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[发明专利]CP探针机及其调节方法-CN201910492031.6在审
发明人：王厚农;李彦勋;顾雯霞;罗世凯 -专利权人：中芯长电半导体（江阴）有限公司
申请日： 2019-06-06 - 公布日： 2020-12-08 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本发明提供一种CP探针机及其调节方法，CP探针机包括晶圆承载台；至少两个高度调节装置，高度调节装置与晶圆承载台相接触；支撑件，支撑件与晶圆承载台活动连接，通过支撑件支撑晶圆承载台，且支撑件位于高度调节装置之间；控制器，控制器与高度调节装置电连接，通过控制器调节高度调节装置的高度，以调节晶圆承载台的水平位置。本发明可实现对晶圆承载台的水平位置的调节，从而使得CP探针机可自动检测及校正探针卡与晶圆承载台之间的相互水平位置，提高生产效率、提高CP测试结果准确性、提高产品质量、降低成本，并提高了CP探针机的适用性。
cp 探针及其调节方法

[实用新型]CP探针机-CN201920859032.5有效
发明人：王厚农;李彦勋;顾雯霞;罗世凯 -专利权人：中芯长电半导体(江阴)有限公司
申请日： 2019-06-06 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： H01L21/66 文献下载
摘要：本实用新型提供一种CP探针机，CP探针机包括晶圆承载台；至少两个高度调节装置，高度调节装置与晶圆承载台相接触；支撑件，支撑件与晶圆承载台活动连接，通过支撑件支撑晶圆承载台，且支撑件位于高度调节装置之间；控制器，控制器与高度调节装置电连接，通过控制器调节高度调节装置的高度，以调节晶圆承载台的水平位置。本实用新型可实现对晶圆承载台的水平位置的调节，从而使得CP探针机可自动检测及校正探针卡与晶圆承载台之间的相互水平位置，提高生产效率、提高CP测试结果准确性、提高产品质量、降低成本，并提高了CP探针机的适用性。
晶圆承载台高度调节装置探针机支撑件本实用新型控制器控制器调节活动连接生产效率自动检测电连接探针卡校正支撑