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[发明专利]距离传感器及距离图像传感器-CN201780052894.0有效
发明人： 间瀬光人;平光纯;岛田明洋 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2017-05-30 - 公布日： 2023-06-27 - 主分类号： H01L27/144 文献下载
摘要：距离传感器具备硅基板和传送电极。硅基板具备相互相对的第一主面和第二主面。在硅基板的第一主面侧设置有根据入射光产生电荷的电荷产生区域和收集来自电荷产生区域的电荷的电荷收集区域。传送电极在第一主面上配置于电荷产生区域和电荷收集区域之间。传送电极根据输入的信号使电荷从电荷产生区域流入电荷收集区域。在第二主面的至少与电荷产生区域对应的区域形成有多个凸部。多个凸部具有相对于硅基板的厚度方向倾斜的斜面。在凸部中硅基板的(111)面作为斜面露出。凸部的高度为200nm以上。
距离传感器图像传感器

[发明专利]光传感器-CN202180070159.9在审
发明人： 间瀬光人;泷口亮;石井博明;中野优;高木慎一郎 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-10-08 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明的光传感器(1)具备：电荷产生区域(29)，其根据入射光产生电荷；电荷收集区域(33)，其传输在电荷产生区域(29)产生的电荷；和至少1个传输栅电极(41)，其配置在电荷产生区域(29)与电荷收集区域(33)之间的传输区域(35)上。电荷产生区域(29)包含：雪崩倍增区域(23)，其产生雪崩倍增；和倾斜电势形成区域(59)，其将以随着靠近传输区域(35)而电势变低的方式倾斜的倾斜电势形成于电荷产生区域(29)。
传感器

[发明专利]摄像装置-CN202180058490.9在审
发明人： 间瀬光人 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-07-07 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明提供一种摄像装置，其具备：第一光传感器；以及第二光传感器，其相对于第一光传感器配置于光的入射侧的相反侧，且与第一光传感器接合。第一光传感器具有二维配置的多个第一像素。第二光传感器具有二维配置的多个第二像素。多个第一像素分别包含根据第一波段的光的入射来产生电荷的埋入型光电二极管。多个第二像素分别包含：电荷产生区域，其根据第二波段的光的入射来产生电荷；电荷收集区域，其传输有在电荷产生区域产生的电荷；光栅电极，其吸引在电荷产生区域产生的电荷；以及传输栅电极，其将由光栅电极吸引的电荷传输到电荷收集区域。
摄像装置

[发明专利]距离图像取得装置及距离图像取得方法-CN202180061696.7在审
发明人： 间瀬光人;平光纯;岛田明洋 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-05-20 - 公布日： 2023-05-09 - 主分类号： G01S17/18 文献下载
摘要：本发明的一方面的目的在于提供能够延长测定距离并且能够确保距离精度的距离图像取得装置。本发明的一方面的距离图像取得装置(1)具备通过使用传输栅电极(42、43)向电荷蓄积区域(24、25)传输对应于从光源(2)出射且被对象物(OJ)反射的测定光的入射而在电荷产生区域(36)中产生的电荷，从而检测测定光的测距传感器(10)。电荷产生区域(36)包含产生雪崩倍增的雪崩倍增区域。控制部(4)将测定对象的整个距离范围(70)分割成多个区间(71A～71E)，以使光源(2)的测定光的出射时机和传输栅电极(42、43)的电荷的传输时机之间的时间差(TD)在多个区间(71A～71E)之间不同且对多个区间实施测定的方式，控制测距传感器(10)，并基于对于多个区间(71A～71E)的测定结果，生成整个距离范围(70)的距离图像。
距离图像取得装置方法

[发明专利]光检测装置和光传感器的驱动方法-CN202180033470.6在审
发明人： 间瀬光人;中野优;平光纯;岛田明洋;石井博明;伊藤聪典;田中祐马 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-03-17 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：本发明的光检测装置具备光传感器和控制部。光传感器具有电荷产生区域、电荷蓄积区域、电荷传送区域、配置在电荷蓄积区域上的电荷收集电极和配置在电荷蓄积区域与电荷传送区域之间的区域上的传送栅极电极。控制部以在第1期间以电荷收集电极的正下方的区域的电势成为第1电平，且传送栅极电极的正下方的区域的电势高于电荷收集电极的正下方的区域的电势的方式，在第1期间之后的第2期间以使电荷收集电极的正下方的区域的电势成为高于第1电平的第2电平，且传送栅极电极的正下方的区域的电势低于电荷收集电极的正下方的区域的电势的方式，控制电荷收集电极和传送栅极电极的电位。
检测装置传感器驱动方法

[发明专利]光传感器-CN202180033487.1在审
发明人：平光纯;间瀬光人;岛田明洋;石井博明;伊藤聪典;田中祐马 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-01-12 - 公布日： 2022-12-23 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：光传感器包括：具有分别呈层状形成的第1导电型的第1倍增区域和第2导电型的第2倍增区域的雪崩倍增区域；当将在第1倍增区域和第2倍增区域的厚度方向上第2倍增区域相对于第1倍增区域所在的一侧作为第1侧时，相对于第2倍增区域配置在第1侧的第2导电型的电荷收集区域；和相对于第2倍增区域配置在第1侧的第1导电型的第1导电型区域。第2倍增区域具有在厚度方向上与电荷收集区域重叠的第1部分和在厚度方向上与第1导电型区域重叠的第2部分。第1部分的杂质的浓度高于第2部分的杂质的浓度。
传感器

[发明专利]距离传感器和距离传感器的驱动方法-CN201780027269.0有效
发明人：岛田明洋;间瀬光人;平光纯;铃木高志 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2017-04-19 - 公布日： 2022-10-28 - 主分类号： G01S7/486 文献下载
摘要：本发明涉及一种距离传感器，其向蓄积节点注入等量的电流，并且基于各个蓄积节点的电荷量的差分信息求取至对象物的距离，其中，蓄积节点与光敏区域的电荷因第一和第二传送电极(11，12)的驱动而分开的电荷收集区域(9b，9c)分别结合，该距离传感器通过向各个蓄积节点注入等量的电流而避免各蓄积节点的起因于干扰光的饱和，另一方面，由于按分别表示电极驱动图案的多个帧使第一和第二传送电极(11，12)驱动而不易受到电流注入的影响，获得各个蓄积节点的电荷量的差分信息。
距离传感器驱动方法

[发明专利]光传感器和光传感器的驱动方法-CN202080096607.8在审
发明人： 间瀬光人;山本洋夫;森治通 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2020-11-18 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： H04N5/335 文献下载
摘要：本发明的光传感器具备：根据入射光而产生电荷的受光部；用于传送由所述受光部产生的电荷的电荷传送栅极；和用于生成施加于所述电荷传送栅极的电荷传送信号的信号生成部，所述信号生成部以在属于第n(n为1以上的整数)帧的第1期间的第1时间范围，将所述电荷传送栅极设为电荷传送状态，并且在属于第m(m为与n不同的1以上的整数)帧的第2期间的第2时间范围，将所述电荷传送栅极设为电荷传送状态的方式，生成所述电荷传送信号，在使所述第1期间的开始时刻与所述第2期间的开始时刻一致时，所述第1时间范围的一部分与所述第2时间范围的一部分相互重叠。
传感器驱动方法

[发明专利]光学干涉断层摄影装置-CN202180014608.8在审
发明人： 间瀬光人;藤本正俊;铃木智史 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2021-01-21 - 公布日： 2022-09-20 - 主分类号： H04N5/3745 文献下载
摘要：本发明的光学干涉断层摄影装置具备：光源、包括进行往复动作的可动反射镜的反射镜器件、支承对象物的支承部、生成干涉光的分束器、检测干涉光的光传感器和控制部。光传感器所包括的多个像素中的各个包括：受光部、多个传送栅极和排出栅极。控制部，以对干涉光的干涉图信号的每1个周期，在相互分离的至少3个时间范围，多个传送栅极依次成为电荷传送状态，且在至少3个时间范围以外的时间范围，排出栅极成为电荷排出状态的方式，对光传感器施加电信号。
光学干涉断层摄影装置

[发明专利]测距图像传感器及其制造方法-CN202080089284.X在审
发明人： 间瀬光人;平光纯;岛田明洋;石井博明;伊藤聪典;田中祐马 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2020-12-07 - 公布日： 2022-08-12 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：测距图像传感器包括半导体层和电极层。半导体层和电极层构成多个像素。多个像素各自在半导体层中具有雪崩倍增区域、电荷分配区域、第一电荷传送区域和第二电荷传送区域。多个像素各自在电极层中具有光电栅电极、第一传送栅电极和第二传送栅电极。雪崩倍增区域遍及多个像素地相连，或者到达以将多个像素的各个像素彼此分开的方式形成于半导体层的沟槽。
测距图像传感器及其制造方法

[发明专利]测距图像传感器-CN202080089255.3在审
发明人： 间瀬光人;平光纯;岛田明洋;石井博明;伊藤聪典;田中祐马 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2020-12-07 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：在测距图像传感器中，各像素具有雪崩倍增区域、电荷分配区域、一对第一电荷传送区域、一对第二电荷传送区域、阱区域、光电栅电极、一对第一传送栅电极和一对第二传送栅电极。雪崩倍增区域的第一倍增区域形成为在Z方向上与电荷分配区域重叠且与阱区域不重叠。雪崩倍增区域的第二倍增区域形成为在Z方向上与电荷分配区域及阱区域重叠。
测距图像传感器

[发明专利]倍增型图像传感器-CN202080089971.1在审
发明人： 间瀬光人;平光纯;石井博明;田中祐马;伊藤聪典 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2020-11-11 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： H01L27/146 文献下载
摘要：一种倍增型图像传感器，其包括：具有第1表面和第2表面的半导体层；设置于第2表面的配线层。半导体层包含以沿着第1表面的方式配置的多个像素。多个像素各自具有：第1半导体区域；相对于第1半导体区域的至少一部分形成于第2表面侧，按多个像素中的每一个分割出的第2半导体区域；以与第1半导体区域分离的方式形成在第2半导体区域内，构成像素电路的一部分的阱区域。第1半导体区域的至少一部分和第2半导体区域的至少一部分形成雪崩倍增区域。
倍增图像传感器

[发明专利]测距装置和测距传感器的驱动方法-CN202080086233.1在审
发明人：岛田明洋;间瀬光人;平光纯 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2022-08-02 - 主分类号： G01S17/36 文献下载
摘要：在本发明的测距装置中，控制部执行电荷分配处理，其中，对第一传送栅极电极和第二传送栅极电极施加具有彼此不同相位的电荷传送信号，在第一期间，将在电荷产生区域产生的电荷传送到第一电荷储存区域，在第二期间，将在电荷产生区域产生的电荷传送到第二电荷储存区域。控制部，在第一期间，以第一溢出栅极电极正下方的区域的电势比电荷产生区域的电势低的方式，对第一溢出栅极电极施加电位，在第二期间，以第二溢出栅极电极正下方的区域的电势比电荷0产生区域的电势低的方式，对第二溢出栅极电极施加电位。
测距装置传感器驱动方法

[发明专利]光检测装置和光传感器的驱动方法-CN202080086265.1在审
发明人：岛田明洋;间瀬光人;平光纯 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2020-11-16 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： H04N5/374 文献下载
摘要：在本发明的光检测装置中，控制部执行：第一电荷传送处理，通过以传送栅极电极正下方的区域的电势比电荷产生区域的电势低的方式对传送栅极电极施加电位，从而将在电荷产生区域产生的电荷传送到电荷储存区域；和第一读取处理，读取储存在电荷储存区域的电荷量。控制部，在第一电荷传送处理中，以溢出栅极电极正下方的区域的电势比电荷产生区域的电势低的方式，对溢出栅极电极施加电位。
检测装置传感器驱动方法

[发明专利]距离传感器-CN201780027298.7有效
发明人：岛田明洋;间瀬光人;平光纯;铃木高志 -专利权人：浜松光子学株式会社
申请日： 2017-04-19 - 公布日： 2022-06-03 - 主分类号： G01S7/486 文献下载
摘要：本实施方式涉及一种距离传感器，其为了避免起因于干扰光的饱和而降低向在1个光敏区域准备的多个电荷收集区域分别注入的电流量之差。分别向各电荷收集区域注入电流的电流注入电路包括生成用于调节注入电流量的控制电压的电压生成电路，该电压生成电路生成对应于分别与各电荷收集区域结合的蓄积节点的电荷量中大的电荷量的控制电压，另一方面，在通过控制电压调节电流量的晶体管与蓄积节点之间配置有共源共栅器件，晶体管的电流输出端的电位与蓄积节点的电位分离。
距离传感器

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