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[发明专利]操作极紫外光微影系统的方法-CN202210399898.9在审
发明人：孙于洸;蔡明训;陈宇桓;程薇心;赖政豪;陈鑫封;郑乔华;吴政轩;罗煜发;简上傑;陈立锐;刘恒信 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-04-15 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种操作极紫外光微影系统的方法，微影系统利用锡滴产生用于微影的极紫外辐射。微影系统用激光照射液滴。液滴经激励且发出极紫外辐射。收集器将极紫外辐射反射至微影靶。微影系统将液滴源与氧化剂隔离以防止喷嘴氧化或在喷嘴上形成金属氧化物，这两者皆会不利地影响喷嘴产生足够量的液滴及/或将液滴引导至所需方向的能力。
操作紫外光系统方法

[发明专利]半导体制造系统及其检测极紫外辐射源的方法-CN202210612169.7在审
发明人：郑乔华;余昇刚;简上傑;颜炜峻;刘恒信;蔡明训;罗煜发;陈立锐;程薇心;吴政轩;赖政豪;孙于洸;陈宇桓 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-05-31 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种半导体制造系统及其检测极紫外辐射源的方法，在检测极紫外(EUV)辐射源的方法中，在空闲模式期间，安装在固定装置上的管道镜通过第一开口插入EUV辐射源的腔室中。管道镜包含在第一端处附接至照相机的连接电缆。固定装置包含自第一侧安装在导螺杆上的可延伸区部，且管道镜的照相机安装在可延伸区部的与第一侧相对的第二侧上。使可延伸区部延伸以将照相机移动至EUV辐射源的腔室内部。一个或多个影像由照相机在一个或多个查看位置处自EUV辐射源的腔室内部获取。分析一个或多个获取的影像以确定沉积在EUV辐射源的腔室内部的锡碎屑量。
半导体制造系统及其检测紫外辐射源方法

[发明专利]半导体制程工具的操作方法及其辐射源-CN202210292606.1在审
发明人： 赖政豪;蔡明训;陈鑫封;程薇心;孙于洸;吴政轩;简上傑;陈立锐;刘恒信 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-03-23 - 公布日： 2022-12-20 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种半导体制程工具的操作方法及其辐射源。本文中所描述的一些实施方式提供了用于极紫外(EUV)辐射源的技术及设备，该极紫外辐射源包含防后溅系统，以减少、最小化及/或防止在收集器流动环的隧道结构中形成可能会以其他方式由锡(Sn)卫星的累积引起的Sn堆积。这种情况减少了Sn至EUV辐射源的收集器上的后溅，增加了收集器的操作寿命(例如通过增加收集器的清洗及/或更换之间的持续时间)，减少了EUV辐射源的停机时间，且/或使得EUV辐射源的效能能够维持较长的持续时间(例如通过减小、最小化及/或防止收集器的Sn污染率)以及其他范例。
半导体工具操作方法及其辐射源

[发明专利]用于半导体处理工具的检查工具和使用方法-CN202210669300.3在审
发明人：蔡明训;赖政豪;简上杰;陈立锐;刘恒信 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-06-14 - 公布日： 2022-10-25 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本公开涉及用于半导体处理工具的检查工具和使用方法。本文描述的晶圆台检查工具能够定位在晶圆台上方，同时晶圆台定位在光刻系统的曝光工具的底部模块中。晶圆台检查工具能够快速评估晶圆台上的表面结节状况，并且评估清洁表面结节的清洁操作的清洁性能。
用于半导体处理工具检查使用方法

[发明专利]极紫外辐射源与半导体制程方法-CN202210203606.X在审
发明人：郑乔华;孙于洸;程薇心;陈宇桓;蔡明训;赖政豪;吴政轩;罗煜发;简上傑;刘恒信;陈立锐;余昇刚 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-03-03 - 公布日： 2022-09-13 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种极紫外辐射源与半导体制程方法，本文中的一些实施包括侦测电路及快速且准确的联线方法，用于侦测极紫外曝光工具的液滴产生器头上的阻塞，而不影响经由液滴产生器头的靶材液滴的流动。在本文描述的一些实施中，侦测电路包括以开路组态组态的开关电路，其中开关在两个电极元件之间电断开。当靶材在液滴产生器头上的两个或两个以上电极元件之间发生聚积时，该聚积用作将侦测电路闭路的开关。控制器可侦测侦测电路的闭路。
紫外辐射源半导体方法

[发明专利]在极紫外微影系统中处理燃料、移除杂质及净化燃料的方法-CN202210387368.2在审
发明人： 赖政豪;蔡明训;陈鑫封;程薇心;孙于洸;吴政轩;罗煜发;塗时雨;吕柔萱;简上傑;陈立锐;刘恒信 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-04-13 - 公布日： 2022-09-06 - 主分类号： B01J19/12 文献下载
摘要：一种在极紫外微影系统中处理燃料、移除杂质及净化燃料的方法，自容纳液化固体燃料的容器移除在极紫外微影系统的液滴产生器中利用的液化固体燃料中的杂质。移除杂质增加液滴形成的稳定性及可预测性，这对晶圆良率及液滴产生器寿命产生积极影响。
紫外系统处理燃料杂质净化方法

[发明专利]模块化容器液滴产生器组件及其部件替换方法-CN202210010143.5在审
发明人：孙于洸;蔡明训;程薇心;赖政豪;陈鑫封;郑乔华;吴政轩;罗煜发;吕柔萱;简上傑;陈立锐;刘恒信 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-01-06 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本揭露关于模块化容器液滴产生器组件及其部件替换方法，包括液滴产生器组件(DGA)的模块化容器液滴产生器组件(MVDGA)。在正常运作下，液体燃料沿着延伸通过DGA的运作路径移动以将液体燃料(例如，液态锡)从DGA的喷嘴喷射或排放到真空室中。然后将真空室中的液体燃料暴露于产生极紫外(EUV)光的激光中。在维修运作下，关闭运作路径并开启延伸通过DGA的维修路径。气体被引入维修路径，以在气体与液体燃料之间形成气液界面。气液界面被驱动到与DGA直接相邻的隔离阀。换句话说，气体将液体燃料推回隔离阀。一旦气液界面到达隔离阀，隔离阀就会关闭，以隔离DGA与液体燃料。
模块化容器产生器组件及其部件替换方法

[发明专利]极紫外微影系统及其操作的方法-CN202110690854.7在审
发明人：孙于洸;赖政豪;陈宇桓;程薇心;蔡明训;陈鑫封;郑乔华;吴政轩;罗煜发;简上傑;陈立锐;刘恒信 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2021-06-22 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：一种极紫外微影系统及其操作的方法，操作极紫外微影系统的方法使用激光照射液滴而产生极紫外光。极紫外微影系统包括具有喷嘴的液滴产生器以及耦合至喷嘴的压电结构。液滴产生器输出液滴组。控制系统施加电压波形至压电结构，同时喷嘴输出液滴组。此电压波形使液滴组的液滴具有速度分布，导致液滴组的液滴在被激光照射之前聚结成一个液滴。
紫外系统及其操作方法

[发明专利]辐射源设备及其使用方法-CN202210054147.3在审
发明人：郑乔华;陈鑫封;罗煜发;孙于洸;程薇心;陈宇桓;蔡明训;赖政豪;吴政轩;简上傑;刘恒信;陈立锐;余昇刚 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2022-01-18 - 公布日： 2022-07-29 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：提供了一种辐射源设备及其使用方法。方法包括：将第一液滴产生器组装到容器的接口上；将靶液滴从第一液滴产生器喷射到在收集器前方的激发区域；朝向激发区域发射激光，使得靶液滴由激光加热以产生极紫外(EUV)辐射；停止喷射靶液滴；在停止喷射靶液滴之后，从容器的接口拆卸第一液滴产生器；在从容器的接口拆卸第一液滴产生器之后，将清洗装置穿过接口插入容器中；以及通过使用清洗装置来清洗收集器。
辐射源设备及其使用方法

[发明专利]燃料标靶产生器-CN201811074418.1在审
发明人： 赖政豪;张汉龙;陈立锐 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2018-09-14 - 公布日： 2019-05-14 - 主分类号： G03F7/20 文献下载
摘要：本公开部分实施例提供一种燃料标靶产生器。上述燃料标靶产生器包括一缓冲腔体，配置用于接收一标靶燃料。上述燃料标靶产生器还包括一存储腔体，连结至缓冲腔体并配置用于接收来自缓冲腔体的标靶燃料。上述燃料标靶产生器也包括一阀构件，配置用于控制标靶燃料从缓冲腔体到存储腔体的流动。另外，上述燃料标靶产生器包括一喷嘴，连结至存储腔体并配置用于供应标靶燃料。
标靶燃料产生器缓冲腔体存储腔体配置连结喷嘴阀构件流动

[发明专利]太阳能电池的制造方法-CN201310193988.3有效
发明人：柳彦志;曹铭修;赖政豪;张冠纶;江一志;王宗昶;黄宏钦;黄馨慧;叶耿伟 -专利权人：茂迪股份有限公司
申请日： 2013-05-22 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：一种太阳能电池的制造方法，包含下列步骤。准备一光电转换基板，于此光电转换基板的一背光面上形成一集电层及沿一方向间隔排列的多个导电部，此集电层是利用一集电层网版进行一网印制程所形成。集电层具有间隔排列的多个开口，且包含多个第一集电部分别对应邻接于前述多个开口、以及厚度大于前述第一集电部的一第二集电部，每一导电部与至少一开口及至少一第一集电部重叠。集电层网版分成多个间隔排列的非落墨区用于形成前述多个开口、多个半落墨区用于形成前述多个第一集电部、及一落墨区用于形成该第二集电部。
太阳能电池制造方法

[发明专利]太阳能电池及其模组-CN201310027702.4有效
发明人： 赖政豪;陈威有;陈哲宏;柳彦志 -专利权人：茂迪股份有限公司
申请日： 2013-01-24 - 公布日： 2014-06-18 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：一种太阳能电池及其模组，该太阳能电池的主要改良在于：其两个汇流电极之间设有多个第一指状电极组与多个第二指状电极组，且第一指状电极组与第二指状电极组相间隔。每一第一指状电极组包括多个第一指状电极及一连接在第一指状电极的末端的第一辅助电极，每相邻两第一指状电极组经由一第一连接电极相连。该多个第二指状电极组也有类似设计，本发明能改善因网印时发生断线所造成电致发光的电性量测时，于断线处产生亮度不均匀的问题，而且通过各个辅助电极与连接电极来连接指状电极，可提供完整而连续的导电网路，有助于电流收集。
太阳能电池及其模组

[发明专利]太阳能电池-CN201310145118.9有效
发明人：柳彦志;赖政豪;曹铭修;张冠伦 -专利权人：茂迪股份有限公司
申请日： 2013-04-24 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： H01L31/0224 文献下载
摘要：本发明系揭露一种太阳能电池，包含基板、位于基板之第一主表面上之正面电极以及位于基板之第二主表面上之背电极。其中，正面电极包含分别沿第一方向延伸之复数个指状电极、沿与第一方向相互交叉之第二方向延伸之汇流电极以及位于汇流电极之一侧且沿第二方向延伸之辅助电极。其中，辅助电极之材料之电阻率小于汇流电极之材料之电阻率，并且，辅助电极不与汇流电极接触。或者，辅助电极包含相互分离之复数个子电极部，且每一子电极部分别连接一指状电极或分别连接汇流电极。亦或者，指状电极藉由复数个分叉电极与汇流电极连接。
太阳能电池

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