTi合金溅射靶材中Fe含量为30‑50ppm，还可以保证WTi合金溅射靶材的纯度≥99.99％；此外，所述制备方法具有原料易得、成本低、操作简单、便于推广的优点。
一种 wti 合金溅射制备方法

[发明专利]一种钨钛硅合金溅射靶材及其制备方法-CN202010955989.7有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种钨钛硅合金溅射靶材及其制备方法，所述制备方法包括如下步骤：(1)将钨粉、钛粉与硅粉按照质量比例混合均匀，得到钨钛硅混合粉；(2)将所述钨钛硅混合粉装入模具并封口；(3)在1280～1320℃下进行热压烧结处理，得到钨钛硅合金溅射靶材粗品；(4)将所述钨钛硅合金溅射靶材粗品进行机加工，得到钨钛硅合金溅射靶材。本发明所述制备方法基于对W‑Ti‑Si三元合金体系的研究，采用热压烧结工艺并控制热压烧结的温度为1280～1320℃，不仅可以制备得到致密度＞99％且内部组织结构均匀的钨钛硅合金溅射靶材，还可以降低能耗和成本，具有流程较短、操作简单的优点，适合大规模推广。
一种钨钛硅合金溅射及其制备方法

[发明专利]一种三层结构陶瓷靶材焊接的方法-CN202210665992.4在审
发明人：姚力军;潘杰;王学泽;杨慧珍;廖培君;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2022-06-13 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B23K3/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种三层结构陶瓷靶材焊接的方法，所述方法包括以下步骤：(1)在加热条件下，对组件进行第一浸润，所述组件包括陶瓷靶坯、金属中间层和陶瓷背板；(2)所述组件的第一浸润完成后，以陶瓷背板为焊料熔池，金属中间层扣合至陶瓷背板上，并对金属中间层的边缘施加压力，扣合完成后补充焊料，使得焊料的液面高度大于金属中间层，对金属中间层进行第二浸润；(3)所述金属中间层的第二浸润完成后，陶瓷靶坯扣合至金属中间层上，并对陶瓷靶坯施加压力，扣合完成后整体冷却，得到所述三层结构陶瓷靶材；所述方法通过改进传统钎焊，在确保陶瓷和金属复合靶材的焊接合格率的前提下有效降低了生产成本。
一种三层结构陶瓷焊接方法

[发明专利]一种镍铬合金溅射靶材及其热压制备方法-CN202110349671.9有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本发明涉及一种镍铬合金溅射靶材及其热压制备方法，包括如下步骤：(1)准备Cr含量为30～80wt％的镍铬合金粉，装入模具并封口；(2)将封口后的模具进行热压烧结处理；(3)将得到的镍铬合金烧结体进行机加工，得到镍铬合金溅射靶材。本发明所述热压制备方法采用热压烧结工艺，不仅可以制备得到致密度≥99％、晶粒尺寸细小、内部结构均匀的高铬含量的镍铬合金溅射靶材，还可以保证镍铬合金溅射靶材的磁通量≥99％，符合半导体等高精端产业的溅射要求。
一种合金溅射及其热压制备方法

[发明专利]一种镍铬合金溅射靶材及其热等静压制备方法-CN202110349682.7有效
发明人：姚力军;边逸军;潘杰;王学泽;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2021-03-31 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明涉及一种镍铬合金溅射靶材及其热等静压制备方法，所述热等静压制备方法包括：先准备Cr含量为30‑80wt％的镍铬合金粉，装入模具并封口；然后依次进行脱气处理、热等静压处理以及机加工，得到镍铬合金溅射靶材。本发明所述热等静压制备方法采用热等静压工艺，不仅可以制备得到致密度≥99％、晶粒尺寸细小、内部结构均匀的高铬含量的镍铬合金溅射靶材，还可以保证镍铬合金溅射靶材的磁通量≥99％，符合半导体等高精端产业的溅射要求。
一种合金溅射及其静压制备方法

[发明专利]一种钨钛混粉方法-CN202010190864.X有效
发明人：姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;黄东长 -专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
申请日： 2020-03-18 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： B22F9/04 文献下载
摘要：本发明提供一种钨钛混粉方法，所述方法通过将钨粉分多批投入钛粉中进行至少多次混粉过程，使钨粉和钛粉混合均匀，尤其针对W‑10％Ti以下的钨钛的靶材，解决了钨钛靶材中的花斑问题，提高了钨钛靶材的合格率，具有较高的工业应用价值。
一种钨钛混粉方法