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[实用新型]一种溅射磁控系统-CN201920549554.5有效
发明人：陈道友;刘韵吉;谈步亮;杨敏红;王玮 -专利权人：桑德斯微电子器件(南京)有限公司
申请日： 2019-04-22 - 公布日： 2020-02-04 - 主分类号： C23C14/35 文献下载
摘要：本实用新型分开了一种溅射磁控系统，包括圆形磁铁座3只、与圆形磁铁座对应的靶座3只、一只档板，条形磁铁、靶材，导磁体，所述的圆形磁铁座放在靶座上，三只靶座放上真空腔盖上，档板位于真空腔内；真空腔盖对应靶座的下方设有导磁体；所述的条形磁铁(2)产生的磁场通过导磁体(6)将磁力线引入真空腔(9)中；本新型磁控系统通过改变磁铁的磁场强度、改变靶座导磁体的结构以及腔体内档板的结构，实现了刻蚀均匀性和提高靶材利用率，提高了产品的一致性，降低了生产成本。
靶座导磁体圆形磁铁座档板条形磁铁真空腔磁场磁力线靶材利用率本实用新型刻蚀均匀性上真空腔盖磁控系统新型磁控真空腔盖磁铁靶材溅射生产成本体内引入

[实用新型]一种二极管浸锡设备-CN201920315580.1有效
发明人：陈道友;刘韵吉;谈步亮;杨敏红;王玮 -专利权人：桑德斯微电子器件（南京）有限公司
申请日： 2019-03-13 - 公布日： 2019-10-11 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种二极管浸锡设备，包括操作台、PLC控制器、触摸屏、工装夹具、X轴导轨及伺服驱动器、Z轴导轨及伺服驱动器，Z轴导轨安装工装夹具并在X轴导轨上滑动，X轴导轨在操作台上长度方向安装，操作台上长度方向依次安装恒液位助焊剂槽、助焊剂吸液装置、助焊剂烘干设备、浸锡炉和焊渣槽，工装夹具用于固定二极管器件，所述的PLC控制器的显示输出与触摸屏连接，触摸屏显示当前运行数据和工艺菜单；PLC控制器控制端接X轴伺服驱动器和Z轴伺服驱动器及浸锡炉的温度控制端连接。触摸屏显示工作状态和工艺菜单的编辑下载。它可以实现机台的一键操作，过程全部自动化，生产产品质量稳定。
伺服驱动器触摸屏显示二极管工装夹具触摸屏浸锡炉助焊剂浸锡操作台机台夹具本实用新型固定二极管安装工装烘干设备生产产品吸液装置一键操作运行数据质量稳定助焊剂槽滑动恒液位控制端焊渣下载自动化输出

[实用新型]一种芯片传送定位装置-CN201820034936.X有效
发明人：龚一胜;谈步亮;刘韵吉 -专利权人：桑德斯微电子器件（南京）有限公司
申请日： 2018-01-10 - 公布日： 2018-12-14 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：一种具有芯片传送定位装置，包括导杆及固定环状托，导杆固定在环状托的后端，环状托的内圆环为下凹台阶的圆环，下凹台阶的圆环为承载芯片的定位圆形凹槽，环状托的前端设有缺口。一般承载的芯片基为圆形，环状托下凹台阶的圆环即定位圆形凹槽正好支承圆形芯片。芯片传送定位装置使用的材料为不易受污染的不锈钢材质，中间台阶设有导向槽，能做到定位准确。所述的芯片传送定位的导杆装在导向直线轴承内。
芯片传送定位装置下凹台阶导杆圆环定位圆形承载芯片导向直线轴承不锈钢材质定位准确固定环状圆形芯片导向槽内圆环支承污染

[实用新型]一种具有精确定位接送片装置-CN201820034942.5有效
发明人：龚一胜;谈步亮;刘韵吉 -专利权人：桑德斯微电子器件（南京）有限公司
申请日： 2018-01-10 - 公布日： 2018-10-12 - 主分类号： B65G47/24 文献下载
摘要：一种具有精确定位接送片装置，包括底板框架(6)、传动机构、升降机构和芯片定位机构；所述的传动机构包括电机(1)、支架(2)、导杆(3)、第二导杆(11)、丝杆(4)、底座(5)；所述的支架(2)为两只安装丝杆的支架安装在底板框架(6)上，按照丝杆同轴线方向前后分布，所述支架上设有定位孔，在定位孔中间的位置安装丝杆，丝杆两侧下安装导杆(3)；支架(2)定位孔安装轴承，丝杆一端固定在轴承内，丝杆另一端穿过轴承孔且通过同轴的联轴器(7)连接电机，所述的电机安装在电机支架(8)上，电机轴通过连轴器(7)连接丝杆。
丝杆支架定位孔导杆安装丝杆底板框架片装置芯片定位机构安装轴承电机安装电机支架连接电机连接丝杆前后分布升降机构支架安装电机轴联轴器连轴器同轴线轴承孔底座同轴轴承电机穿过

[发明专利]一种升降式蒸发机台对中快速测试机构及其测试方法-CN201410506296.4有效
发明人： 谈步亮;刘韵吉;杨敏红;何慧强;陈道友 -专利权人：桑德斯微电子器件（南京）有限公司
申请日： 2014-09-26 - 公布日： 2017-01-18 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种升降式蒸发机台对中快速测试机构及其测试方法，属于蒸发机台测试领域。一种升降式蒸发机台对中快速测试机构，包括测厚盖子、钟罩、三角架、固定三角架座、电子枪、透明胶版和发射点光源调节装置，测厚盖子位于钟罩顶部，测厚盖子内置有测试厚度的传感器探头，钟罩中部安装有固定三角架座，钟罩外部侧面设置有导向杆，导向杆底部与钟罩底部连接，导向杆上设置有定位夹；发射点光源调节装置设置于电子枪坩埚位置，发射点光源调节装置由点光源器和固定夹套组成；透明胶版设置于三角架上方或测厚盖子上方，透明胶版上设置有测厚盖子定位点标记和三角架定位点。它可以直观发现设备使用过程中产生的误差，避免测试点偏离中心线、准确性高、方便快捷。
一种升降蒸发机台快速测试机构及其方法

[实用新型]一种贴片二极管可靠性实验夹具-CN201420557861.5有效
发明人：龚一胜;刘韵吉;裔大伟;谈步亮 -专利权人：桑德斯微电子器件（南京）有限公司
申请日： 2014-09-25 - 公布日： 2015-02-04 - 主分类号： B25B11/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种贴片二极管可靠性实验夹具，属于电子实验工装领域。它包括底板框架、定模模块和动模模块，其中，定模模块和动模模块互相成对，底板框架上设置有两套成对的定模模块和动模模块。定模模块包括定模导电铜条、导向柱和接线端子，定模导电铜条两端分别固定有一根导向柱，定模导电铜条两端分别设置有接线端子；动模模块包括动模导电铜条、锁定螺杆、销钉、微型丝杆和调节把手，动模导电铜条与定模模块定模导电铜条相对设置。针对现有技术中存在的夹具的电极容易变形、松动，夹具损坏率高、成本高的问题，本装置的夹具长久使用后，不变形、成本低、夹具损耗率低，操作简便。
一种二极管可靠性实验夹具

[实用新型]一种离子溅射仪控制系统-CN201420576372.4有效
发明人：陈道友;刘韵吉;谈步亮;杨敏红;高玉翠 -专利权人：桑德斯微电子器件（南京）有限公司
申请日： 2014-09-30 - 公布日： 2015-01-07 - 主分类号： G05B19/05 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种离子溅射仪控制系统，属于半导体制造设备领域。一种离子溅射仪控制系统，包括RF电源、直流电源，、PLC控制器、真空仪表、传感器、触摸屏和执行输出，其中，所述的传感器和PLC控制器连接，传感器采集的信号传输到PLC控制器；PLC控制器和执行输出连接，PLC控制器处理后的信号传输到执行输出；所述的PLC控制器还分别与真空仪表、RF电源、触摸屏、直流电源连接，所述的PLC控制器分别与真空仪表、RF电源、触摸屏、直流电源之间进行双向信号传输，所述的传感器设置于离子溅射仪机台内。它可以实现机台的一键操作，过程全部自动化，操作人员只要装片和取片，操作简单，准确性好，生产产品质量稳定。
一种离子溅射控制系统

[实用新型]一种升降式蒸发机台对中快速测试机构-CN201420562577.7有效
发明人： 谈步亮;刘韵吉;杨敏红;何慧强;陈道友 -专利权人：桑德斯微电子器件（南京）有限公司
申请日： 2014-09-26 - 公布日： 2014-12-31 - 主分类号： G01B21/08 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种升降式蒸发机台对中快速测试机构，属于蒸发机台测试领域。一种升降式蒸发机台对中快速测试机构，包括测厚盖子、钟罩、三角架、固定三角架座、电子枪、透明胶版和发射点光源调节装置，测厚盖子位于钟罩顶部，测厚盖子内置有测试厚度的传感器探头，钟罩中部安装有固定三角架座，钟罩外部侧面设置有导向杆，导向杆底部与钟罩底部连接，导向杆上设置有定位夹；发射点光源调节装置设置于电子枪坩埚位置，发射点光源调节装置由点光源器和固定夹套组成；透明胶版设置于三角架上方或测厚盖子上方，透明胶版上设置有测厚盖子定位点标记和三角架定位点。它可以直观发现设备使用过程中产生的误差，避免测试点偏离中心线、准确性高、方便快捷。
一种升降蒸发机台快速测试机构

[实用新型]一种编号贴片二极管清洗烘烤盘-CN201420555215.5有效
发明人：龚一胜;刘韵吉;裔大伟;谈步亮 -专利权人：桑德斯微电子器件（南京）有限公司
申请日： 2014-09-25 - 公布日： 2014-12-31 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种编号贴片二极管清洗烘烤盘，属于半导体生产工装领域。一种编号贴片二极管清洗烘烤盘，包括清洗烘烤盘和网格盖板，清洗烘烤盘为矩形，清洗烘烤盘左右两边分别设置有对称的把手，清洗烘烤盘上设置有凹坑，清洗烘烤盘上表面每一个凹坑下方设置有编号区；所述的网格盖板表面设置有网格，大小与清洗烘烤盘相同，覆盖于清洗烘烤盘顶面以及侧面。针对现有技术中存在的生产效率低、产品编号容易出错的问题，本实用新型提供了一种编号贴片二极管清洗烘烤盘，它具有生产效率高、产品编号对应简单的优点。
一种编号二极管清洗烘烤

[实用新型]一种气相沉积清理行星盘的系统-CN201420516651.1有效
发明人： 谈步亮;刘韵吉;杨敏红;何慧强;陈道友 -专利权人：桑德斯微电子器件（南京）有限公司
申请日： 2014-09-09 - 公布日： 2014-12-24 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气相沉积清理行星盘的系统，属于芯片工装设备领域。包括蒸发机台、冷泵、机械泵、高压柜和晶控仪，所述的蒸发机台包括钟罩，所述的钟罩将三角架、轨道、行星盘、烘烤灯和电子枪封闭在钟罩内部形成腔体，钟罩内部的腔体与外部的氦气压缩机、冷泵、机械泵和高压柜连接。在系统中使用旋转电机系统，使用圆周形的轨道。在旋转过程中对行星盘进行气相沉积，沉积表面均匀光滑。使用物理方法的气相沉积方法，使用镍和铝进行气相沉积，对环境无影响，环保无污染，仪器的使用寿命长，耗时短，效率高。
一种沉积清理行星系统

[发明专利]一种气相沉积清理行星盘的系统及其清洗方法-CN201410456414.5有效
发明人： 谈步亮;刘韵吉;杨敏红;何慧强;陈道友 -专利权人：桑德斯微电子器件（南京）有限公司
申请日： 2014-09-09 - 公布日： 2014-12-10 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明公开了一种气相沉积清理行星盘的系统及其清洗方法，属于芯片工装设备领域。包括蒸发机台、冷泵、机械泵、高压柜和晶控仪，所述的蒸发机台包括钟罩，所述的钟罩将三角架、轨道、行星盘、烘烤灯和电子枪封闭在钟罩内部形成腔体，钟罩内部的腔体与外部的氦气压缩机、冷泵、机械泵和高压柜连接。在系统中使用旋转电机系统，使用圆周形的轨道。在旋转过程中对行星盘进行气相沉积，沉积表面均匀光滑。使用物理方法的气相沉积方法，使用镍和铝进行气相沉积，对环境无影响，环保无污染，仪器的使用寿命长，耗时短，效率高。
一种沉积清理行星系统及其清洗方法

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