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专利名称
农业 化学；冶金 建筑 机械工程 区域搜索
主分类
A 农业
B 作业；运输
C 化学；冶金
D 纺织；造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]对准系统、成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法-CN201911375574.6有效
  • 金内正信 - 佳能特机株式会社
  • 2019-12-27 - 2023-09-29 - C23C14/04
  • 本发明涉及对准系统、成膜装置、成膜方法以及电子器件的制造方法。在将从大型基板切出的分割基板输送到成膜装置内进行成膜时，用于抑制对准精度的降低。本发明的对准系统具有：基板支承单元，所述基板支承单元用于支承基板；掩模支承单元，所述掩模支承单元用于支承掩模；位置调整机构，所述位置调整机构用于对由所述基板支承单元支承的所述基板与由所述掩模支承单元支承的所述掩模的相对位置进行调整；以及控制部，所述控制部对所述位置调整机构进行控制，所述基板是从大型基板切出的基板，所述控制部基于表示从所述大型基板的哪个位置切出所述基板的切出信息，对所述位置调整机构进行控制。
  • 对准系统装置方法以及电子器件制造
  •  1 
  • 共 1 条
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