专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种大畴区石墨烯单晶的制备方法-CN202110138724.2有效
  • 阎睿;唐际琳;杜音;王雅妮;曹轶森;彭海琳;刘忠范 - 北京石墨烯研究院;北京大学
  • 2021-02-01 - 2023-08-29 - C30B29/02
  • 本申请提供一种大畴区石墨烯单晶的制备方法,其包括如下步骤:1)在微量氧化气氛对蓝宝石/金属基底进行退火;2)按照生长气体比例梯度增加的方式提供生长气体,在所述蓝宝石/金属基底上生长得到所述大畴区石墨烯单晶。本发明采用在单晶金属/蓝宝石晶圆基底上利用“外延+取向一致拼接”的方法制备单晶石墨烯薄膜,并且通过“微氧钝化退火+梯度供气”的方式,克服了在拼接过程中会出现的一定程度的转角或者缺陷,使得制得的单晶石墨烯薄膜更加完美,大大提高了所得石墨烯膜的品质,并且所得的石墨烯呈单晶形式,且所得石墨烯单晶畴区尺寸大,畴区尺寸数倍于常规方法得到的石墨烯单晶。
  • 一种大畴区石墨烯单晶制备方法
  • [发明专利]金属晶圆及其制备方法-CN202111185707.0在审
  • 杜音;阎睿;唐际琳;曹轶森;杨雨佳;彭海琳 - 北京石墨烯研究院;北京大学
  • 2021-10-12 - 2023-04-14 - C23C14/35
  • 本发明提供一种金属晶圆基底的制备方法,包括:在蓝宝石基底通过磁控溅射形成所述金属薄膜,进行所述磁控溅射时所述蓝宝石基底的温度保持在50℃以下。还提供该方法制备的金属晶圆。本发明的制备方法,提高了金属晶圆退火后的单晶化程度,并且解决了基底产生孪晶及缺陷问题,为下一步生长优质石墨烯打下基础。同时,由于溅射过程都在常温进行,不需要在溅射结束后,降低温度至常温才能打开磁控溅射腔室,避免了晶圆容易氧化的问题。并且,降低了溅射一片晶圆所需的时间,提高了生产效率。
  • 金属及其制备方法
  • [发明专利]金属基底及其制备方法-CN202111185471.0在审
  • 杜音;阎睿;唐际琳;曹轶森;杨雨佳;彭海琳 - 北京石墨烯研究院;北京大学
  • 2021-10-12 - 2023-04-14 - C23C14/18
  • 本发明提供一种金属基底的制备方法,包括:在蓝宝石基底上通过磁控溅射制备金属基底,进行所述磁控溅射时所述蓝宝石基底进行自转,所述自转的转速为30~50转/分钟。还公开该方法制备的金属基底。本发明的金属基底的制备方法,通过磁控溅射这一物理气相沉积制备,在蓝宝石基底上溅射过程中,保持蓝宝石以一定转速自转,可以提高溅射制备的金属基底与蓝宝石的附着力,从而减少或避免退火过程中金属挥发产生孔洞。更进一步,通过选择特定的磁控溅射功率,进一步提高金属基底与蓝宝石的附着力,从而防止退火时产生孔洞。
  • 金属基底及其制备方法
  • [发明专利]背板、制备方法及显示装置-CN202211061021.5在审
  • 赵梦;王超璐;关峰;杜建华;吕杨;吴昊;阎睿 - 京东方科技集团股份有限公司
  • 2022-08-31 - 2022-11-25 - H01L27/12
  • 本公开的实施例提供了一种背板、制备方法及显示装置,涉及显示技术领域,用于提高背板驱动的显示装置的分辨率。该背板包括绝缘层、第一薄膜晶体管与第一薄膜晶体管。所述绝缘层具有相互平行且不共面的第一表面与第二表面,以及连接所述第一表面与所述第二表面的连接侧面。所述第一薄膜晶体管包括位于所述第一表面的第一有源层;所述第二薄膜晶体管包括位于所述第二表面的第二有源层。其中,所述第一有源层和所述第二有源层均靠近所述连接侧面设置;在向所述第一表面的正投影中,所述第一有源层和所述第二有源层之间的间距小于2.5μm。上述背板用于显示图像。
  • 背板制备方法显示装置
  • [发明专利]单晶晶圆石墨烯薄膜的转移方法-CN202110213872.6在审
  • 彭海琳;胡兆宁;郑黎明;林立;高欣;王茗;阎睿;蔡阿利;谢芹;刘忠范 - 北京石墨烯研究院;北京大学
  • 2021-02-25 - 2022-08-30 - C01B32/194
  • 本发明公开一种单晶晶圆石墨烯薄膜的转移方法,包括:在直接生长于生长基底上的单晶晶圆石墨烯薄膜表面依次形成萜类小分子层、辅助支撑层并贴合热释放胶带,得到复合层;采用鼓泡剥离法将生长基底分离;待复合层干燥后,将其贴合到目标衬底;以及除去复合层中的热释放胶带和各胶层。本发明的单晶晶圆石墨烯薄膜的转移方法,通过构筑“热释放胶带/辅助支撑层辅助支撑层/萜类小分子层/单晶晶圆石墨烯薄膜/生长基底”的分层结构,基于鼓泡剥离法可以在数分钟之内与生长基底剥离,可以避免鼓泡过程对晶圆石墨烯薄膜的损坏;并且鼓泡剥离法不会损伤生长基底,生长基底可重复使用,可大幅降低生产成本。本发明的转移方法兼容石墨烯的层层转移。
  • 单晶晶圆石薄膜转移方法

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