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[发明专利]排气组件以及具备其的液体处理装置及基板处理设备-CN202210619197.1在审
发明人： 金耿民;朴仁煌;朴舟楫;梁贤真;李智炯 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-06-01 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明的实施例提供能够在将气体向外部排出的排气过程中使气流稳定地形成的排气组件以及具备其的液体处理装置以及基板处理设备。根据本发明的排气组件，用于排出在基板处理工艺中产生的气体，所述排气组件包括：至少两个进气口，被流入所述气体；主体部，与所述进气口连通，并提供用于排出所述气体的对称路径；导向部，在所述主体部中为了引导所述气体的流动而设置；以及排气口，排出所述气体。所述导向部包括：流动导向件，与所述进气口中的至少一个相邻地设置，并引导所述气体的方向以使得所述气体的流动均匀地分开；以及流量导向件，设置于所述进气口中的与所述排气口最相邻的进气口的周边而形成为缩减所述气体的流动路径的截面面积。
排气组件以及具备液体处理装置设备

[发明专利]用于处理基板的设备-CN202210233553.6在审
发明人：朴时贤;朴仁煌;罗丞殷;张恩优;金耿民;车帝明 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2022-03-10 - 公布日： 2022-09-27 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供一种用于处理基板的设备，其包括：外壳，在该外壳中具有内部空间；处理容器，其布置于内部空间内且具有处理空间；基板支撑单元，其在处理空间中支撑基板；液体供应单元，其向由基板支撑单元支撑的基板供应液体；排气单元，其排出处理在空间中产生的烟气；气流供应单元，其耦接至外壳顶侧且向内部空间供应气体以形成向下气流；及穿孔板，其布置于处理容器与气流供应单元间且将气体排放至内部空间，穿孔板包含：底部部分及侧部部分，侧部部分包含第一侧部部分，其自底部部分延伸并向上倾斜至外壳的第一侧壁且具有排放气体的第一孔。
用于处理设备

[发明专利]基板处理装置、基板处理设备以及基板处理方法-CN202011145117.0在审
发明人：朴仁煌;金成弼;金局生;金耿民 -专利权人：细美事有限公司
申请日： 2020-10-23 - 公布日： 2021-04-30 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本记载涉及基板处理装置、基板处理设备以及基板处理方法。基板处理装置包括：旋转单元，支承基板，并使基板旋转；药液喷出单元，向所述旋转单元喷出药液；药液回收单元，与所述旋转单元相邻设置，并回收从所述旋转单元飞散的药液；升降单元，与所述药液回收单元结合，并使所述药液回收单元能够相对于所述旋转单元沿上下方向移动；以及一个以上位置矫正部件，使所述药液回收单元能够相对于所述升降单元被弹性支承，并使得药液回收单元针对所述升降单元的相对位置能够改变。
处理装置设备以及方法