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- [发明专利]基板清洗系统-CN01118479.5无效
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大藏领一;小野祐司;山口弘;高石美雪;上川内秀夫
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S.E.S.株式会社
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2001-06-01
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2003-01-08
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H01L21/304
- 一种基板清洗系统在以可密封的方式形成的装置主体1的内部,设置有装卸室A,该装卸室由清洗处理前的晶片W进行送入等待的基板送入部Aa和清洗处理后的晶片进行送出等待的基板送出部Ab构成;处理室C,该处理室C具有逐张地对晶片W进行清洗处理的两个单张式的基板清洗腔10机器人室B,该机器人室B具有在上述两个室A,C之间逐张地输送晶片W的输送机器人70,这些室A,B,C按照具有必要的最小程度的开口面积的隔壁2,3,分隔形成。
- 清洗系统
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