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[发明专利]扫描曝光装置-CN201680010209.3有效
发明人：吉田祐治;松本峰征;新井敏成;田中茂树;片寄敬太;铃木英幸;神户诚 -专利权人：株式会社V技术;夏普株式会社
申请日： 2016-02-17 - 公布日： 2019-03-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本发明提供一种扫描曝光装置。为了改善扫描曝光装置的生产节拍时间并提高吞吐量，在进行光源的高照度化和扫描速度的高速化时，防止在基板的端部附近的曝光不均。扫描曝光装置(1)具备：载物台(2)，在与载物台表面(2A)之间设置间隙(2S)而支撑基板(W)；光源单元(3)，向沿基板(W)上的一方向延伸设置的光照射区域(3L)照射光；及扫描装置(4)，使载物台(2)与光源单元(3)的一方或双方沿与一方向交叉的扫描方向(S)相对移动，在扫描装置(4)中设置有从载物台(2)及光源单元(3)静止的位置直至被载物台(2)支撑的基板(W)进入到光照射区域(3L)的加速区间(F)，载物台(2)在其端部具备覆盖载物台表面(2A)与基板(W)之间的间隙(2S)的遮光体(20)。
扫描曝光装置

[发明专利]烧成用夹具及烧成用夹具的制造方法-CN201510765260.2有效
发明人：平田雄一;铃木英幸 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2015-11-11 - 公布日： 2019-03-12 - 主分类号： F27D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及烧成用夹具和烧成用夹具的制造方法。提供一种烧成用夹具，其防止微细的被烧成物嵌入到结构体表面所形成的气孔。烧成用夹具(100)由用于载放被烧成物并烧成的陶瓷的结构体(1)构成，在结构体(1)的内部形成多个气孔(2)，此外，在结构体(1)的表面露出多个气孔(2)，利用与结构体(1)的主要成分相同种类的陶瓷(3)来填充结构体(1)的表面所露出的气孔(2)的至少一部分。烧成用夹具(100)形成有气孔(2)，能实现轻量化，而被烧成物不会嵌入到结构体(1)的表面所露出的气孔(2)。
烧成夹具制造方法

[发明专利]液滴涂敷装置、液滴涂敷方法、液晶显示面板的制造装置及液晶显示面板的制造方法-CN200880115186.8有效
发明人：原晓;山崎贵弘;重山昭宏;铃木英幸;神户诚;盐崎唯史 -专利权人：芝浦机械电子装置股份有限公司;夏普株式会社
申请日： 2008-11-06 - 公布日： 2010-10-06 - 主分类号： G02F1/1337 文献下载
摘要：在液滴涂敷装置(2)中，具有：涂敷头(2d)，将涂敷液作为多个液滴向涂敷对象物(K1、K2)排出；移动机构(2c)，使涂敷对象物(K1、K2)与涂敷头(2d)相对移动；以及旋转机构(2b)，在与排出多个液滴的排出方向交叉的平面内使涂敷对象物(K1、K2)旋转。
液滴涂敷装置方法液晶显示面板制造