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- [实用新型]一种多环磁控溅射靶源-CN201922427568.2有效
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陆伟华;邵玮
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南通纳瑞纳米科技有限公司
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2019-12-29
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2020-08-25
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C23C14/35
- 本实用新型公开了一种多环磁控溅射靶源,包括第一磁体和靶材,所述第一磁体的外侧安置有第二磁体,且第二磁体的外侧设置有第三磁体,所述第三磁体的外侧安置有第四磁体,且第四磁体的上方连接有冷却水套,所述冷却水套的上方安装有冷却室,且冷却室的上方连接有靶垫,所述靶材安置于靶垫的上方,所述第一磁体的下方安装有磁极板,且磁极板的下方连接有座板,所述座板的下方安装有连接板,且连接板的右下角连接有水管,所述连接板的下方外侧安装有下端盖,且连接板的上方外侧连接有外壳,所述外壳的内部设置有气体存储环,且气体存储环的相邻之间连接有气道。该多环磁控溅射靶源有效增大了形成的有效溅射环的总面积,大大提高了靶材的利用率。
- 一种磁控溅射
- [实用新型]一种真空三维位移平台-CN202020216098.5有效
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邵玮;陆伟华
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南通纳瑞纳米科技有限公司
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2020-02-26
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2020-08-14
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G05B19/19
- 本实用新型公开了一种真空三维位移平台,包括下法兰、X方向螺母座、Y方向螺母座和X向活动块,所述下法兰的上方设置有波纹管,且波纹管的外侧连接有Y向固定法兰,所述Y向固定法兰的上方连接有连接块,所述连接块的左侧设置有Y向固定块,且Y向固定块的正面安置有Y向活动块,所述Y向活动块的上侧安装有X方向固定块,且X方向固定块的X方向活动块,所述Z向轴承座的内侧表面镶嵌有Z向卡簧,且Z向轴承的上方设置有Z向第二螺母,所述Z向轴承的内侧设置有Z向调节丝杆,且Z向调节丝杆的顶侧末端固定有Z向手轮。设置有Z向轴承座与Z向固定块,能够让其加装在有需要位置调节需求的两个真空部件中间,且使其达到三维位移调节的功能。
- 一种真空三维位移平台
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