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- [发明专利]一种快速扫描系统-CN202310271695.6在审
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华四伟;何伟;赵鑫;邱岳进;张子豪;郝荣帅;李静逸;富载歆
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纳克微束(北京)有限公司
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2023-03-20
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2023-07-28
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G01B15/00
- 本发明涉及一种快速扫描系统,属于电子扫描技术领域,能够极大提高产品的检测效率;该系统包括二维图像信息采集模块、高度信息采集模块、高分辨信息采集模块、样品台模块以及与四者连接的控制处理单元;所述二维图像信息采集模块,用于获得样品的二维信息;所述高度信息采集模块,用于获得所述样品的高度信息;所述高分辨信息采集模块,用于标定需要采集的单点信息位置,并聚焦至该点采集该点高分辨信息;所述样品台模块,用于承载所述样品并在扫描采集过程中对其进行移动;所述控制处理单元,用于控制系统各采集模块以及样品台的工作,接收采集的信息并进行分析。本发明提供的技术方案适用于对样品进行电子扫描分析的过程中。
- 一种快速扫描系统
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