专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]微纳器件三维缺陷快速检测装置和方法-CN202210834881.1在审
  • 屈玉福;王昊静;彭仁举;魏双凤;张湛舸;任佳俊 - 北京航空航天大学
  • 2022-07-15 - 2022-10-21 - G01N21/88
  • 本发明提供了一种光学量测领域的微纳器件三维缺陷快速检测装置和方法。该装置和方法基于通焦扫描光学显微成像(TSOM)原理,具体涉及一种无机械轴向扫描的TSOM装置和快速量测几何尺寸、检测缺陷的TSOM方法。该TSOM装置利用色散物镜与衍射光栅组合,实现光学轴向扫描代替机械轴向扫描,在提高工作速度的同时,充分利用成像系统的光通量,解决了机械扫描带来的侧向偏移和振动干扰的影响。该方法建立了TSOM装置中成像系统的放大率、不同波长的光在探测器表面位置、以及光谱带宽等参数与系统元件参数的关系式,可通过调整系统元件参数以满足量测需求,保留了显微检测视场大的优点,工作速度快,适合在线检测和大批量生产应用。
  • 器件三维缺陷快速检测装置方法

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