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[发明专利]图案化过程的配置-CN202280018003.0在审
发明人：徐祯焄;朴成云;雷馨;郑镇雄;赵荣阔;徐端孚;李小阳 -专利权人： ASML荷兰有限公司
申请日： 2022-02-25 - 公布日： 2023-10-24 - 主分类号： G03F1/70 文献下载
摘要：描述了用于基于另一图案化过程的结果来配置图案化过程的方法。所述方法包括通过使用处于第一定向的设计布局模拟第一图案化过程来获得轮廓的第一集合。所述轮廓满足与所述设计布局相关联的设计规格，并且对应于过程窗口条件的第一集合。基于所述设计布局的第二定向、过程窗口条件的所述第一集合和轮廓的第一集合来配置第二图案化过程。所述第二图案化过程与影响轮廓的第二集合的一个或更多个设计变量(例如，源、掩模)相关联。所述配置包括调整一个或更多个设计变量直到轮廓的所述第二集合与轮廓的所述第一集合的匹配度位于期望的匹配阈值内。
图案过程配置

[实用新型]太阳能自动控水器-CN201120025155.2无效
发明人：史俊豪;史卫东;刘军;赵荣阔;何岗 -专利权人：史俊豪
申请日： 2011-01-17 - 公布日： 2011-08-31 - 主分类号： F24J2/40 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种太阳能自动控水器，该自动控水器有一个安装在回水管内的传感器和一个安装在水箱的冷水进水管上的电磁阀；该传感器和电磁阀之间连接有自动控制电路，可以方便实现太阳能自动进水及断开，该太阳能自动控水器施工简单、成本低、操作方便，反应灵敏，可有效延长控水阀的使用寿命，并节省水源，减少浪费。
太阳能自动控水器