专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种高精度金属化掩膜装置-CN202210832479.X在审
  • 许冰石;都军民;耿昊;张勇;苟学科;李根松;陈少熙;吴立周 - 中国船舶重工集团公司第七一三研究所
  • 2022-07-15 - 2022-11-08 - C23C14/24
  • 本发明公开一种高精度金属化掩膜装置,包括支撑框架和掩膜板,所述支撑框架包括外边框,外边框内设置支撑板,支撑板中心镂空,所述支撑框架以支撑板为对称轴上下对称;所述掩膜板为两个,掩膜板上设置多组间隔分布的掩膜孔,两个掩膜板上的掩膜孔形状及尺寸相适应,掩膜板通过紧固件固定在支撑框架内的支撑板上;所述掩膜孔的截面形状为梯形,梯形的顶角α为90°‑150°。通过把支撑框架设计成上下对称结构,支撑框架内通过双层掩膜板夹持基膜,某面基膜蒸镀完成后,直接翻转支撑框架即可进行另一面蒸镀,无需拆卸,避免掩膜板及预金属化基膜在与支撑框架进行手动分离过程出现错位等问题,保证了位置精度和尺寸精度,避免预金属化基膜发生变形。
  • 一种高精度金属化装置

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