“陈逵”申请（专利权）人搜索_中国专利权人_发明人_技术持有人_科研专家_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果75个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]一种EPI外延工艺燃烧一体化尾气净化处理设备-CN202310754241.4在审
发明人：陈逵;金大正 -专利权人：常州诚鉺正环保技术有限公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-10-03 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本申请涉及一种EPI外延工艺燃烧一体化尾气净化处理设备，属于尾气净化技术领域，其包括进料管、冲洗组件、水解箱、水解喷淋组件、加热塔、冷却水箱和冷却塔，进料管用于通入尾气，冲洗组件用于对管内壁进行冲洗；进料管与水解箱连通，水解箱内设有清水，水解喷淋组件用于向水解箱喷淋，加热塔与水解箱连通，冷却水箱、加热塔和冷却塔均连通，氢气从水解箱移动至加热塔后经加热达到燃点，冷却塔对经燃烧后的氢气进行降温，冷却水箱内设有冷却循环组件，冷却循环组件用于实现加热塔、冷却水箱以及冷却塔之间的水循环，当设备运行时内部为负压状态。本申请具有降低设备堵塞的可能性，保障对尾气进行净化处理时设备的运行稳定性以及使用安全性的有益效果。
一种 epi 外延工艺燃烧一体化尾气净化处理设备

[发明专利]一种EPI外延工艺用尾气净化设备-CN202310753352.3在审
发明人：陈逵;金大正 -专利权人：常州诚鉺正环保技术有限公司
申请日： 2023-06-25 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本申请涉及一种EPI外延工艺用尾气净化设备，属于硅外延工艺技术领域，其包括机架、一级水解箱、第一出水管、回水管、进料管、连接管和冲洗组件，机架上设有循环泵；一级水解箱内充满清水，一级水解箱上连通有出气管，净化后的尾气通过出气管排出；第一出水管和回水管均与循环泵连通，第一出水管用于向一级水解箱内喷淋，回水管与一级水解箱连通；进料管与连接管连通，连接管远离进料管的一端与一级水解箱连通；冲洗组件用于对管道内壁进行冲洗；设备运行时内部整体处于负压状态。本申请具有降低二氧化硅粉末沾附并堆积于处理设备内的可能性，降低由于粉末堆积对设备造成的损害，进而延长设备使用寿命的有益效果。
一种 epi 外延工艺尾气净化设备

[实用新型]一种碳化硅外延工艺尾气处理设备用预热点火装置-CN202223601356.X有效
发明人：陈逵;周育呈;金大正 -专利权人：常州诚鉺正环保技术有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本申请涉及一种碳化硅外延工艺尾气处理设备用预热点火装置，属于碳化硅外延工艺领域，其包括预热炉和燃烧炉，所述燃烧炉设置于所述预热炉底部并与预热炉相连通，所述预热炉与所述燃烧炉的连接处设置有点火组件；所述预热炉内设置有温控机构，所述温控机构包括对尾气加热的加热组件，以及保护预热炉的隔热组件；所述预热炉顶部设置有用于输入尾气的进气口，所述进气口处还设置有用于对尾气预热时进行保护的保护气体管道；所述预热炉和燃烧炉内为负压状态。本申请具有提高处理尾气时的安全程度的效果。
一种碳化硅外延工艺尾气处理备用预热点火装置

[实用新型]一种碳化硅外延工艺尾气处理设备用循环换热系统-CN202223601463.2有效
发明人：陈逵;周育呈;金大正 -专利权人：常州诚鉺正环保技术有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-07-21 - 主分类号： F27D17/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种碳化硅外延工艺尾气处理设备用循环换热系统，属于尾气处理领域，其包括设置在机架上并与燃烧箱体体和喷淋箱体相连通的循环水箱，机架上设有循环换热组件，循环换热组件包括循环件和换热件，换热件设置在机架上，循环件的一端与换热件相连通、另一端与燃烧箱体和喷淋箱体相连通，换热件与循环水箱之间通过循环水泵相连通。操作人员启动循环水泵，循环水泵将循环水箱中的水抽取至换热件中进行换热，换热后再通过循环件重新通入循环水箱中，一方面减少了水资源的浪费，另一方面使得循环水箱中的水温不易过高而影响循环水箱中的水熄灭燃烧的尾气，从而提高了尾气处理设备处理尾气的效率。
一种碳化硅外延工艺尾气处理备用循环系统

[实用新型]一种EPI外延工艺尾气处理设备用管道清理装置-CN202223601591.7有效
发明人：陈逵;周育呈;金大正 -专利权人：常州诚鉺正环保技术有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-09 - 主分类号： B08B9/053 文献下载
摘要：本申请涉及一种EPI外延工艺尾气处理设备用管道清理装置，属于硅外延设备的领域，其包括进料管、反应管和水解箱，进料管供三氯硅烷进入，进料管与反应管连通，反应管与水解箱连通，水解箱上设有出料管和出气管，出料管供二氧化硅粉末排出，出气管供氢气排出，反应管的管口处设有控制件和滑动盘，滑动盘位于反应管内滑动，滑动盘的滑动方向与反应管的长度方向一致，滑动盘的周面上设置有弹性件，弹性件与反应管的内壁抵接，控制件用于控制滑动盘的滑动。本申请在工作时，三氯硅烷水解产生的部分二氧化硅粉末吸附于反应管的内壁上，控制控制气缸使活塞杆控制滑动盘位于反应管内的滑动，使吸附于反应管内壁上的二氧化硅粉末脱落。
一种 epi 外延工艺尾气处理备用管道清理装置

[实用新型]碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置-CN202223598563.4有效
发明人：陈逵;周育呈;金大正 -专利权人：常州诚鉺正环保技术有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： F28D7/10 文献下载
摘要：本申请涉及碳化硅外延工艺尾气处理设备用旋流溢流气体降温装置，其包括外筒以及内筒，内筒位于外筒内，内筒的外筒壁与外筒的内筒壁围设出空腔，外筒上设置有进水管，内筒侧壁上连接有出气管，内筒以及出气管用于供气体流经。本申请具有可对高温气体进行降温的效果。
碳化硅外延工艺尾气处理备用流溢流气降温装置

[实用新型]一种碳化硅外延工艺尾气处理加热设备用燃烧装置-CN202223601693.9有效
发明人：陈逵;周育呈;金大正 -专利权人：常州诚鉺正环保技术有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-30 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本申请涉及碳化硅外延的领域，尤其是涉及一种碳化硅外延工艺尾气处理加热设备用燃烧装置，其包括处理筒，处理筒的顶部连通有尾气进入管和助燃气体进入管，助燃气体进入管位于处理筒的侧边，处理筒的底部连通有排气管，处理筒内为负压状态，处理筒的筒壁内设有导流腔室，导流腔室呈环状设置且与过渡筒体同轴设置，助燃气体进入管和导流腔室连通，导流腔室的内壁上沿处理筒的周向开设有一圈限流孔，限流孔贯穿处理筒的内壁，限流孔和处理筒的内部连通，限流孔和助燃气体进入管连通。本申请具有提高尾气燃烧充分性的效果。
一种碳化硅外延工艺尾气处理加热备用燃烧装置

[发明专利]一种碳化硅外延工艺用尾气处理设备-CN202211731260.7在审
发明人：陈逵;周育呈;金大正 -专利权人：常州诚鉺正环保技术有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-05-02 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本申请涉及碳化硅外延工艺的领域，尤其是涉及一种碳化硅外延工艺用尾气处理设备，其包括加热筒、水箱和喷淋塔，水箱一侧的顶部和加热筒连通，水箱另一侧的顶部和喷淋塔连通，加热筒的进气口到喷淋塔的排气口之间为负压状态，加热筒包括预热筒体、过渡筒体和燃烧筒体，预热筒体将气体预热至燃点，预热筒体位于过渡筒体的上方，燃烧筒体位于过渡筒体的下方，预热筒体和加热筒的进气口连通，预热筒体、过渡筒体和燃烧筒体依次连通，水箱和燃烧筒体连通，加热筒的顶部连通有第一压缩空气进入管和第一氮气进入管，第一压缩空气进入管、第一氮气进入管均和预热筒体连通，过渡筒体上连通有第二压缩空气进入管。本申请具有提高尾气处理设备安全性的效果。
一种碳化硅外延工艺尾气处理设备

[发明专利]一种EPI外延工艺用尾气净化设备-CN202211731245.2在审
发明人：陈逵;周育呈;金大正 -专利权人：常州诚鉺正环保技术有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-04 - 主分类号： B01D53/78 文献下载
摘要：本申请涉及硅外延工艺的领域，尤其是涉及一种EPI外延工艺用尾气净化设备，其包括加热筒、水箱和喷淋塔，水箱一侧的顶部和加热筒连通，水箱另一侧的顶部和喷淋塔连通，加热筒的进气口到喷淋塔的排气口之间为负压状态，还包括水解装置，水解装置包括水解箱，水解箱内喷淋设置，水解箱上开设有进气孔，水解箱一侧的顶部连通有流通管，流通管远离水解箱的一端和加热筒连通，水解箱的底部连通有溢水管。本申请具有改善尾气处理过程对尾气处理设备产生的损坏的效果。
一种 epi 外延工艺尾气净化设备

[发明专利]一种含氟气体用吸附剂及其制备方法-CN202210590833.2在审
发明人：陈逵;金大正;周育呈 -专利权人：常州诚鉺正环保技术有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-08-30 - 主分类号： B01J20/08 文献下载
摘要：本申请涉及吸附剂的领域，具体公开了一种含氟气体用吸附剂及其制备方法。一种含氟气体用吸附剂，包括以下重量份物质：40‑90份活性组分、10‑60份稳定剂、0‑0.3份催化剂和0‑0.4份调节剂，所述活性组分包括氧化铝粉末和拟薄水铝石，对所述拟薄水铝石进行水掺杂处理；其制备方法为：S1、水掺杂处理；S2、干法混合；S3、湿法混合；S4、吸附剂制备。本申请的吸附剂可用于吸附CF4、SF6、C4F6等含氟气体，其具有高效催化活性、催化温度适宜的优点。
一种氟气体用吸附剂及其制备方法

[发明专利]一种砷烷磷烷特气吸附剂及其制备方法-CN202210584093.1在审
发明人：陈逵;金大正;周育呈 -专利权人：常州诚鉺正环保技术有限公司
申请日： 2022-05-25 - 公布日： 2022-08-09 - 主分类号： B01J20/20 文献下载
摘要：本申请涉及废气吸附剂技术领域，具体公开了一种砷烷磷烷特气吸附剂及其制备方法，其包括组分A和组分B，所述组分A与组分B的体积比为1：（0.1‑0.3）；所述组分A包括如下重量百分含量的原料：纳米活性氧化铜、活性氧化铝和二氧化硅；所述纳米活性氧化铜的比表面积大于100m2/g；所述纳米活性氧化铜的比表面积大于100m2/g；所述组分B为铝溶胶。本申请得到的废气吸附剂的砷烷磷烷特气吸附剂的比表面积、孔隙体积最高分别为120m2/g、0.50cm3/g，具有较高的比表面积和孔隙体积；对砷烷和磷烷的吸附容量最高分别为67L/L、117L/L，提高了砷烷磷烷特气吸附剂吸附砷烷和磷烷的能力。
一种砷烷磷烷特气吸附剂及其制备方法

[实用新型]一种MOCVD尾气净化处理装置的二次水箱循环冷却结构-CN202123161508.4有效
发明人：陈逵;金大正;周育呈 -专利权人：常州诚鉺正环保技术有限公司
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2022-06-10 - 主分类号： F28D7/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种MOCVD尾气净化处理装置的二次水箱循环冷却结构，涉及废气处理技术领域，为了解决氨气处理时，排出的高温氮气，易与空气中的氢气发生反应再次产生氨气的问题，其包括两个箱体，两个所述箱体连通，其中一个所述箱体一侧设置有废气处理装置，另一个所述箱体上连通设置有出气管；两个所述箱体内设置有换热器，所述换热器包括循环管体和壳体，所述循环管体位于壳体内；所述壳体上设置有与循环管体连通的进水管和出水管，所述箱体下方设置有水箱，其中一个所述箱体的进水管与水箱连通，且出水管与另一个箱体的进水管连通；另一个所述箱体的出水管与水箱连通。本申请具有减少氮气排出后与氢气反应产生氨气的情况的效果。
一种 mocvd 尾气净化处理装置二次水箱循环冷却结构

[实用新型]MOCVD尾气净化处理装置-CN202123170257.6有效
发明人：陈逵;金大正;周育呈 -专利权人：常州诚鉺正环保技术有限公司
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： F23G7/06 文献下载
摘要：本申请涉及MOCVD尾气净化处理装置，涉及废气处理技术领域，为了解决电子设备生产剩余废气无法直接排放，污染性强的问题。其包括处理台，所述处理台内开设有容纳腔，所述处理台侧壁设置有控制板，所述容纳腔内设置有用于对废气进行分段处理的燃烧组件和用于对燃烧产物进行多次冷却的水冷组件，所述燃烧组件连接有用于输送废气的输送管，所述燃烧组件和水冷组件通过管道相连通，控制板与燃烧组件和水冷组件电性连接。本申请具有将电子设备生产所剩余的废气进行处理，达标后再进行排放，保护环境，减小污染的效果。
mocvd 尾气净化处理装置

[实用新型]高温裂解吸附一体净化设备的移动保温结构-CN202123153301.2有效
发明人：陈逵;金大正;周育呈 -专利权人：常州诚鉺正环保技术有限公司
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B01D53/86 文献下载
摘要：本申请涉及高温裂解吸附一体净化设备的移动保温结构，涉及废气处理技术领域，为了解决罐体搬运出现倾倒造成有害气体渗出的问题，其包括罐体，所述罐体的底部设置有滑移机构，所述滑移机构包括底板、若干万向轮和若干立柱，所述底板设置于罐体的底部，若干所述立柱连接在底板靠近罐体的一侧，若干所述立柱之间围成供罐体放置的区域，若干所述万向轮均设置于底板远离罐体的一侧，若干所述万向轮抵接在地面上。本申请具有提高操作人员安全性的效果。
高温裂解吸附一体净化设备移动保温结构

[实用新型]一种高温裂解吸附一体净化设备-CN202123169671.5有效
发明人：陈逵;金大正;周育呈 -专利权人：常州诚鉺正环保技术有限公司
申请日： 2021-12-15 - 公布日： 2022-05-13 - 主分类号： B01D53/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种高温裂解吸附一体净化设备，涉及废气处理技术领域，为了解决气瓶内残存气体会对环境造成破坏，影响人体健康的问题。其包括工作箱，所述工作箱转动连接有开合门，所述开合门上设置有控制板，所述工作箱内放置有气瓶，所述气瓶下端连接有输气管，所述输气管向上弯折且与工作箱底壁相连接，所述输气管背离气瓶的一端朝向下方设置，所述输气管背离气瓶的一端连接有用于处理废气的分解组件，所述分解组件设置于工作箱内，所述分解组件上插设有用于排放气体的排气管，所述分解组件与控制板电性连接。本申请具有将气瓶内的氟化物进行高温裂解再吸附，将其污染性降低，保护环境和人体健康的效果。
一种高温裂解吸附一体净化设备

1
2
3
4
5
下一页»
尾页
共 75 条