专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]制造阵列基板的方法-CN201310532513.2有效
  • 杨熙正;金炯泰;丁载荣;韩奎元;金东先;扈源俊 - 乐金显示有限公司
  • 2013-10-31 - 2016-11-09 - H01L21/77
  • 一种制造阵列基板的方法,该方法包括以下步骤:在基板上形成氧化物半导体层;顺序地形成与所述氧化物半导体层的中间部分对应的栅绝缘层和栅极;通过执行氢气等离子体处理,来在所述氧化物半导体层中形成具有导电特性的源区和漏区;在所述源区和漏区上形成阻隔层,该阻隔层具有第一厚度;在所述栅极上形成层间绝缘层,并使所述层间绝缘层具有暴露所述阻隔层的第一接触孔;以及在所述层间绝缘层上形成源极和漏极,并使所述源极和所述漏极分别通过所述第一接触孔接触所述阻隔层。
  • 制造阵列方法

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