专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]三维存储器阵列-CN201480006164.3有效
  • 迪帕克·蒂梅高达;布莱恩·克里尔曼;哈立德·哈斯纳特 - 美光科技公司
  • 2014-01-13 - 2017-12-22 - H01L27/15
  • 本发明涉及一种三维存储器阵列,其包括多个立面延伸存储器单元串。选择装置阵列立面位于个别所述串上方且与个别所述串个别耦合。所述选择装置个别包括沟道、接近所述沟道的栅极电介质及接近所述栅极电介质的栅极材料。所述个别沟道彼此间隔。所述栅极材料包括沿立面位于所述串上方的所述间隔沟道的列延伸的多个栅极线。电介质材料横向位于所述紧邻栅极线之间。所述电介质材料及所述栅极线在相对于彼此的界面处具有纵向非线性边缘。本发明还揭示额外实施例。
  • 三维存储器阵列
  • [发明专利]使用至少两个掩模的阶梯形成-CN201380041275.3在审
  • 何昌万;格雷厄姆·R·沃斯滕霍姆;迪帕克·蒂梅高达 - 美光科技公司
  • 2013-07-03 - 2015-04-15 - H01L21/8247
  • 本发明提供用于例如在存储器装置中使用至少两个掩模的阶梯形成的设备及方法。一种实例性方法可包含:在导电材料上方形成第一掩模以界定第一经暴露区域;及在所述第一经暴露区域的一部分上方形成第二掩模以界定第二经暴露区域,所述第二经暴露区域小于所述第一经暴露区域。从所述第二经暴露区域移除导电材料。所述第二掩模的初始第一尺寸小于所述第一经暴露区域的第一尺寸,且所述第二掩模的初始第二尺寸为至少所述第一经暴露区域的第二尺寸加上等于所述第二掩模的所述初始第一尺寸与在形成阶梯结构之后所述第二掩模的最终第一尺寸之间的差的距离。
  • 使用至少两个阶梯形成

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