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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]洗净装置以及洗净方法-CN201080020516.2有效
发明人： 鹿田延秀;泉孝宪 -专利权人：村田机械株式会社
申请日： 2010-04-13 - 公布日： 2012-04-18 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：在洗净装置中缩短洗净动作时间。开盒器(21)是用于向具有盒罩(5)和开闭自如的底盖(7)的中间掩模盒(1)内供给清洁气体以及从中排出而进行洗净的装置，并具备载物台(25)、升降驱动机构(41)、锁机构(13)、以及给排部(49)。载物台(25)能够将底盖(7)从盒罩(5)上卸下以及将其安装于盒罩(5)。升降驱动机构(41)能够移动载物台(25)。锁机构(13)使锁部件(15)动作，该锁部件(15)将底盖(7)不能脱落地固定于盒罩(5)以及解除固定。给排部(49)在完成锁部件(15)将底盖(7)固定于盒罩(5)的动作之前，开始进行洗净。
洗净装置以及方法

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