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[发明专利]一种高精度微流量气体控制装置和标定方法-CN202211542525.9在审
发明人：贺建武;马隆飞;杨超;康琦;段俐;尹永利 -专利权人：中国科学院力学研究所
申请日： 2022-12-03 - 公布日： 2023-05-23 - 主分类号： G05D7/01 文献下载
摘要：本发明公开了一种高精度微流量气体控制装置和标定方法，其特点是：主气路供气模块、近端两支气路供气模块、远端两支气路供气模块分别设有独立的限流器、以及独立的气容，限流器能够实现0.01sccm气体流量控制，气容专门针对卫星推进系统点火工作环节而设置；卸压与标定模块借助标准流量控制器和传感器对整个控制装置的气体流量进行标定，达到0.01scm的误差；该方法包括在真空环境下，分别设定流量控制器气体流量；通过电磁阀a将气体通入主气路中，直至压力传感器Pb测得的主气路气容压力稳定，此时的主气路气容压力值与四个分支气路的设定气体流量值相对应；本发明解决了现有技术采用常规的电磁阀控制供气的方法达不到所要求的0.01sccm以内的气体流量精度控制问题。
一种高精度流量气体控制装置标定方法

[发明专利]一种基于Roberval平衡结构的微推力测量装置-CN202310007648.0在审
发明人：贺建武;杨超;马隆飞;康琦;段俐;章楚 -专利权人：中国科学院力学研究所
申请日： 2023-01-04 - 公布日： 2023-05-16 - 主分类号： G01L5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于Roberval平衡结构的微推力测量装置，该装置包括扭摆型测量机构、位移传感器、标准力标定装置、水平底座及防尘罩、以及测控子系统5；该扭摆型测量机构包括平行四边形测量台架、限位机构与阻尼器、以及配重机构；在该平行四边形测量台架的一条侧边联动杆的上表面安装有推力器安装台，该推力器安装台上分别装有推力器、位移传感器、标准力标定装置，推力器的推力方向为沿着联动杆的长度方向；本发明有效消除了推力器力臂测量误差、标准力力臂测量误差和传感器位置测量误差，提高了测量精度；位移测量表现为一维位移测量模式，提高了推力测量系统线性度；仅需调节扭摆一维质心位置，简化了推力器装配和调试过程。
一种基于 roberval 平衡结构推力测量装置

[发明专利]一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器-CN201611160348.2有效
发明人：贺建武;康琦;段俐;胡良;马隆飞;薛森文 -专利权人：中国科学院力学研究所
申请日： 2016-12-15 - 公布日： 2019-03-05 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明提供了一种分辨力为微牛级的半椭球型射频离子微推力器，包括：电离室、射频天线、进气系统、屏蔽罩、离子光学系统、电缆夹头；所述电离室为半椭球形,电离室入口连接进气系统，出口连接所述离子光学系统；所述屏蔽罩位于电离室外面；射频天线通上射频电流，用于在所述电离室内产生涡流电场，所述电缆夹头固定在所述屏蔽罩上。本发明具有下列技术效果：1、电离室设计成半椭球形，有效降低离子生成能；2、射频天线绕制在半椭球形电离室外侧，采用LC谐振及调频技术实现阻抗匹配；3、设计前置气体分配器，相较于后置气体分配器，可有效提高气体电离效率及等离子体均匀度。
一种分辨力微牛级椭球射频离子推力